Патент ссср 410491

 

ОПИСАНИ

ИЗОБРЕТЕН И

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВЙДЕТЕДЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 06 17,1972 (№ 1770558/24-7) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 05.1.1974. Бюллетень ¹ 1

Дата опубликования описания 12Х.1974 л. H 01j 65/04

Гасударственный комитет

Совета Министров СССР ев делам изобретений и открытий

621.327,9.032.7 (088.8) Авторы изобретения

Л. В. Минервина, В. А. Фролов и Л. Л. Яковлева

Московский завод электровакуумных приборов

Заявитель

ОБЛУЧАТЕЛЬ С БЕЗЭЛЕКТРОДHblM ВЫСОКОЧАСТОТНЫМ

ИЗЛУЧАТЕЛЕМ

Предмет изобретения

Облучатель, используемый, в частности, в фотолитографии (экспонировании) для производства полупроводниковых приборов, содержит подобно известным приборам этого типа безэлектродный высокочастотный излучатель, разряд в котором возбуждается и поддерживается электромагнитным полем высокой частоты.

Недостатком известных приборов является весьма малая площадь равномерной облученности и, в результате, малый процент получения годных изделий.

Цель изобретения — увеличение поверхности с равномерным облучением до диаметра порядка 40 — 100 мм. Для ее достижения колбу выполняют с плоским дном.

При возбуждении безэлектродного разряда полем высокой частоты в излучателе с плоским дном весь объем излучателя можно заполнить газоразрядной плазмой. Цилиндрическая форма излучателя (он может быть также выполнен в виде полусферы) обеспечивает достаточно равномерную плотность излучения, а, стало быть, и равномерную облученность площадки.

На чертеже схематически показан предлагаемый облучатель с безэлектродным высокочастотным излучателем.

Оптически прозрачная колба 1 излучателя с буферным газом и рабочим элементом вместе с возбуждающим анодным контуром 2 высокочастотного генератора заключена в отражатель 3. Там они жестко закреплены. Для крепления колбы в отражателе 3 используют резиновую трубку 4. Последний укреплен при помощи скобок.

На определенном расстоянии от края отражателя жестко закреплена система зеркал 5.

Например, для получения равномерного облучения на поверхности диаметром 40 мм расстояния между окном безэлектродного высокочастотного излучателя и освещаемой поверхностью 6 должно составлять примерно 7—

15 10 мм, а угол наклона зеркал — 75 .

Фторопластовая трубка 7 используется как изолятор между отражателем 3 и возбуждающим анодным контуром 2 высокочастотного генератора.

Облучатель с безэлектродным высокочастотным излучателем, колба которого имеет

25 форму тела вращения, содержащий генератор высокой частоты, отражатель и систему зеркал, отличающийся тем, что, с целью увеличения поверхности с равномерным облучением,,колба выполнена с плоским дном

410491

Составитель Л. Сольц

Тсхред Т. Ускова

Корректор В. Брыксина

Редактор Н. Вирко

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 1067/6 Изд. М 333 Тираж 760 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, )К-35, Раушская наб,, д. 4/5