Патент ссср 411555

Авторы патента:

H01P11 - Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления волноводов или резонаторов, линий или других устройств типа волноводов (изготовление коаксиальных кабелей H01B 13/00)

Зсг: = à»><

О П" И"- ЮА- Н И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

3 аявлено 10.11.1971 (№ 1629502/26-9) М. Кл. Н 01р 11j00 с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет

Опубликовано 151.1974. Бюллетень № 2

Дата опубликования описания 27Х.1974

Государственный комитет

Саввта Министрав СССР па делам изабретеннй и аткрытий

УДК 621.374.5(088.8) Авторы изобретения

В. И. Гвоздев и Е, В. Завадский

Заявитель

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ УЛЬТРАЗВУКОВЪ|Х ЛИНИЙ

ЗАДЕРЖКИ

Изобретение относится к области радиотехники и может быть использовано при изготовлении ультразвуковых линий задержки на поверхностных волнах.

Известен способ изготовления ультразвуковых линий задержки IJH поверх11остпь1х волнах со звукопроводом, выполненным из пьезоэлектрических монокристаллов, включающий операции ориентирования рабочей поверхности и базовой грани пластины звукопровода, ориентации фотошаблона и нанесения многоэлементных преобразователей.

Недостатком известного способа изготовления ультразвуковых линий задержки является влияние разброса параметров монокристаллов на электрические характсристики линий задержки и трудоемкость их изготовления.

С целью исключения влияния разброса параметров мопокристалов 11а электрических характеристики линий задержки и уменьшения трудоемкости их изготовления по предлагаемому способу направление ориентации фотошаблона определяют по совпадению измеряемой и требуемой скоростей распространения поверхностных волн по рабочей поверхности звукопровода.

На фиг. 1 показана предварительно ориентированная пластина-заготовка из монокристаллического кварца, иллюстрирующая предлагяем11й способ; на фиг, 2 - - пластш1а с обра2 ботапой рабочей плоскостью и базовой гранью; на фиг. 3 вЂ” часть пластины совместно с элементами устройства для измерения скорости; на фиг. 4 вЂ” пластина с фотошаблоном, наложенным на рабочую поверхность, покрытую фоторезистом.

Рассмотрим последовательность выполнения операций при изготовлении ультразвуковых линий задержки на кварцевом звукопроводе

1О с измерителем групповой скорости, использующим бесконтактный метод возбуждения и приема поверхностных волн.

Пластину-заготовку 1 из монокристаллического кварца (фиг. 1), точность ориентации гра15 ней которой относительно кристаллографических осей не меньше ":1, подвергают механической обработке с целью получения рабочей поверхности 2 и базовой грани 3 (фиг. 2).

При этом операции точного ориентирования

20 этих граней по отношению к осям кристалла не производят.

Пластину с обработанной рабочей поверхностью 2 и базовой гранью 3 совмещают с элементом 4 для бесконтактного возбуждения и

25 приема поверхностных волн устройства измерения скорости. Пластину располагают по от ношению к элементу 4 для бесконтактного возбуждения и приема поверхностных волн таким образом, что можно произвести точный отсчет

30 угла с. между базовой гранью 3 пластины 1 и

411555

Фиг 1

Ьииюй превра.ырра ель

Фаг.,У

ЩЬ 711 пар

ЗЙРазаба гиед ь

Составитель Е. Ковалева Ф11г ф, .Типография, пр. Сапунова, 2

3 осью МЛ (фиг. 3) элемента 4. Изменяя в небольших пределах (+1 ) угловое положецие оси MN относительно базовой грани 3, находят такое на правлен ие оси, при котором время задерж ки си гнала между входным и в д выходным преобразователем элемента 4 равно некоторой величине, соответствующей,расчетной окорости паверхностной волны. Угол а между найде иным направлением и базовой грунью измеряется с точностью 1 вЂ” 2 мин. Под этим углом, к базовой грани фиксиру.от продольную ось

АБ фотошаблона 5, наложенного на покрытую фоторезистом 6 рабочую поверхность 2 звукопровода (фиг. 4).

Дальнейшие операции производят в соответствии с известным методом фотолитограции.

Измерение времени задержки сигнала в системе возбудитель-приемник элемента 4 осуществляется любым из известных методов, обеспечивающих требуемую точность. Электронная часть схемы измерения задержки на фиг. 3 не показана.

Преимущество предлагаемого способа перед известным состоит в том, что при непосредственном определении направления, в ко4 тором следует ориентировать ось фотошао IOи», путем измерения скорости распространения, отпадает необходимость произьодить точи ю ориентацию рабочей плоскости и базовой грани пластины-звукопровода, если при это

1 этом точность ориентации граней пластины-заготовки относительно кристаллографических осей не меньше +1 .

10 Предмет изобретения

Способ изготовления ультразвуковых линий задержки на поверхностных волнах со звукопроводом, выполненным из пьезоэлектрического монокристалла, включающий операции

15 ориентирования рабочей поверхности и базовой грани пластины звукопровода, ориен àöèè фотошаблона и нанесения многоэлементных преобразователей, отличающийся тем, что, с целью исключения влияния разброса пара20 метров монокристаллов на электрические характеристики линий задержки и уменьшения т удоемкости их изготовления, направление ориентации фотошаблона определяют по совпадению измеряемой и требуемой скоростей

25 распространения поверхностны.; волн по рабочей поверхности звукопровода.

Редактор Т. Морозова Техред 3. Тара неи ко

Корректор Т. Хворова

Заказ I l6719 Изд. № 1224 Тираж 760 Подиис. ое

ЦНИИПИ Государственного комитета

Совета Министров СССР по делам изобретений и откргятпй

Москва, Ж-35, Рзугиская иаб., д. 4/5

Похожие патенты:

Вп т' б // 405164

Инструмент для нанесения нятен // 388329

Способ изготовления волноводов // 382314

Устройство для соединения волноводов // 374686

^сбсо^озная^,заявительспециальное конструкторское бюро ордена трудового красного // 372609

Способ изготовления волноводного устройства // 363269

Устройство для производства волноводов // 362385

Патент 361494 // 361494

Вкладыш для свч-устройств // 352342

Способ изготовления механического волновода для магнитострикционной линии задержки // 336737

Способ получения сверхпроводящих изделий // 2119214

Изобретение относится к криогенной технике и может быть использовано при создании высокочастотных сверхпроводящих (СВЧ) изделий, в частности резонаторов и волноводов

Двигатель-движитель электродинамический индукционный // 2141153

Изобретение относится к энергомашиностроению и касается усовершенствования электродинамических двигателей-движителей

Способ изготовления ввода/вывода энергии свч-прибора с баночным окном // 2185679

Изобретение относится к СВЧ-электронным приборам и может также использоваться в волноводных трактах, где должны отсутствовать паразитные резонансы в рабочей полосе частот

Радиоэлектронный блок // 2188522

Изобретение относится к радиоэлектронике, может быть использовано при конструировании радиоэлектронных блоков, предназначенных, в частности, для приема и обработки сигналов спутниковых радионавигационных систем

Устройство блокирования внешнего воздуха в безэлектродной осветительной системе и безэлектродная осветительная система // 2222073

Способ изготовления волноводно-распределительных систем из алюминиевых сплавов // 2230642

Изобретение относится к антенной технике, в частности к способам изготовления волноводных устройств из алюминиевых сплавов, и может быть использовано в радиотехнической промышленности, приборостроении, авиационной промышленности

Способ изготовления волноводных секций // 2232450

Изобретение относится к области техники СВЧ и может быть использовано при изготовлении волноводных секций сложной конфигурации миллиметрового и субмиллиметрового диапазонов волн

Приемопередающая свч-часть малогабаритного радиолокатора активной головки самонаведения // 2234713

Изобретение относится к радиолокационной технике, а именно к конструкции СВЧ-части малогабаритного радиолокатора активной головки самонаведения (АГСН)

Частотно-разделительное устройство // 2266590

Изобретение относится к радиоэлектронике, а именно к частотно-избирательным устройствам для обеспечения электромагнитной совместимости комплексов средств радиосвязи, может быть использовано также в измерительной технике и других областях радиоэлектронной техники

Способ изготовления окна вывода энергии свч // 2300162

Изобретение относится к электронной технике, а именно к способу изготовления диэлектрического окна вывода энергии СВЧ