Спосюб изготовления мембранныхприборов с микрозазором

 

ВСЕСОЮЗНАЯ

; ТЕ)1 и, =c„-,,ÄÓ

ОП Исай>

И ЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Социалистических

Реслу6лик

„„415432

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСВ,ТВУ (61) Зависимое от авт. свидстельства— (22) Заявлено 22.09.70 (21) 1480571/18-24 с присоединением заявки М— (32) Приоритет—

Опубликовано 15.02.74. Бюллетень М 6

Дата опубликования описания 17.09.74 (51) М. Кл. Г 16j 3/00

Н 04г 7!02

Государственный комитет

Совета Министров СССР оа делам изобретений и открытию (53) УДК 621.396.6 (088.8) (72) Авторы изобретения

Ю. П. Дягилев, Л. П. Гаврюшкин и И. С. Солдатенков (71) Заявитель

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕМБРАННЫХ

ПРИБОРОВ С МИКРОЗАЗОРОМ (54) 1

Изобретение относится к области микроэлектронной техники и предназначено для использования при изготовлении микрополостных электромеханических приборов (пленочных электростатических реле, мембранных модуляторов света и др).

Известные способы изготовления мембранных приборов с микрозазором путем последовательного нанесения электродов, изоляционного и буферного слоев, с последующим жидкостным вытравливанием буферного слоя для образования зазора, удалением травящей жидкости и сушкой не обеспечивают повышенного качества изготовления из-за залипания мембраны при сушке под действием сил поверхностного натяжения в зазоре, соизмеримых по величине с электростатическими силами, действующими в готовом приборе при его работе.

Отличием описываемого способа является то, что сушку производят в электростатическом поле, силы притяжения которого превышают силы поверхностного натяженич в зазоре.

Это позволяет повысить качество изготовления прибора.

При реализации описываемого способа последовательно наносят (напыляют) на подложку прибора тянущие электроды; изоляционный слой, контакты, буферный слой и мем2 брану, после чего удаляют буферный слой посредством вытравливания и промывки с сушкой прибора в электростатическом поле, силы притяжения которого превышают силы поверхностного натяжения в зазоре.

Последняя операция может быть реализована с помощью приспособления, конструктивная схема которого показана на чертеже.

Оно представляет собой диэлектрическую р подложку 1 с нанесенными на нее двумя электродами 2 и несколькими опорными выступами 3. При сушке прибора с подложкой 4 и мембраной 5 устройство устанавливают на подложку опорными выступами так, чтобы

15 электрическое поле между электродами 2 замкнулось через мембрану 5. Во время сушки электростатические силы оттягивают мембрану к электродам 8, н жидкость свободно испаряется пз мпкрополости прибора.

Предмет изобретения

Способ изготовления мембранных прибо25 ров с микрозазором путем последовательного нанесения электродов, изоляционного и буферного слоев, с последующим жидкостным вытравливанием буферного слоя для образования зазора, удалением травящей жидкости

3Q и сущкой, отличаю цийся тем, что, с целью

415432

Составитель Е. Иванова

Текред Г. Васильева

1(орректор Т. Хворова

Редактор Б. Нанкина

Изд. Л" 1298 Тираж 875 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Я-35; Раушская наб., д. 4/5

Заказ 3038

Загорская типография повышения качества изготовления, сушку производят в электростатическом поле, силы притяжения которото превышают силы поверхностного натяжения в зазоре.