Патент ссср 417656

Авторы патента:

H04R7/02 - отличающиеся конструкцией

F16J3/02 - диафрагмы

О П

СОюз СОветсиим

Социалистическитт

Республик

ИЗОБРЕТЕН И Я

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

М. Кл. I 16j 3/00 ! Н 04r 7/02

I !

УДК 621.396.6(088.8) !

Заявлено 22.! Х.1970 (№ 1480570/18-24) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 28.1!.1974. Е|оллетень ¹ 8

Дата опубликования описания 17.VII.1974 т к@Цф Ъ

Государотаенв |й ко:.}}яст

Совета 1|евиотров СССР ео долам кзгбретовий и открытей

Авторы изобретения

Л. П. Гаврюшкин, IO. П. Дягилев и И. С. Солдатенков

Заявитель

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕМБРАННЪ!Х ПPИБОРОВ

С МИКРОЗАЗОРОМ

) = Р/аг, 1

2Л

Предмет изобретения

Изобретение относится к микроэлектронной технике и может быть использовано при изготовлении микрополостных электромеханических приборов (пленочных электростатических реле, мембранных модуляторов света и др.).

Известные способы изготовления мембранных приборов с микрозазором путем последовательного нанесения электродов, изоляционного и буферного слоев с последующими жидкостным вытравливанием буферного слоя для образования зазора, удалением травящей жидкости и сушкой не обеспечивают высокого качества изготовляемых приборов из-за залнпания мембраны при сушке под действием снл поверхностного натяжения в зазоре, соизмеримых по величине с электростатическими силами, действующими в готовом приборе при его работе.

Предлагаемый способ отличается тем, что мембране при сушке сообщают колебания на собственной резонансной частоте.

Это позволяет повысить качество прибора.

При реализации описываемого способа последовательно наносят (напыляют) на подложку прибора тянущие электроды, изоляционный слой, контакты, буферный слой и мембрану, после чего удаляют буферный слой посредством вытравливания и промывки с сушкой в вибрационном режиме, сообщая мембране колебания на собственной резонансной частоте. Последнее может быть выполнено с помощью электромеханического или ино5 га вибратора, в результате чего мембрана воз. буждается на собственной резонансной частоте, которая может быть определена по формуле где h вЂ” длина мембраны, см;

F вЂ” натяг мембраны, дн; и вЂ” масса мембраны на единицу длины, 15 г/см.

Способ изготовления мембранных приборов

20 с микрозазором путем последовательного нанесения электродов, изоляционного и буферного слоев с последующим жидкостным вытравливанием буферного слоя для образования зазора, удалением травящей жидкости и

25 сушкой, отличающийся тем, что, с целью повышения качества изготовляемых приборов, мембране при сушке сообщают колебания на собственной резонансной частоте.

Мембранный блок // 196944

Электродинамический громкоговоритель // 31302

Электродинамический громкоговоритель // 28934

Упругие направляющие для прямолинейного перемещения объекта // 351014

Патент 158124 // 158124

Гидропневмоцилиндр // 2176340

Изобретение относится к области машиностроения и предназначено для преобразования давления рабочей среды в усилие штока

Силовая мембрана // 2239111

Изобретение относится к машиностроению и используется в электрогидравлических и пневматических устройствах

Способ изготовления мембраны пневмоцилиндра // 2243422

Изобретение относится к области силовых систем управления, а именно к рулевым приводам с мембранными пневмоцилиндрами, преимущественно малогабаритных управляемых снарядов

Способ изготовления слоистой силовой мембраны с кольцевой гофрой // 2285848

Изобретение относится к области машиностроения и может быть использовано при изготовлении армированных силовых мембран с кольцевой гофрой

Мембрана // 2288374

Изобретение относится к области проектирования и эксплуатации узлов перекачивающих систем, где жидкостный компонент преимущественно представлен масло- и нефтесодержащими продуктами

Способ изготовления мембранного блока // 2293235

Изобретение относится к машиностроению, приборостроению и может быть использовано для изготовления вулканизаторов-форматоров в качестве привода подпрессовочной плиты

Устройство для хранения и подачи жидких компонентов (варианты) // 2301180

Изобретение относится к устройствам для хранения и подачи жидкостей и может быть использовано для хранения и подачи компонентов топлива к потребителям на космических кораблях и летательных аппаратах

Гидравлический насос, диафрагма, способ изготовления диафрагмы и способ обнаружения разрушения диафрагмы // 2348847

Мембранный узел // 2037702

Передатчик давления и манометр // 2464467

Изобретение относится к области передатчиков давления и манометров для передачи давления измеряемой среды на датчик давления по гидравлическому тракту

Подвес мембраны головки громкоговорителя // 467502

Подвижная система электроакустического преобразователя // 485577

Низкочастотный громкоговоритель с плоским диффузором и его применение // 2523094

Изобретение относится к области акустики, и в частности, к аудиотехнике. Акустическая система содержит диффузор, подвеску диффузора, магнитную систему и колебательную катушку. Причем подвеска диффузора выполнена осесимметричной, а заднее основное излучение проходит по меньшей мере на 50% через внутреннюю часть магнитной системы. Толщина диффузора у внешнего диаметра составляет больше чем 10% диаметра диффузора, а отношение диаметра колебательной катушки к диаметру диффузора составляет по меньшей мере 0.75:1. Диффузор выполнен как диффузор низкочастотного громкоговорителя, причем указанная система дополнительно имеет громкоговоритель для воспроизведения верхних звуковых частот. По меньшей мере одна область диффузора выполнена из упругого вспененного материала, а сам диффузор выполнен трехслойным. Материал сердечника трехслойного диффузора имеет ячеистую структуру, изготовленную из арамидных волокон, бумаги, номекса, алюминия, пластмассы, полиэфира, полипропилена и/или содержит внешние слои волокнистых материалов, металлической фольги и/или пленки из пластмассы. Технический результат - улучшение акустических характеристик громкоговорителя. 5 з.п. ф-лы, 4 ил.