Катод для реактивного распыления кремния

 

Союз Советских

Соци!одистнческих, Респ облик

1!424449

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (u1) Зависимое от авт. свидетсльства— (22) Заявлено 05.01.71 (21) 1607659, 23-26 (5! ) Ч. Кл. С 23с 15i00

В 01j 17/28 с п1!Нсоединением заявки ¹â€”

Государствеииый комитет

Совета Министров СССР оо делам иообретеиий и открытий (32) Приоритет—

Опубликовано 15,05.74. Бюллетень № 18 (53) УДК 621.315.592 (088,8) Дата опубликования описания 20Х3.75 (72) Авторы изобретения

А. Г. Петрик, 3. С. Фалькевич, Л. Я. Шварцман, В. M. Школьников, В. И. Кимарский, Е. Г. Завьялец и А. П. Кауфман (71) Заявитель (54) КАТОД ДЛЯ РЕАКТИВНОГО РАСПЫЛЕНИЯ

КРЕМНИЯ да к1)ел1Н1!я ОсущестВзяloT Вил аВленнеъ! тонкого слоя кремния (50 — 100 л!к!!) в графит илп нанесением карбида крем:IHÿ на графит нз парогазовой фазы. Затем наносят слой кремния также нз парогазовой фазы.

Прн расположении кремниевого слоя на промежуточном слое карбида кремния получа!от свободный от трещин и напряжений кремниевый слой. Вследствие того, что слой кремния наносят из газовой фазы, графитовая основа покрывается кремнием со всех сторОн, что исключает необходимость маскирования обратной стороны кремниевого катода.

ИспользоВание теl! Их моно, IHTIIIilx катодоВ в установках катодного распыления позволяет повысить их производительность и выход годной продукции.

1. Катод для реактивного распыления кремния на графнтовой основе, покрытой слоем кремния, Отличаю ци!1ся те 1, что, с целью увеличения срока службы, между слоем кремния и графитовой основой расположен промежуточный слой карбида кремния толщиной в

100 — 600 раз меньше толщины слоя кремния.

2. Катод по и. 1, отличи!ои!ийся тем, что промежуточный слой карбида кремния имеет толщину 5 — 15 л!кль

Изобретение относится к области технологии полупроводниковых материалов и приборов.

Кремниевые катоды используются в,уста-!

Новках реактивного распыления для получения тонких слоев двуокиси кремния, нитрида кремния, легированных поликристаллнческих кремниевых слоев и пассивации поверхности полупроводниковых приборов.

Известен катод для реактивного распыле- И ния, представляющий собой графитовую основу, покрытую слоем кремния. Однако вследствие различных коэффициентов линейного расширения кремния и графита, а также различия температурной зависимости этих коэффициентог,, такие катоды имеют трещины на поверх:!ости и малый срок службы.

С целью увеличения срока службы катода предлагают располагать между кремниевым слоем и графнтовой основой промежуточный слой карбида кремния толщиной в 100 — 600 раз меньше толщины кремниевого слоя. Обычно толщина слоя карбида кремния составляет

5 — 15 л!кл!.

На чертеже показано устройство катода для .реактивного распыления. Он представляет собой графитов!у!О основу 1, промежуточный слой карбида кремния 2 и кремниевый слой 3.

Образование промежуточного слоя карби- ЗО

Предмет изобретения

424449

Составитель Л. Шварцман

Редактор Л. Новожилова Техред 3. Тараненко Корректор В. Гутман

Заказ 69/282 Изд. № 1622 Тираж 875 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Тип, Харьк. фил. пред. «Патент»