Способ нанесения покрытия на кварцевы1контейнервпт б^нд знш^ертое
п11 425862
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Совтатских
Социалистииеских
Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 11.05.72 (21) 1783963/29-33 с присоединением заявки № (32) Приоритет
Опубликовано 30.04.74. Бюллетень № 16
Дата опубликования описания 20.11.74 (51) М. Кл. С 03с 17, 00
Государственный квинтет
Совета Миннстраа СССР оо делам изооретеннй и открытий (53) УДК 666.1.058.5 (088.8) (72) Авторы изобретения А. А. Камарзин, А. Н. Киргинцев, В. В. Баковец и Ю. А. Стонога (71) Заявитель Институт неорганической химии Сибирского отделения АН СССР (54) СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ НА КВАРЦЕВЫ
КОНТЕЙ Н EP
Предмет изобретения
Изобретение относится к способу нанесения покрытия на кварцевый контейнер путем воздействия газообразными продуктами при нагревании.
Цель изобретения — обеспечить возможность работы контейнера при температуре, выше температуры размягчения кварцевого стекла.
Достигается это тем, что воздействие осуществляют газообразной смесью 7 — 10 об.% метилтрихлорсилана в водороде при 1000—
1200 С.
Стенки кварцевого контейнера, через который пропускают смесь 7 — 10 об.% метилтрихлорсилана с водородом, прогревают газовой горелкой до 1000 †12 С. После образования пленки толщиной 2 — 6 мкм горелку продвигают вдоль контейнера. При этом сам контейнер равномерно вращается вокруг своей оси со скоростью 100 — 300 об/мин. После получения защитного покрытия контейнер отжигают в атмосфере водорода для удаления следов метилтрихлорсилана и оставляют охлаждаться до комнатной температуры.
5 Обработка германия и антимонида индия для получения монокристалла в контейнере с покрытием, нанесенным по предложенному способу, обеспечивает чистоту получаемого в нем продукта.
Способ нанесения покрытия на кварцевый контейнер путем воздействия газообразными
15 продуктами при нагревании, о тл и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью обеспечения работы контейнера при температуре, выше температуры размягчения кварца, воздействие осуществляют газообразной смесью 7 — 10 об. метил20 трихлорсилана в водороде при 1000 †12 С.
