Способ получения покрытий

 

пi 430I95

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских оциалистииеских

Республик к Авторскому свидетедьству 1 (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 18.10.71 (21) 17059 80/22-1 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 30.05.74. Бюллетень № 20

Дата опубликования описания 21.10.74 (51) М. Кл. С 23с 11, 02

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.793.1 (088.8) (72) Авторы изобретения

А. Б. Димант, В. Г. Сыркин, В. В. Иноземцев, А. А. Уэльский, В. И. Саломатин, Б. Г. Рабинович, Л. И. Соловьев и Г. Н. Шарапова

Научно-исследовательский и экспериментальный институт автомобильного электрооборудования и автоприборов (71) Заявитель (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИИ

Изобретение относится к получению металлических покрытий термическим разложением соединений металла в газовой фазе, и в частности, разложением карбонилов металлов.

Известен способ получения покрытий, например металлических, термическим разложением карбонилов металлов в вакууме.

Предлагаемый способ отличается тем, что процесс осуществляют сначала при температуре осаждения металла, а затем при температуре осаждения его карбида с последующей термообработкой покрытия, что обеспечивает .повышение его коррозионной стойкосги.

Предлагаемый способ осуществляется следующим образом.

Предварительно очищенную етодложку нагревают до рабочей температуры, например

100 — 700 С, в зависимости от природы исходного карбонила в рабочем пространстве с остаточным давлением 1,10 — — 1,.10 — мм рт. cr., после чего подают пары карбонила соответствующего металла, который, разлагаясь на нагретой подложке, обеспечивает получение слоя металла определенной толщины с высокой адгезией к подложке, Затем температуру подложки снижают до

20 — 400 С, при которой карбонил разлагается с образованием карбида металла, что приводит к повышению коррозионной стойкости и твердости покрытия. После нанесения такого двухслойного покрытия объект подвергают термической обработке в отсутствии карбонила с постепенным снижением температуры до комнатной.

Предлагаемый способ позволяет получать покрытия разложением карбонилов различных металлов, например пикеля, хрома, ванадия, молибдена, вольфрама, марганца, рения, 15. железа, кобальта, осмия на металлических и неметаллических подложках.

В таблице приведены данные для процесса разложения карбонилов никеля и хрома при остаточном давлении 1,10 — — 1,10 — а мм рт. ст.

20 и температуре нагрева карбонила соответственно 20 и 40 С.

Полученные покрытия отличаются высокой адгезией с основой и высокой коррозионной

25 стойкостью.

430195

Таблица

Материал подложки

Матесталь пластмасса цинковые сплавы риал температура время

Стадии процесса температура процесса, ОС время процесса, мин температура процесса, ОС время процесса, мин покрыпроцесса, мин процесса, ОС тия

200

Сг

Прогрев очищенной подложки

130

200

200

Сг

Получение чистого металлического подслоя

130

10

200

Сг

170

Наращивание слоя карбида

110

170

500 — 20

200 — 20

Сг

Снятие внутренних напряжений

200 — 20

110 — 20

Предмет изобретения

Составитель Л. Казакова

Техред 3, Тараиенко Корректор 3. Тарасова

Редактор П. Горькова

Заказ 2771/10 Изд. № 1685 Тираж 875 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская иаб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Способ, получения покрытий термическим разложением карбонилов металлов в вакууме, отличающийся тем, что, с целью повыщения корр озионной стойкости покрытия, процесс осуществляют сначала при температуре осаждения металла, а затем при температуре осаждения его карбида с последующей

5 термообработкой покрытия.