Способ изготовления пьезосорбционного чувствительного элемента
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ (и) 438913
Союз Советских
Социалистических
Веспублик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от BIBT. овидетельства (22) Заявлено 10.05.73 (21) 1916064/26-25 с втрисоеденеиием зая втои № (32) Приоритет
Опубликовано 05.08.74. Бюллетень № 29
Дата опубликования описания 21.1.75 (51) M. Кл. G 01п 25/56 государственный комитет
Совета Министров СССР
f10 делам изооретений и открытий (53) УДК 533.275(088.8) (72) Авторы изобретения
В. Е. Иващенко, И. А. Рудых, В. П. Коломыйцев, С. П. Котов, Л. И. Попова и К. В. Попов (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЬЕЗОСОРБЦИОННОГО
ЧУВСТВ ИТЕЛ ЬНОГО 3Jl ЕМЕНТА
Предмет изобретения
Изобретение относится к способам изготовления пьезосорбционных чувствительных элементов и может быть использовано при изготовлении газоанализаторов, в частности датчиков влажности газов.
Известен способ изготовления пьезосорбционного чувствительного элемента путем нанесения на кварцевую пластину с серебряными электродами полимерного сорбента, например капрона, и последующей термообработки.
Изготовленные этим способом чувствительные элементы нестабильны во времени, вследствие чего снижаются их сорбционная способность к водяному пару, чувствительность, точность. Кроме того, невозможна их длительная эксплуатация из-за химического взаимодействия серебряных электродов с сернистыми соединениями, микропримеси которых постоянно присутствуют в воздухе, а также из-за того, что структура капрона, термостабилизированного известным способом, недостаточно стабильна.
Целью изобретения является повышение точности, чувствительного элемента и увеличение срока его эксплуатации.
Поставленная цель достигается благодаря тому, что серебряные электроды кварцевой пластины сульфируют, помещая пластину в камеру, заполненную насыщенными парами сероводорода, выдерживают при температуре
45 — 50 С в течение двух суток. Затем на пластину с электродами наносят, например, путем распыления, пленку капрона — раствор полив-капромида в 85%-ной муравьиной кислоте.
После этого чувствительный элемент подвер5 гают термообработке в сухой камере при температуре 170 — 180 С в течение 10 мин в среде инертного газа, после чего чувствительный элемент охлаждают до комнатной температуры в течение 20 час в той же среде.
Способ изготовления пьезосорбционного чувствительного элемента путем нанесения на
15 кварцевую пластину с серебряными электродами полимерного сорбента, например капрона, с последующей термообработкой, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью повышения точности чувствительного элемента и увели20 чения срока его эксплуатации, серебряные электроды кварцевой пластины сульфируют, для чего кварцевую пластину помещают в камеру, заполненную насыщенными парами сероводорода, выдерживают при температуре
25 50 С в течение двух суток, затем после нанесения сорбента термообработку осуществляют в сухой камере, нагревая элемент при температуре 180 С в течение 10 мин в среде инертного газа, после чего элемент охлаждают до
ЗО комнатной температуры в той же среде в течение 20 час.
