Полупроводниковый датчик

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ («) 439690

Союз Советскии

Социалистииескии еснублик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 06.06.72 (21) 1793370/25-28 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 15.08.74. Бюллетень № 30

Дата опубликования описания 22.01.75 (51) M. Кл. G Olb 7/16

Государственный комитет

Совета Министров СССР оо делам изобретений и открытий (53) УДК 531.781(088.8) (72) Авторы изобретения

В. А. Романов, И. П. Жадько и Б. К. Сердега

Институт полупроводников АН Украинской ССР (71) Заявитель (54) ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ДАТЧИК

Известен полупроводниковый датчик механических напряжений, содержащий чувствительный элемент в виде удлиненного параллелепипеда, вырезанного из слитка примесного германия так, что плоскости широких граней его параллельны оси (110), а длинные ребра этих граней лежат в плоскости (1101 и повернуты на угол 30 по отношению к оси (111) в сторону оси (001), и два токовых контакта, из которых один запорный, расположенных на продольной оси симметрии одной из широких граней параллелепипеда.

Однако известный датчик имеет ограниченную теплочувствительность.

Предложенный датчик отличается от известного тем, что он снабжен двумя дополнительными контактами, в том числе, по крайней мере, одним запорным, расположенными на широкой грани на перпендикуляре к ее длинному ребру симметрично относительно продольной оси симметрии.

Такое выполнение позволяет существенно повысить чувствительность датчика.

На чертеже схематично показан предложенный датчик.

Датчик содержит чувствительный элемент 1 в виде удлиненного параллелепипеда, вырезанного из слитка примесного германия так, что плоскости его широких граней 2 и 3 параллельны оси (110), а длинные ребра этих граней лежат в плоскости (110) и повернуты на угол 30 по отношению к оси (111) в сторону оси (001).

На одной из широких граней 2 расположены два токовых контакта 4 и 5, из которых один 4 выполнен запорным, путем выплавления индия, а другой 5 — антизапорным, путем выплавления сплава индия с мышьяком.

На той же грани 2 расположены на перпендикуляре к ее длинному ребру симметрично относительно упомянутой продольной оси два дополнительных контакта 6 и 7, из которых, по крайней мере, один 6 выполнен запорным.

Широкая грань 3, свободная от контактов, 15 имеет шлифованную поверхность, остальные грани параллелепипеда — поверхность, подвергнутую травлению.

Датчик работает следующим образом.

К противоположным граням 8 и 9, перпендикулярным продольной оси параллелепипе. да, прикладываются измеряемые механические напряжения или деформации. На основные контакты 4 и 5 подается в направлении прямой проводимости импульсное напряжение питания, На дополнительные контакты 6 и 7 подает ся от отдельного источника напряжение смещения и измеряется ток в этой цепи, Величина тока меняется в зависимости от приложенЗО ного механического напряжения.

439690

Ф

Предмет изобретения

Составитель Н. Тимошенко

Техред Г. Дворина

Корректор Е. Кашина

Редактор М. Макарова

Заказ 3721/2 Изд. № 1896 Тираж 760 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Полупроводниковый датчик механических напряжений, содержащий чувствительный элемент в виде удлиненного параллелепипеда, вырезанного из слитка примесного германия так, что плоскости широких граней его параллельны оси (110), а длинные ребра этих граней лежат в плоскости (110) и повернуты на угол 30 по отношению к оси (111) в сторону оси (001), и два токовых контакта, из которых один запорный, расположенных на продольной оси симметрии одной из широких граней параллелепипеда, отличающийся тем, что, с целью получения более высокой

5 чувствительности, датчик снабжен двумя дополнительными контактами, в том числе, по крайней мере, одним запорным, расположенными на широкой грани на перпендикуляре к ее длинному ребру симметрично относительно

10 упомянутой продольной оси симметрии.