Интерферометр сдвига

 

О П И С А Н И Е (ii) 44l443

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союа Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 24.07.72 (21) 1812754/26-25 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 30.08.74. Бюллетень ¹ 32

Дата опубликования описания 06.08.75 (51) М. Кл. G 01Ь 9, 02

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений н открытий (53) УДК 772.99(088 8) (72) Авторы изобретения

Н. Г. Власов, И. К. Вульман, Ю, П. Пресняков и В. Б. Слоцкий (71) Заявитель (54) И НТЕРФ ЕРОМЕТР СДВ И ГА

Изобретение относится к оптическим интерферометрам и может быть применено для исследования деформации и вибраций диффузно отражающих излучение объектов, а также для изучения фазовых н зеркально отражающих ооъектo, освещенных через диф(рузныи расссиватель.

С помощью известных ннтерферометров получают лишь интерферограммы сдвига для зеркально отражающих нли фазовых обьектов, получение интерферограмм сдвига для диффузно отражающих объектов невозможно.

Кроме того, конструкция интерферометра громоздка, что вызвано необходимостью защиты от вибраций и применения лазеров, работающих в одномодовом режиме, Цель изооретения — получение интерферограмм сдвига диффузно отражающих объектов при сниженных требованиях когерентностн источника излучения.

Для этого система деления отраженного оТ объекта пучка выполняется в виде набора диафрагм, размеры которых определяются величиной измеряемой деформации и величиной сдвига.

На фиг. 1 приведена оптическая схема предлагаемого интерферометра; на фиг. 2 изображен его общий вид, Интерферометр содержит корпус 1, установленные в нем верхнюю половину 2 билинзы в оправе 3, мпкрометрпческий винт 4 для перемещения половины 2 бплинзы относительно ее неподвижной половины 5, закрепленной в неподвижной оправе 6. Действующие диаметры

5 обеих половин бплпнзы регулируются оправамиi è8.

В процсссе измерения излучением когерентного источника освещают исследуемый объект.

Вблизи плоскости квадратичного детектора

10 получают два сдвинутых одно относительно другого изображения объекта. Величину сдвига устанавливают по понпусной шкaëñ винта

4 либо визуально»о сдвигу изображений. Пря этом действующие диаметры обеих половин

15 билинзы устанавливают диафрагмами, размеры которых выбирают нз условия, согласно которому средщгй размер зернистой структуры должен быть больше, чем максимальная величина перемещения точек повсрхнос и;

20 объекта.

Средний размер зернистой структуры для продольного и поперечного перемещения соотУ f ветственно составляет Х вЂ” т и l(— пР, гд

4(1. — длина волны, — — отношение фокальной

d длины к действующему диаметру, n) — коэффициент уменьшения в плоскости пзображс30 и ня.

441443

В плоскости изображения волновые поля, образующие два сдвинутых изображения исследуемого объекта, накладываются под углом одно к другому, в результате чего при регистрации квадратичным детектором возникает 5 несущая пространственная частота и при восстановлении — дифракционные порядки, в которых наблюдают интерферограмму сдвига.

Для выделения восстановленного порядка 10 дифракции оптической фильтрацией расстояние между центрами действующих диаметров верхней и нижней половин билинзы должно быть больше или равно удвоенному размеру действующего диаметра. 15

Предмет изобретения

Интерферомстр сдвига, содержащий источник когерентного излучения, оптические злементы формирования пучка, освещающего объект, оптические системы формирования и сдвига изображения, расположенные за объектом, и квадратичный детектор, отличаюшийся тем, что, с целью получения интерферограмм сдвига от диффузно отражающих объектов, система деления отраженного от объекта пучка выполнена в виде набора диафрагм, размеры которых определяются величиной измеряемой деформации объекта и величиной сдвига.