Шлюзовое устройство

 

О Il И С А Н И Е (111, 443082

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Социалистических

Респубттик к авторском свидатильству (61) Зависимое от авт.. свидетельства— (22) Заявлеио02.04. 73 (21)L9I4808/22-I (51) М Кл.

С 2Id. 9/00

С 2Зс Ia/08 с присоединением заявки—

Государственный комитет

Совета Министров СССР оо делам изооретеннй н OTIIPblTNN (З2) Приоритет—

ОпубликованоТ5.ОЬ74 Бюллетень № З4 (45),Дата опубликования описания 25.ПЛ (53) УдК62Ie 793.

4.022.5I

088.8) (72) Авторы изобретения

В.И.ИВАПЕИИ, В.В. ОДИНОКОВ z В.Е.МИНАЙЧЕВ (71) Заявитель

" (54) ШЛЮЗОВОЕ УСТРОЙСТЕ) 1

Изобретение относится к области обработки изделий в вакууме.

Известно шлюзовое устройство, содержащее ряд камер, со ступенча-. тым понижением давлейия и толкаталь, выполненный в виде цилиндра с гнездами.

Известное шлюзовое устройство имеет следующие недостатки.

I. Часть толкателя для обеспечения герметизации вакуумной рабочей камеры при выводе изделий в область более высоких давлений остается в шлюзовом устройстве и поэтому толкатель изготовляют большой длины.

2. Толкатель невозможно полностью извлечь из шлюзового устройства без нарушения герметичности вакуумно рабочей камеры и поэтому нельзя быстро псренести изделие из одной рабоч, чеи камсры на операцию, проводимую на атмосфере.

С целью уменьшения длины толкателя и обеспечения полного его вывода из шлюзового устройства без нарушения вакуума рабочей камеры каждая шлюзовая камера снабжена подпружиненным клиновым затвором, а конец толкателя выполнен в виде клина.

На чертеже показано предло1о женное устройство.

Устройство содержит корпус

I со шлюзовыми камерами 2-5, ступенчато понижающими давление, толкатель 6, конец которого выпол15 нен в виде клина с гнездом 7 °

В каждую шлюзовую камеру установлен клиновый затвор 8, который закрывает под действйем сил упругости пружин 9 отверстие

2О ПРОХОДа тОлкатЕЛЯ.

Шлюзовые камеры откачиваются через соответствующие откачныв патрубки IO.

Устройство работает следующим

25 образом. I

443082 открыта, откачка через откачной патрубок этой камеры не ведется.

ПРЕДМЕТ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Составитель Я,КУЗОВКИНИ : -рЩ.Макарова р" р. A. Гладкова

113, №,ХФЛ ираж 5Я

Подписное

ill ll ll1l Ill Гс суда!.cI»eIIIIoI o комитета Совет а Мииистров СССР

IIU делам изобретений и открытий

Москва, !3035, Раушская иаб., 4! 11 едирияти .«11r си г>:, Москва, Г-59, Бережковская иаб., 24

После установки изделия II в гнездо 7, толкатель б вводится в шлюзовую камеру 2.

При своем движении толкатель входит в контакт с клиновыми затворами 8 и открывает их, преодолевая усилие пружин 9.

Шлюзовые камеры 2-5 со ступенчато-понижающим давлением через соответвтвующие откачные патрубки I0 уменьшают натекание газа в вакуумную рабочую камеру I2, который проникает через зязорц между корпусом 1 и толкателем 6, 15 а также заносится гнездом 7.

При извлеченном толкателе натекание газа происходит через зазоры между корпусом I и закрытыми клиновыми затворами 8. 20

Этот поток газа удаляется через откачные патрубки.

Так как шлюзовая камера 2 .со стороны атмосферы при этом

Шлюзовое устройство, содержащее ряд камер со ступенчатым понижением давления и толкатель, выполненный в виде цилиндра с гнездами для размещения изделий и имеющий возможность возвратно-поступательного перемещения, отличающееся тем, что, с целью уменьшения длины толкателя и обеспечения полного его вывода из шлюзового устройства без нарушения вакуума в рабочей камере, каждая шлюзовая камера снабжена подпружиненным клиновым затвором, а конец толкателя выполнен в виде клипа.