ОпубликовансО >Д „бюллетень № 4g дата опубликования описанияХ5 H Ф74 (ьз) ь дк б21.576.7 (О88.8) (72)ABTopbl В.П. Беляков, А.В. Исаев, В,И. Куприянов, В.В. Леонов, В.П. Лунчев, А.М. Макаров

И НиВ ФИЛИН (71) Заявитель

М)КРИОАДСОРБЦИОННЫЙ НАСОС

ПРЕДМЕТ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Изобретение относится к устройствам для ниэкотемпературной адсорбции.

Известен криоадсорбционный насос, содержащий емкость для криогенной жидкости и жестко укрепленную на ве наружной поверхности камеру для мелкодисперсного адсорбента.

Однако большие размеры насоса, сложность его изготовления, невозможность применения порошковых адсорбентов и попадание частиц адсорбента в вакуумируемое устройство ограничивают применение известного насоса.

Цель изобретения - увеличение производительности и исключение попадания пыли в вакуумируемое устройство вЂ” достигается тем, что стенки камеры для адсорбента изготовлены из пористого оптически непрозрачного материала с высоким коэффициентом теплопроводности.

Пористую стенку можно поучить путем спекания медного йорошка

Насос, схема которого изооражена на чертеже, работает следующим образом. Емкость Х заливают криогенной жидкостью. Пористая

5 стенка 2 за счет высокого козффициента теплопроводности материала, из которого она выполнена, быстро приобретает температуру близкую к температуре криогенной жидкости, 1о что способствует эффективному охлаждению адсорбвнта 3 и отводу теплоты сорбции.

Вследствие того, что рост коэффициента прилипания за счет охла» ждения газа в порах стенки компенсируют уменьшение :-козффициен та захвата, вызванное сопротивлением пористой стенки, достигаются высокие удельные скорости откачки.

Криоадсорбционный насос, содер» жа1ции емкость для криогенной жидкост и жестко укрепленную на ее наружной поверхности камеру для

Составитель Д.ИСВЯВ

Редактор 7.53р34НОВ3 Техред Я. fl gT8 pQBQ Корректор Щ Яд,я иск."ЙЯ

Изд. гй 593 Тираж Подписное

Заказ 6КЗ

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений н открытий

Москва, l l3035, Рауяская яаб., 4

Предприятие «Патент», Москва, Г-б9, Бережковская наб., 24

44.9Л2 мелиодисперсного адсорбента, ки каиеры для адсорбента выполо т л и ч а а шийся теы, что, ноны из пористого оптически.непел @ ysezaaeaas производитель ности и исключения попадания пыли коэффициентом теплоппроводности. в мкуумируеиое устройство, стен

Похожие патенты:

Вакуумный сорбционный насос // 447521

Сорбционная ловушка для механических' и паромасляных диффузионных вакуумныхнасосов // 434185

Адсорбционный насос // 428107

Патент 418628 // 418628

Патент 413273 // 413273

Сорбционный вакуумный насос // 403877

Вакуумный адсорбционный насос с циркулирующим сорбентом // 383877

Сорбционный насос // 363811

Высоковакуумный сорбционный насос // 355381

Патент 354680 // 354680

Адсорбционный насос // 2101564

Изобретение относится к вакуумной и криогенной технике и может быть использовано как в вакуумных насосах для получения глубокого вакуума, так и в рефрижераторах криосорбционной откачки рабочего тела, в частности для откачки 3He в рефрижераторах растворения

Система для обработки полупроводникового изделия (варианты), встроенный геттерный насос и способ обработки полупроводникового изделия // 2125619

Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия

Модуль и система геттеронасоса // 2138686

Способ вакуумирования гермообъема // 2140015

Изобретение относится к способам вакуумирования гермообъемов и преимущественно может быть использовано в холодильной, морозильной технике и устройствах кондиционирования и осушения воздуха с использованием термоэлектрических модулей на эффекте Пельтье, а также в измерительной технике, радиоэлектронной аппаратуре электровакуумных приборах и т.д

Геттерный насос квантового водородного генератора // 2183768

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к сорбционным (геттерным) насосам, и может быть использовано в вакуумных системах водородных стандартов частоты

Адсорбционный насос // 2186248

Изобретение относится к криогенной технике, а именно к адсорбционным насосам, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газа из замкнутых объемов

Газопоглотительный насос // 2186249

Изобретение относится к насосам, работа которых основана на хемосорбции и предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов

Адсорбционный насос // 2187694

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Адсорбционный насос // 2187695

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Адсорбционный насос // 2187696