Материал на основе нитрида циркония

 

О П И С А- Н-и=И=

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик (11) 451774

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 26,04.72 (21) 1777579/22-1 с присоединением заявки ¹â€” (32) Приоритет

Опубликовано 30,11.74 Бюллетень № 44

Дата опубликования описания 29.О3,75 (51) М. Кл. С 22с 29/00

С 04 35/58

Гасударственный комитет

Совета Министров СССР аа делам изооретеннй и открытий (53) УДК 621.762:669, .018,95(088,8) (72) Авторы изобретения

В. С. Дергунова, А. В. Емяшев и С. 3. Мартынов (71) Заявитель (54) МАТЕРИАЛ НА ОСНОВЕ НИТРИДА ПИРКОНИЯ

6,9-7,2

1 900-2 500

3-10

Остальное

Бор

Нитрнд циркония

1,5-2

Изобретение относится к материалам на основе ннтрида нирконня, которые используются для зашиты нагревательных элементов вакуумного испарения цветных металлов, например никеля и алюминия. 5

Известен материал на основе нитрида циркония, служащий для зашиты нагревательных элементов вакуумного испарения цветных металлов. )О

Пель изобретения — повышение стойкости испарительных элементов.

С этой целью предлагается материал на основе нитрида циркония, который отлича- 15 ется от известного тем, что в него введен бор при следующем соотношении компонентов, вес. %:

Способ изготовления описываемого материала заключается в осаждении из газо25 вой фазы . сплава указанного состава при

1500-1800оС и давлении 10-30 мм рт.ст. причем газовая фаза содержит хлориды бора и циркония, азот и водород.

Соотношение исходтых газовых компонентов, применяемых для получения предлагаемого материала, следующее:

Н: ф .. С1:ВС1 = 10:15:2:1 (мольное со соотношение).

Осаждение материала ведут преимущественно на графите.

Материал имеет следующие свойства

Плотность, г/см

Микротвердость, кг/мм

Стойкость при испарении алюминия, час при скорости подачи алюминия

5 г/мин при скорости подачи алюминия 0,14 г/мин

4S1774

3-10

Остальное

Материал на основе нитрида циркония, отли ч а ю ш и и с Я тем. ч» с ю 5 Нитрид пиркония

Составитеаь Э. Залманова

Редактор E. Шепелева Техред Г.Подуруиища Корректор П.Стельмах

Тираж

Изд.И (з-.. Eg73

Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР ио делам изобретений и открытий

Москва, 113035, Раушская наб., 4

Предприятие «Патент», Москва, Г-59, Бережковская иаб., 24

Предмет изобретения повышения стойкости испарительных элвментов, в него введен бор при следующем соотношении компонентов, вес. 7;