Пьезоэлектрический термодатчик
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
СОЮЗ Советских
СОЦИалистиЧ Кких
Реслублин
"" 455249
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (б1) Зависимое от авт. свндетельства— (22) Заявлено 16,04.73 (21) 1908820/18-10 (51) М.Кл. С Oik 7/18 с присоединением заявки— (32) Приоритет—
Опубликовано 30.12.74. Бюллетень ¹ 48
Гооударотоониъ и комитет
Совета Министров СССР
ilIl долам изооретений и открытий (о3) УДК 536.51(088 8) Дата опубликования описания 11.05.75 (72) Авторы изобретения
Л. А. Любимов, В. А. Часовской, В. А. Волков, Э. М. Шилов, Е. Г. Шкиндеров, А. А. Зеленков, Г. М. Рудаков и И. Ф. Андрюхин (71) Заявитель
3 (54) ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ТЕРМОДАТЧИК!
;; .. сь . 6 11ь
Предмет изобретения
11зобретенис относится к области электронной техники, а именно к термодатчикам, которые обычно используются для преобразования и измерения температуры пьезоэлектрических элементов в широком динамическом температурном диапазоне.
Известные термодатчики не обеспечивают достаточной чувствительности в широком динамическом температурном диапазоне и, кроме того, имеют большую нелинейность, что затрудняет возможность исследования их для измерения температуры пьезоэлектрических элементов и резонаторов.
Цель изобретения — создание такого термодатчика, которьш имеет более высокую точность измерения температуры в широком динамическом диапазоне за счет улучшения оощей чувствительности и лине IIIocxll датчика в рабочем диапазоне температур.
Это достигается путем выполнения тсрмодатчика в виде совокупности тонкопленочного платинового резистора, нанесенного на пьсзоэлсктрическу ю, например, ква рцевую. подложку, размещенного с помощью элементов крепления в гсрмстичсском корпусе, благодаря введению I На чертеже показан предлагаемьш пьезоэлектрический термодатчик. Термодатчик содержит герметизированньш Ip баллон 1, пьезоэлектрическую, например, кварцевую подложку 2, электроды 3 и 4, токоподводящне и крепежные элементы 5 и 6, тонкопленочный платиновый резистор 7, сквозные или полые компенсационные пазы 8 15 и 9 и цоколь 10 с клеммной колодкой 11. 20 Пьезоэлектрический термодатчик, выполIIe!Illblll в виде совокупности тонкопленочного платинового сопротивления н изоляционной IIOr10ih li1I, p lI 3iI eIQe I I I l hI X B гep iI CT II3 II pO B I I I I I Oil корпусе, отлпча оп/пй с.ч тем,:то, с целью по25 вышения тсрмочувствнтсльllocn; датчика, он доно,ши1сльно снабжен пазами, которые расположены íà обеих сторонах пьезоэлектрической по ложки но II,I Iòllíoâoili пленочному сопротивлению. 455249 Составитель И. Рывкина Техред Т. Курилко Редактор Т. Рыбалова Корректор А. Дзесова МОТ, Загорский цех Заказ 792 Изд. № 2002 Тираж 760 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
