Устройство для измерения толщины покрытий
О П И С А Н И Е (tt) 456246
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 03.05.73 (21) 1917962/29-33 с присоединением заявки № (32) Приоритет
Опубликовано 05.01.75. Бюллетень ¹ 1
Дата опубликования описания 17.02.75 (51) М, Кл, G 03с 17,. 00
Государственный комитет
Совета Министров СССР
tto делам изобретений и открытий (53) УДК 621.793(088.8) (72) Автор изобретения
Ю. С. Родичев (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЙ
Изобретение может применяться, например, при изготовлении оптических покрытий в вакууме.
Известно устройство для измерения толщины покрытий, включающее смонтированные в вакуумной камере осветитель с зеркалом, жестко закрепленные относительно базовой плиты, фотометрическое окно и держатель с подложками.
Однако в таком устройстве нельзя измерить оптические характеристики покрытия в процессе его изготовления на разных расстояниях от оси держателя.
Целью настоящего изобретения является измерение оптических характеристик покрытия на любом расстоянии от оси держателя без разгерметизации вакуумной камеры и оез перестройки оптической схемы фотометра.
Это достигается тем, что осветитель и система зеркал жестко закреплены относительно друг друга на полом валу, установленном в подшипниках с возможностью вращения параллельно оси держателя на расстоянии не менее чем половина его,диаметра.
На чертеже схематически изображено предложенное устройство.
В вакуумной камере 1 смонтированы испарители 2 и держатель 3 с образцами 4 и 5.
Осветитель 6 с зеркалом 7 с помощью верхнего кронштейна 8 жестко закреплен на валу
9, вращающемся в подшипниках 10, установленных на плите 11. На валу. с помощью нижнего кронштейна 12 также закреплена систе5 ма зеркал 13, 14, отклоняющая световой пучок, прошедший подложку, на ось вращения вала, совпадающий с осью фотометрического окна 15. Таким образом, ось вращения осветителя и системы зеркал совпадает с осью
10 вращения вала и фотометрпческого окна.
Световой пучок с помощью отклоняющей системы направляется на подложку с нанесенным на нее оптическим покрытием. Далее световой пучок, прошедший подложки или от15 раженный от них, проходит фотометричсское окно, ось которого совпадает с осью вращения осветителя в отклоняющей системе.
Для обеспечения прохождения светового пучка вдоль оси вала он выполнен полым.
20 Расстояние между осью вращения осветителя с зеркальной системой и осью держателя, в пределах которого требуется обеспечить измерение оптических характеристик покрытия в процессе его изготовления, выбирается
25 не менее чем половина диаметра держателя.
Крепление осветителя, зеркал и кронштейнов предусматривает необходимые подвижки для юстировки фотомстрической системы It обеспечения заданного угла падения светово30 го пучка на покрытие.
456246
Предмет изобретения
Составитель Г. Буровцева
Техред Т. Курилко Корректор И. Позняковская
Редактор Г. Кузьмина
Заказ 291 22 Изд. № 282 Тираж 528 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
Управление разворотом вала 9 с осветителем 6 и системой зеркал 7, 13, 14 вокруг его оси легко осуществляется извне вакуумной камеры.
Устройство для измерения толщины покрытий в процессе их нанесения, например на стеклянные подложки, содержащее смонтированные в вакуумной камере осветитель с системой зеркал, фотометрическое окно и держатель с подложками, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью обеспечения замера толщины покрытия на любом расстоянии от оси держателя без разгерметизации вакуумной камеры, осветитель и система зеркал жестко закреплены относительно друг друга на полом валу, установленном с возможностью вращеТО ния параллельно оси держателя на расстоянии не менее чем половина его диаметра.
