Способ измерения неровностей профиля поверхности
ОПИСАНИЕ
ИЗОЬРЕтЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (») 456976
Союз Советских
Социалистических
Республии (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 19.05.72 (21) 1786483/25-28 с присоединением заявки № (32) Приоритет
Опубликовано 15.01.75, Бюллетень № 2
Дата опубликования описания 04.03.75 (51) М. Кл. б 01 b 7 }3}4
Государственный комитет
Совета Министров СССР (53) УДК 531.717.86.082 (088 .8) ло делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения
М. А. Бельфор и Ю. П. Кузьмин
Ленинградский институт точной механики и оптики (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ HEPOBiHOCTEA ПРОФИЛЯ
ПОВЕРХНОСТИ
Изобретение относится к области линейных измерений и может быть использовано для измерения неровностей профиля поверхности.
Известен способ измерения неровностей профиля поверхности, заключающийся в том, что датчиком ощупывают поверхность на базовой длине и преобразовывают неровности ее профиля в амплитудно-модулированный сигнал, сигнал, соответствующий неровностям 10 профиля относительно огибающей профиля, усиливают, детектируют и регистрируют.
Известный способ обладает недостаточной точностью измерения неровностей профиля поверхности. 15
С целью увеличения точности измерения по предлагаемому способу амплитуды одной полярности сигнала датчика приводят к нулевому уровню, выделяют из полученного сигнала сигнал, соответствующий огибающей 20 профиля, и им ограничивают по амплитуде сигнал, амплитуды одной полярности которого приведены к нулевому уровню.
На чертеже показана схема устройства, реализующего предлагаемый способ. 25
Синусоидальное напряжение несущей частоты с выхода генератора 1 подают на датчик
2, которым ощупывают поверхность на базовой длине и преобразовывают неровности ее профиля в амплитудно-модулированный сиг- ЗО нал. Выходной сигнал датчика 2 усиливают в предварительном усилителе 3, и его амплитуды одной полярности приводят к нулевому уровню.
Выходной сигнал усилителя 3 подают через вспомогательный детектор 4 и фильтр 5 нижних частот и непосредственно на входы ограничителя его несущей частоты.
Во вспомогательном детекторе 4 из выходного сигнала усилителя 3 выделяют сигнал, соответствующий его огибающей. В фильтре
5 нижних частот подавляют верхние частоты этого сигнала, превышающие частоты для заданной базовой длины измеряемой поверхности. Выходным сигналом фильтра низких частот, соответствующим огибающей неровностей профиля измеряемой поверхности, ограничивают по амплитуде выходной сигнал предварительного усилителя 3 в ограничителе 6 его несущей частоты. При этом уровень ограничения не пересекает сигналы, соответствующие неровностям профиля измеряемой поверхности.
В результате получают только полезный сигнал, модулирующий ограниченные импульсы несущей частоты.
Выходной сигнал ограничителя 6 несущей частоты усиливают в оконечном усилителе
7 и детектируют в детекторе 8. Выходной сигнал детектора 8, соответствующий неровно4i56976
Предмет изобретения
IIIIAi
Составитель П. Юров
Редактор В. Новоселова Техред Н. Куклина Корректор Л. Орлова
Заказ 388/8 И ад. № 1031 Тираж 782 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по. делам изобретений и открытий
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 стям профиля измеряемой поверхности, регистрируют в выходном устройстве 9.
Способ измерения неровностей профиля поверхности, заключающийся в том, что датчиком ощупывают поверхность на базовой длине и преобразуют неровности ее профиля в амплитудно-модулированный сигнал, сигнал, соответствующий неровностям профиля относительно огибающей профиля, усиливают, детектируют и регистрируют, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью увеличения точ5 ности измерения, амплитуды одной полярности сигнала датчика приводят к нулевому уровню, выделяют из полученного сигнала сигнал, соответствующий огибающей профиля, и им ограничивают по амплитуде сиг10 нал, амплитуды одной полярности которого приведены к нулевому уровню.
