Проектор

 

и еоетр."" 46652-2

011ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт, свид-ву— (22) Заявлено 11.05.73 (21) 1918206/18-10 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет—

Опубликовано 15.02.75. Бюллетень ¹ 6

Дата опубликования описания 09.09.75 (51) М.Кл. С ОЗЬ 21/10

Гасударственный комитет

Совета Министров СССР па делам иэааретений и открытий (53) УДК, 778.148(088.8) А. Ю. Кононович и И. И. Капелевич (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) ПРОЕКТОР

Изобретение относится .к оптико-механической промышленноспи.

Известны проекторы, .например, для контроля технологических операций сборки больших и нтегральных схем и полупроводниковых приборов, содержащие осветитель, светоделительный элемент и два оптических .канала, проецирующих изображения объекто|в на просветлый эзра.н.

В предлагаемом проекто ре повышена точность сбор ки и нтегральных схем благодаря тому, что один из оптических каналов расположен по другую сторону установлен ного с возможностью перемещения вдоль оптической оси экрана, на котором выполнены от ражатепьные участки, форма которых соответствует ко нтуру,наблюдаемых объектов.

На фиг. 1 и 2 показана схема описываемого проектора, содержащего два проекционных канала (фиг. 1), один из которых включает в,себя полупрозрачное зеркало 1, объектив 2, призму Наше 3, осветитель 4, зеркало 5, ахроматическую линзу 6, зеркало 7, окулятор 8, призму 9 и экран 10.

Второй проекционный канал включает в себя зеркало 11, окуля р 12, призму 13, ахроматическую линзу 14, призму 15, осветитель 16, призму Наше 17, механизм 18 фокусировочного перемещения объектива с объективом 19. Оба канала расположены по раз2 ные стороны экрана 10, так что проецируют изображение навспречу.друг другу, а их оптические оси составляют замтанутый контур.

Полупрозрачное зеркало 1 и экран 10 являются общими для обоих проекционных каналов. Объекти|вы 2 и 19 вьаполнены с возможностью фокусировочного перемещения с помощью меха и изма 18. Зкран 10 может перемещаться вдоль оптической оси для,регулировки масштаба увеличения.

Проектор работает следующим образом.

Объективов 2 первого проекционного канала через полупрозрачное зеркало 1 совместно с ахроматической линзой 6 проецирует поверхность кристалла 20 в предметную плоскость окулятора 8 и далее на экран 10. Экранов 10 (фиг. 2) содержит просветную зону А и отражательные зоны Б. На просветной части экрана 10 изображение кристалла не просматм ривается, .а на отражательных зонах Б изображение 1аристалла с контакт ными площадками вид но отчстливо. Ориентирова|ние pIIcraлла производится относительно знаков, на|несенных .на отражательных участках экрана 10 (на фиг. 2 показаны пунктирной лин ией).

Обьоктив 19 (фиг. 1) второго проекционного канала проецирует изображение поверхности корпуса 21 интегральной схемы, на ко3;I торой расположены контактные площадки, 460522

Фиг. f

3 совместно с ахроматической линзой 14 и окуляром 12 на эира н 10 (фиг. 2).

Изображение контактных площадок корпуса будет видно только на просветной части А экра на 10. Ориентация корпуса 21,осуществляется вписываниом изображений ко нтакпных площадок в специальные знаки (показа ны пунктиром), выполненные íà просвет ной части эирана 10. Изображение кристалла 19 на просветной части экрана при большом расстоянии между плоскостями кристалла и ко рпуса не будет видно. Отражательные участки Б экрана 10 могут иметь самую различную конфигурацию, в за висимости от формы наблюдаемых объектс в, увеличения каналов и алгоритма ориентациями. Отражательные участки выполня|от путем напыления в вакууме алюминия или другого металла,на матовую поверхность экрана. При необходимости от4 ражательные участки могут быть выполнены полупроз|рач|ным и или подвиж ными IH3 плосюст и экрана.

5 Предмет изобретения

Проектор, например, для ко нтрî Iÿ сборки пнтегралнных схем, содержащий осветитель, светоделительный элемент и два оптических

10 канала, проецирующих изображения объектов на просветный экран, отличающийся тем, что, с целью повышения точности сборки, один из оптических ка налов расположен по другую сторону установлен ного с возможностью пере15 мещения вдоль оптической оси экрана,:на котором вьпюлнены отражательные участки, форма которых соответствует контуру наблюдаемых объектов.

460522

Составитель С. Коврина

Техред Т. Миронова

Редактор С. Хейфиц

Корректор H. Аук

Подписное

МОТ, Загорский филиал

Заказ № 2557 Изд. № 1090 Тираж 529

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий, Москва, )К-35, Раушская наб., д. 4/5