Способ контроля физических характеристик пленочных материалов
«> 4648! 2
Сова Советских
Социалистических;
Республик
ЯЯОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 29.10.73 (21) 1968767/25-28 (51) М. Кл. 6 01п 29/04 с присоединением заявки— (32) Приоритет—
Опубликовано 25.03.75. Бюллетень ¹ 11
Дата опубликования описанпня 16.09.75
Государственный комитет
Совета Министров СССР оо делам изобретений н аткрытнй (53) УДК 620.179.16 (088.8) (72) Авторы изобретения
В. В. Малов, В. Н. Симонов и Ю. П. Якунин
Московский ордена Трудового Красного Знамени инженерно-физический институт (71) Заявитель (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ФИЗИЧЕСКИХ
ХАРАКТЕРИСТИК ПЛЕНОЧНЫХ МАТЕРИАЛОВ
Изобретение относится к акустической техничке контроля качества материалов и изделий.
Известен способ контроля физических характеристик пленочных материалов, заключающийся в том, что наносят, пленку контролируемого материала на пьезорезонатор и определяют изменение частоты колебаний пьезорезонатора. Однако этот способ характеризуется низкой точностью контроля релаксации механических напряжений из-за воздействия дестабилизирующих факторов.
Описываемый способ отличается от известнаго тем, что пленку наносят одновременно на два;пьезорезонатора сдвигово-толщинных колебаний, обладающих противоположными знаками приращений частоты:при сжатии ра вномерно распределенными по торцу усплиями, лежащими в плоскости пьезорезонатора, помещают их в общий термостат, измеряют разность частот колебаний .пьезорезонаторов и по ее величине судят о ходе релаксаций. Это noBb)L àåò точность контроля релаксации механических напряжений в пленочных материалах.
Пленка исследуемого состава при требуемых условиях и режимах наносится одновременно в едином процессе на два пьезорезонатора с обеспечением идентичности свойств покрытий. Пьезорезонаторы, .на которые нанооится пленка, изготавливаются из одной заготовки, чем гарантируется идентичность свойств и характеристик материала пьезоэлементов.
Пьезорезонаторы после нанесения пленки помещают в единый, замкнутый. герметизпрованный объем, чем существенно уменьшается влияние окружающей атмосферы и вариаций ее состава и затем производят термостатнрования для отделения даейфов частот резонаторов от тем пературы. Для обеспечения высокой разрушающей способности при измерениях релаксаций механических напряжений в пленках наиболее целесообразно использовать резонаторы, обладающие противоположными по знаку изменениями частоты при идентичных вариациях пространственно распределенных механических напряжений в области, покрытой релакснрующей пленкой. Одним из вариантов реализации способа может быть пспопьзование двух кварцевых резонаторов, один пз которых выполнен на пьезоэлементе среза AT, а другой — на пьезоэлементе среза ВТ.
П ри всестороннем равномерном торцовом сжатии силами, лежащими в плоскости пьезоэлемента, резонаторы AT- среза в виде дисков (пластин либо линз) всегда обнаруживают положительные девиации частоты (при растяжении — отрицательные) . В противоположность этому, резонаторы ВТ- среза в аналогичных условиях при сжатии обнаруживают отрицательные изменения частоты, а прн растя464812
Предмет изобретения
Составитель Н. Бражников
Техред 3. Тараненко
P..;.àêòîð Т. Шагова
Корректор И. Снмк™на
"а а" 014Ч675 Изд. № 611 Тираж 902 Подписное
ЦИИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, Ж35, Раушскан наб., д. 4/5
Тип. Харьк. фил. пред. «Патент» женин — положитель.-"::.е. Для обоих резонаторов в рамках о:и ."ÿHHîé схез.ы характеристики — «усилия — Tlp !ðàè1енис частоты» линейны с высокой степенью то1ности. Вследствие этого напряжена" пленки, лежащей на поверхностях резонатора " двух ес сторон, эквивалентно по характеру напряжению, возникающему в пьезоэлементе при всестороннем торцовом нагружении, описанном выше. Регистрируя изменения разностнои частоты резонаторов AT и ВТ-среза получают инфор;raи:.по о процессах релаксаций механических напряженпй B исследуемой п,"IGHке и по нсй судят о влиянии технологии химико-физических параметров пленок на их стабильность, старение и т. д. Рог:tñòðàöèÿ изменений разности частот двух резонаторов в сочетании с на несением пленки одновременно на два пьезоэлемента, .помещением пх в единый объем, герметизацией и термостатированпем этого объема позволяет надежно наблюдать ход
|роцессов релаксацией непосре:<отвеяно в самой пленке при существенном снижении пеопределенности в результатах измерений, связанной с влиянием дсстабил .эирующих воздействий на пьезоэлемент.
Способ контроля физических характеристик пленочных материалов, заключа|ощийся в том, что наносят пленку контролируемого материала на пьезорезонатор и определяют изменение частоты колебаний пьезорезоиатора, отличаюи ийся тем, что, с целью повышения точности контроля релаксации механиче" ких напряжеl5 ний, пленку наносят одновременно на два пьезорезонатора сдвигово-толщи нных колебаний, обладающих протпвоположнымп знаками приращения частоты при сжатии равномерно распределенными по торцу усилиями, лежа20 щими в плоскости пьезорезонатора, помещают их в общий термостат, измеряют разность частот колебаний пьезорезонаторов си "o ее величине судят о ходе релаксаций.
