Тонкопленочная термопара

 

ОПИСАН И Е ())466399

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Со .(иаоистических

Ресцблик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 23.03.73 (21) 1896185/18-10 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет

Опубликовано 05.04.75. Бюллетень № 13

Дата опубликования описания 10.07.75 (51) М. Кл. G Olk 7/02

Государственной комитет

Совета Министрам СССР (53) УДК 536.532(088.8) пе делам изобретений и открытий (72) Автор изобретения

В. И. Нащиванко (71) Заявитель (54) ТОНКОПЛЕНОЧНАЯ ТЕРМОПАРА

Изобретение относится к радиоэлектронной промышленности и предназначено для использования при изготовлении пленочных микросхем.

Известные тонкопленочные термопары (ТПТП), применяемые для измерения поверхностной температуры подложек при вакуумном нанесении тонких пленок обычно изготавливают из термоэлектрических материалов.

Недостатками таких ТПТП являются: малая величина термо-э,д.с. (порядка 35 мкв/ С), возможность возникновения паразитных термоэ.д.с. в местах контактов, невозможность применения ТПТП при нанесении тонкопленочных слоев на вращающуюся карусель подложек.

Цель предлагаемого изобретения — уменьшение инерционности.

Для достижения цели термоэлектроды нанесены на обе стороны подложки и соединены посредством напыленных внутренних стенок отверстий в подложке, причем спай образован на одной стороне подложки.

На чертеже изображена пленочная термопара.

В подложке 1 высверлены отверстия 2 необходимого диаметра (порядка 1 —:2 мм), и на обе стороны подложки нанесены, например, методом термического испарения в вакууме пленочные термоэлектроды 3 и 4 на основе сплавов Хромель — Копель, при этом внутренние стенки отверстия 2 также запылены слоем этих материалов. Благодаря этому осуществлен контакт между пленочными слоями на обеих сторонах диэлектрической подложки. Тон5 копленочные термоэлектроды защищены слоем диэлектрика 5, что позволяет проводить многократные напыления материалов на спай

ТПТП без нарушения ее работоспособности.

К пленочным слоям на обратной стороне под10 ложки подсоединяют, например приваривают, проволочные выводы 6 из соответствующих термоэлектродам материалов.

Предлагаемая конструкция позволяет обеспечить надежный съем информации как при

15 напылении на отдельные позиции, так и на вращающуюся карусель, а также уменьшить ошибку при измерении температуры подложки за счет исключения некоторых паразитных термо-э.д.с. Благодаря использованию тонко20 пленочных термоэлектродов на основе сплавов

Хромель — Копель возможно применение

ТПТП для контроля за тепловыми процессами при нанесении тонких пленок на стандартном оборудовании, повышается значение термо25 э.д.с. (порядка 70 — 75 мкв/ С). Предлагаемая конструкция позволяет также осу ществить контроль за поверхностной температурой в диапазоне до 500 С в вакууме (более высокие температуры не исследовались) и контролировать быстротекущие тепловые процессы в ат46И99

Предмет изобретения

Составитель И. Рывкина

Корректор Л. Денисова

Техред А. Камышникова

Редактор Н. Вирко

Заказ 1609/13 Изд. № 625 Тираж 740 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, )K-35, Раушская наб., д. 4/5

Типогпафия, пр. Сапунова, 2 л1осферной среде при умеренных температурах порядка 200 С.

Тонкопленочная термопара, содержащая два пленочных термоэлектрода и защитный слой, напыленные на диэлектрическую подложку с отверстиями, отличающаяся тем, что, с целью уменьшения инерционности, термоэлектроды нанесены на обе стороны подложки и соединены посредством напыленных внутренних стенок отверстий в подложке, причем спай образован на одной стороне подложки.