Сплав для низкоомных прецизионных магнитов

 

Зj \- ого

Взад, ° н,>аь с,, .!. èí

О П И:.C А Н И Е tt! 469762

ИЗО РЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

K АВТОРснОму свидетельству., ЕР «м

„i (6!) Дополнительное к авт. свид-ву

t (22) Заяв!сно 28.12.73 (21) 1981186/02 (51) М. Кл.- "С 22С 27/06 с присоединением заявки М (23) Приоритет

Опубликовано 05.04.77. Бюллетень ЛЪ 13

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений н открытий (53) УДК 621.318.12 (088.8) Дата опубликования описания 12.05.77 (72) Авторы изобретения

Н, М. Кондратов, К. Г. Марин и И. В. Рогова (71) Заявитель (54) СПЛАВ ДЛЯ НИЗКООМНЫХ ПРЕЦИЗИОННЫХ

РЕЗИСТОРОВ

4 вт/см"10

Формула изооретепия

Изобретение огносится к области приборостроения ii микроэлектроники, в частности, к приготовлению сплавов для тонкопленочны резисторов.

Известен сплав для низкоомнык прецизионных резисторов, имеющий следующий состав, вес. : кремний 52 — 60, кром 32 — 38 и никель 8 — !О.

Однако этот сплав отличается низким удельным сопротивлением (порядка 500—

5000 ом/квадрат) и высоким температурным коэффициентом сопротивления (2 10 —" град ) в интервале температур от — 65 до 125 С.

С целью сии>кения удельного сопротивления и температурного коэффициента сопротивления резисторов предлагаемый сплав имеет следующее соотношение компонентов, вес. /о, Кремний 34 — 47

Никель — 7,5

Хром Остальное

Тонкопленочный резистор, изготовленный

Методом вакуумного термического испарсния порошка сплава, име сщего состав, вес. хром 50, кремний 38 ii tt. têåët. 6, обладает следуюшим составами:

Удельное поверхностное сопротивление 50 ом,квадрат

Температурный коэффициент сопротивления 2 10 —" град —

Допустимая мощность рассения

15 Сплав для низкоомны; ирецизионны.; резисторов, содержащий кремний, кром и никель, отличающийся тем, что, с целью снижения удельного сопротивления и температурного коэффициента сопротивления, 0li имеет

20 слсдуюгций состав, вес. /с.

Кремн и 34 — 47

Никс.зь — 7,5

Хром Остальное