Экранирующее устройство
х. (Р» !т ; ф
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕ:ПЬСТВУ
lIIl 473770
Союз Советских
Социалистических
Республик (61) Дополнительное к авт. свпд-ву (22) Заявлено 26.01.73 (21) 1873516/29-33 (51) М. Кл. С 23с 13/08
С озс 17/06
ПРПСОгпи ПП! >I ЗаЯВКП, Чо
Государственный комитет
Совета Министров СССР ло делам изобретений и открытий (23) Приоритет
Опубликовано 14.06.75. Бюллетень ¹ 22
Дата опубликования описания 14.08.75 (53) УДК 621.793.72 (088.8) (72) Авторы изобретения А. А. Гордеев, Ю. В. Фадеев, Л. А. Луковников и В. В. Яшуков (71) Заявитель (54) ЭКРАНИРУЮЩЕЕ УСТРОИСТВО
Изобретение относится к экранирующим устройствам и может быть использовано в установках, предназначенных для нанесения покрытий в вакууме на подложки, например из стекла. Э
Известно экранирующее устройство в вакуумной установке для нанесения покрытий на подложку из стекла, включающее лепестковые экраны, связанныс с поворотным распределительным кольцом, установленным во вращаю- 10 щихся призматических направляющих и кинематически связанным с приводом.
Недостатком известного экранирующего устройства является To, ITQ в неч исключена возможность регулировки внутреннегA диаметра, l!) так как при подьече лепестков между последними образуются щели, и нарушается целостность экрана. Кроме того, при использовании известного устройства значительное количество дорогостоящих испаряемых веществ разлс- 20 тается в стороны.
Цель изобретения — обеспечить регулирование внутреннего диаметра экранирующего устройства и экономию дорогостоящих испаряемых вещсств. 25
Поставленная цель достигается тем, что предложенное экранирующее устройство, снабжено кронштейном с эксцентричным пальцем, а лепестковые экраны смонтированы на шарнирно связанных с распределительным коль- 30 цом двуплечих рычагах, каждый из которых имеет управляющий паз на свободном конце.
На фиг. 1 — экранирующее устройство в закрытом состоянии; на фиг. 2 — экранирующее устройство в открытом состоянии; на фиг.
3 — управляющий паз рычага с эксцентричным пальцем; на фиг. 4 — шарнирное крепление рычага к несущему распределительному кольцу; на фиг. 5 — несущее распределительное кольцо в призматических направляющих.
Экран прующее устройство состоит из нескольких равномерно расположенных по окружности лепестков 1, закрепленных на двуплечик рычагах ?, шарнирно связанных в центре т несущи.ч распределительных! кольцоч 3, вращающимся Ilo призматическим наIIpHB.l1IIIoIllHi I 1, !юрой которых служит кронштейн 5, жестко связанный с вакуумной камерой 6, Двуплечис рычаги снабжены управляющим пазоч 7, взаимодействующим с пальцем 8, выполненным в виде эксцентрика для регулирования лепестков при настройке и эксплуатации. Несущее распределительное кольцо рычагом 9 кинематически связано с приводом 10. Для ограничения поворота несущего распределительного кольца служит упор 11.
Работает экранирующсе устройство следу!ошим образом.
От привода 10 иод действием рычага 9, несущее распределительное кольцо 3 поворачи473770 вается в призматических направляющих 4, закрепленных в кронштейнах 5 вакуумной камеры 6. При этом двуплечие рычаги 2 с закрепленными на них лепестками 1 перемещаются горизонтально с несущим кольцом 3 и, скользя управляющим пазом 7, поворачиваются вокруг эксцентрикового пальца 8 до полного открытия экранирующего устройства, которое фиксируется упором 11.
Предмст изобретения
Экранирующес устройство в вакуумных установках для нанесения покрытий на подложку, например, из стекла, включающее лепестковые экраны, связанные с поворотным распределительным кольцом, установленным во вращающихся призматических направляющих
5 и кинематически связанным с приводом, отл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью регулирования внутреннего диаметра экранирующего устройства и экономии дорогостоящих испаряемых веществ, оно снабжено кронштейном с
10 эксцентричным пальцем, а лепестковые экраны смонтированы на шарнирно связанных с распределительным кольцом двуплсчих рычагах, каждый из которых имеет l133 на свободном конце.
473770
А-А
Ф1/Я ф
Составитель Г. Соболева
Редактор Э. Шнбаева
Техред Е. Подурушина
Корректор 3. Тарасова
Подписное
Типография, пр. Сапунова, 2
Заказ 1972/17 Изд. № 1527 Тираж 966
ЦНИИПИ Государственного комнте|н Сонета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
