Тонкопленочный конденсатор постоянной емкости

Авторы патента:

КРАСОВ ВЛАДИМИР ГРИГОРЬЕВИЧ

ХРОМОВ АНДРЕЙ ДМИТРИЕВИЧ

НИКИТЕНКО ЛЮДМИЛА СТЕПАНОВНА

ЛАСКОРИН БОРИС НИКОЛАЕВИЧ

СМИРНОВ ВЛАДИМИР ФЕДОРОВИЧ

МАРИН КОНСТАНТИН ГАВРИЛОВИЧ

H01G3/06 - Конденсаторы; конденсаторы, выпрямители тока, детекторы, переключатели, светочувствительные или термочувствительные устройства электролитического типа (выбор специальных материалов в качестве диэлектриков H01B 3/00; конденсаторы с потенциальным барьером, на которых имеет место скачкообразное изменение потенциала, или с поверхностным барьером H01L 29/00)

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (п1 476 6 I 4

Со1оз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 12.06.73 (21) 1931826/26-21 (51) М. Кл. Н Olo 3/06 с присоединением заявки ¹

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет

Опубликовано 05.07.75. Бюллетень № 25

Дата опубликования описания 17.11.75 (53) УДК 621.396.6-181. .48 (088.8) (72) Автор ы изобретения

В. Г. Красов, А. Д. Хромов, Л. С. Никитенко, Б. Н. Ласкорин, В. Ф. Смирнов и К. Г. Марин (71) Заявитель (54) ТОНКОПЛЕНОЧНЫЙ КОНДЕНСАТОР ПОСТОЯН

ЕМКОСТИ

Предмет изобретения

Изобретение относится к радиотехнике и может быть использовано в микроэлектронике при произ водстве тонкопленочных гибридных микросхем.

Известе н тонкопленочный конденсатор постоянной емкости, выполненный на основе системы металл-диэлектрик-металл с диэлектриком из соединения редкоземельного металла..

Основными недостатками известного тонкопленочного конденсатора постоянной емкости являются невысокая максимальная удельная емкость (C,. =50 вЂ”:70 тыс. пф/смз) и сравнительно низкая электрическая прочность (Е„„= (1 вЂ”:2) 10 в/см).

Цель изобретения вЂ” повышение удельной емкости и электрической прочности.

Поставленная цель достигается тем, что в качестве соединения редкоземельного металла для диэлектрика использован скандиат редкоземельного металла, например скандиат неодима.

В тонкопленочном конденсаторе постоянной емкости используют скандиат неодима стехиометрического состава, полученный твердофазным синтезом при температуре 1400 С из осажденных из раствора гидроокисей скандия и неодима.

Напыление диэлектрического слоя пз скандиата неодима проводят методом электронно

5 лучевого испарения в ваккуме (2 вЂ” 5) 10 вЂ” торр брикета из скандиата неодима.

Тонкопленочные конденсаторы с диэлектриком на основе скандиата неодима 11 других редкоземельных металлов ооладают большой

10 удельной емкостью свыше 100 тыс., пф/см-"; при тангенсе угла диэлектрических потерь меньше

0,005 и электрической прочностью

Ер вЂ” вЂ” (3 вЂ” 5) . 10 в/см.

Тонкопленочный конденсатор постоянной емкости, выполненный на основе системы металл вЂ” диэлектрик вЂ” металл с диэлектриком из

20 соединения редкоземельного металла, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью повышения удельной емкости и электр ическои прочности, в качестве указанного соединения для диэлектрика использован скандиат редкозе25 мельного металла, например скандиат неодима.

Похожие патенты:

Сегнетокерамический материал // 471616

Диэлектрический материал // 470872

Материал для изготовления электродов // 470871

Шарнир для складывающихся стержней зеркальной антенны // 469998

Способ стабилизации емкости последовательно и встречно включенных электролитических конденсаторов // 468310

Телескопическое устройство для выдвижения аппаратуры // 468309

Блок конденсаторов // 459905

Антенна // 457238

Способ непрерывного определения предельной энергии тормозного излучения потока ускоренных электронов // 452930

Плоский экран // 449406

Высоковольтный импульсный конденсатор // 2101793

Изобретение относится к электротехнике, в частности к высоковольтным импульсным конденсаторам и формирующим линиям, и может быть использовано для получения мощных импульсов электрического тока, например, в электрогидравлических погружных устройствах [1] Известен силовой импульсный конденсатор, содержащий размещенные в цилиндрическом металлическом корпусе пружины, пакет из последовательно соединенных полых пропитанных секций, металлическую крышку с изолятором, дно, два основных токовывода, два дополнительных токовывода и один дополнительный изолятор, при этом дополнительный изолятор закреплен на дне, один из дополнительных токовыводов размещен внутри дополнительного изолятора и соединен с торцом пакета секций положительной полярности, а другой дополнительный токовывод закреплен на дне и соединен с торцом пакета секций отрицательной полярности и металлическим корпусом

Электрохимический накопитель электрической энергии // 2101807

Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано в производстве электрохимических накопителей энергии большой емкости