Способ измерения изменений оптических характеристик облучаемых объектов
п 479962
Союз Советсник
Сопи,p;"„.Тнческик
Рос!,т блин (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 17.04.72 (21) 1771728/26-25 (51) М. Кл. G 01j 1/04 с присоединением заявки № 1799151/26-25
Государственный комитет
Совета Министров СССР да делам изобретений и открытий (23) Приоритет
Опубликовано 05.08.75. Бюллетень № 29
Дата опубликования описания 19.11.75 (53) УДК 535.24(088.8) (72) Авторы изобретения
В. М. Анисимов, Т. Н. )Кучкова, О. Н. Карпухин, И. В. Кринский, С. М. Петухов и В. П. Сааков
Ордена Ленина Институт химической физики АН СССР (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ИЗМЕНЕНИЙ ОПТИЧЕСКИХ
ХАРАКТЕРИСТИК ОБЛУЧАЕМЫХ ОБЬЕКТОВ
Изобретение относится к способам измерения изменений оптических характеристик различных объектов (стекол, кристаллов, полимерных материалов, отражающих поверхностей, ло крытий и т. п.), облучаемых различными видами излучения (ультрафиолетовым видимым, инфракрасным светом, ионизирующим излучением, излучением лазера и т. и.).
Известный способ измерения изменений оптических характеристик облучаемых объектов состоит в зондировании образцов световым лучом и селективном детектировании полезного си гнала.
Недостан ом известного способа является малая чувствительность, обусловленная тем, что частотно-фазовая характеристика шумового сигнала, вызываемого относительной нестабильностью коммутации каналов «образецэталон», неотличима от соответствующей характеристики полезного сигнала.
С пособ основан на сравнении величин пропускания света Т в облучаемых и необлучаемых (затененных) участках образца. Измерение производят путем облучения образца излучением, распределенным по образцу по заданному закону, на пример образец, имеющий вид плоскопараллельпой пластины, облучают через маску определенной конфигурации. Прп этом на образце образуются облучаемые и затененные зоны, чередующиеся в определенной последовательности. Интенсивность луча зондирующего света при сканировании подобного образца будет промодулирована изменением
Т в облучасмых зонах. Вид модуляции опре5 деляется величиной и формой облучаемых зон, их распределением по образцу, размерами зондирующего,л уча и законом сканирования.
Регистрацию величины изменения Т производят путем селективного детектирования полез10 ного сигнала в соответствии с видом модуляции.
Рассмотрим случай, когда на образце через равные промежутки следуют одинаковые по величине и форме облучаемые зоны. Интен15 сивность сканирующего луча зондирующего света будет промодулирована изменением Т в облучаемых зонах. Форма модуляции-прямоугольная, частота определена скоростью движения зондирующего луча и расстоянием
20 между передними краями облучаемых зон, а амплитуда пропорпиональна изменению Т в них. В этом случае частота и фаза шумовой составляющей не связаны с частотой и фазой полезного сигнала, так как способ облучения
25 образца пе влияет на способ его сканирования, Предмет изобретения
Способ измерения изменений оптических
30 xapaKl eplfcTHI< 00;I) чае IbIx объектов путем
479962
Составитель Г. Петрова
Техред 3. Тараненко Корректор И, Позняковская
Редактор Т. Орловская
Заказ 2748/15 Изд. № 944 Тираж 740 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, Ж-З5, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 зондирования образца световым лучом и селективного детектирования полезного сигнала, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности измерений, действующее излучение направляют на заранее вибранные участки образца, осуществляют их сканирование зондирующим лучом, а по зависимости изменения характеристик регистрируемого сигнала вдоль направления сканиро5 вания судят об искомой величине.
