Способ определения фазового состава тонких танталовых пленок
Союз Советских
Социалистических
Республик (11) 481822 (61) Дополнительное к авт, свид-ву (22) Заявлено26.03,7Х. (21) I638963/26-2Х (51) M K< 4 ОХп 2U00
С, 0 ; З/52 с присоединением заявки—
Государственный ыомитет
Совета Министров СССР но делам изобретений и отырытий (23) Приоритет
Опубликованс25.08.75. Бюллетень М 3I
Дата опубликования описания о. (2 К (53) УДК 54I 651(088 8) (72) Авторы изобретения
Ю. А . Дядюн, Э, И. Матусевич, В. К. Рець и B. И. Чудинов (7l) Заявитель (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ФАЗОВОГО СОСТАВА ТОНКИХ
ТАНТАЛОВЫХ ПЛЕНОК
1о
Изобретение относится к технологии изготовления гибридно-пленочных микросхем.
Известен способ определения фазового состава тонких танталовых пленок, основанный на окислении пленок и сойос,тавлении цветов окисленных пленок.
Однако известный способ, основанный на рентгеноструктурном анализе, не может быть использован для контроля фазового состава при изготовлении гибридно-пленочныхсхем, так как наибольшая толщина пленок, применяемых при изготовлении гибридно-пленочных микросхем, лежит на пределе возможности этого метода. Кроме того, применение этого способа для контроля фазового состава танталовых пленок в процессе технологического цикла состоит в том, что для каждого напыляемого образца необходимо напылять контрольныи образец.
С целью повышения точности определения, окисление проводят электрохииически, а цвета окисленных пленок сопос тавляют с цветами окисленных пленок контрольных образцов с заранее известным фазовым составом.„
Изобретение поясняется примером.
Для определения фазового составР— танталовых пленок толщиной 2000-3000 Ао зо напыленных на ме идущих на изготовление танталовых конденсаторов, изготовляют три эталонных образца с толщиной пленки тантала
5000-6000А Один образец с а — фазой второй с p — фазой и третий c a + p — фазой тантала . Фаэность всех трех образцов контрогп руют рентгеноструктурным анализом, после чего полученные эталонные образцы повергают электрохимическому оксидированию в электролите состава: этиленгликоль 70), щавалевая кислота ЗП ..
Плотность тока в гальваническом режиме
I ма/см2, Темпер-атура электролита комнатная, время окисления 60 мин.
Окисная пленка тантала на образцах с а — фазой имеют ярко-зеленыи цвет, на образцах с 1 + p- фазой тантала — красный. Сравнение цветов окисных пленок, полученных на эталонах с цветами окисных пленок, полученных для изготовления конденсаторов, производится под микроскопом МБС-I, для чего лампочка подсветки помещается в тубус одногоиз окуляров микроскопа, Данное переустройство микроскопа позволяет рассматривать пленки в световом луче, падающим под углом 90о к рассматрйваемой поверхности.
В процессе определения фазового сосЯ8 7822
Составитель T БОГдансва
Редактор,СTBНHНа ТехредКарандЯШОВЖорректор Н,ДуК
Заказ .3 6 < Изд. № 95+ Тираж со2
Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, Ж-35 Раушская наб., д. 4/5
ППП „Патент" Москва, Г 59, Бережковская наб., 24
3 тава полученйых пленок эталонный и ана- лизируемый обрарцы размещают рядом так, чтобы поверхность анализируемого и эталонного образцов находилась в поле зрения.
Предмет изобретения, Способ определения фазового состава тонких танталовых пленок, основажый на окислении пленок и сопоставлении цветов окисленных пленок, о т ли ч а ю. щийся т ем, что, сцелью: повышения точности определения, окислеs ние проводят электрохимически, а цвета окисленных пленок сопоставляют с цветами окисленных пленок контрольных образцов с заранее известным фазовым составом.
