Способ изготовления широкополосного ультразвукового преобразователя
,111 492О18
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Содиалис нивских
Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 26.04.73 (21) 1910514/18-10 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет
Опуб 1111 Дата опубликования описания 06.02,76 (5)),Ч. Кл. И 011 7,. 00 1осударственнмй комитет Совета 1Линнстров СССР по делам нзабрзтений н открвпий 1 53) УДК 621.395.614 (088.8) (72) Авторы изобретения С. h. Иванов, И. М. Koreëÿíñêèé и Е. Н. Хазанов Институт радиотехники и электроники АН СССР (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ШИРОКОПОЛОСНОГО УЛ ЪТРАЗ ВУКОВОГО П РЕОБРАЗОВАТЕЛЯ Предмет изобретения Изобретение может найти применение в широкополосных радиочастотных системах, содержащих ультразвуковые линии задержки, усилители ультразвука и другие акустоэлектронные устройства. Известны способы и.готовления широкополосных ультразвуковых преобразователей, в которых широкопо ocIIcirl достигается нанесением полосок или а 1::ÎÂÊΠНа Разные частоты. Изготовление та;;их преобразователей связано с большими;".—.:.íîëîãè÷åñêèìè трудностями. Для упрощения п1.oöåññà изготовления шероховатой поверхнос,,:1о предлагаемому способу газотранспортну1а реакцию производят слабоперенасыщенными компонентами кадмия и серы при тс.,;пературе в зоне испарения от 690 до 720 С и дополнительно серы при температуре в зоне;,спарения 120 С при токе водорода от 2 до 2,2 литров в минуту. При таком режи., обеспечивается спирально слоистый рост внешней границы эпитаксиального слоя кадм:1я и серы (CdS) преобразователя, неравномерности имеют вид пирамид, распределенных по случа и ному за кону, что исключает изрезанность частотноп характеристики, а расширение полосы достигается за счет отсутствия у такого преобразователя 5 ;,езонансных свойств и основного вклада в возбуждение звуковых волн от внутренней границы пьезопленки, гладкость которой определяется обработкой поверхности звукат роБ;;1,2 . Способ изготовления широкополосного ультразвукового преобразователя с пленочной 15 шерахова1ай поверхность1о путем газотранспортной р.:,:кции в токе кадмия и серы, отл и ч а ю щ I; и е я re», чта, с целью упрощения процесса изготовле1гпя шероховатой поверхности, реакцию производят слабоперепeñû?О щеннымп ком .онентамп кадмия и серы прп температуре в зоне испарения от 690 до 720 С и дополнительно серы прч температуре в зоне испарения 120 С прп таке водорода ат 2 до 2,2 литров в минуту.
