Устройство для получения низкотемпературной плазмы
92059
Ь о1оз Соеетскнк
Ювииалистичеакик
РесиУолин
И АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) 3311, лоно 12.07.74 (21) 2044061/26-25 с присоединением заявки №
Совета Министров СССР до делам иэооретений и открытий! Опубликозано 15.11.75. Бюллетень № 42 ! (45) Дата опубликования описания 04.04,78 (53) УДК 533.са(088.8) (72) Авторы изобр тепия
В. |О. Баранов, В. M. Борисов, Д. Д. Малюта и В. Г. Низьев (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ
Н И 3 КОТЕМП ЕРАТУР НОЙ ПЛАЗМЪ|
Гас УдаРстееннмй комитет (23) П ор итет
Изобретение предназначено для создания
Однородной низкотемпературной плазмы в потоке газа в частотном режиме в особе1;ности для 1ппщиирования плазм-химическ;1х реакций, оно может быть применено также в г3зоразрядиых лазерах.
1 1звестио устройство для получения низкотсмиературиой плазмы, выполненно" в виде проточной газовой камеры, содсржащсй расположе1гпые иа торцевых плоскостях отверстия для Входа it lib! хода газа, основные и вспомогательные электроды.
В этом устройстве осиовиыс электроды представляют собой две гладкис металлические ООЛВапки с 33KpJirленныь1 1 по профп;11О
Роговского краями 1: расположены так, ITQ основной разряд 1opilT поперек потока газа.
Всиомогатслыlыс электроды p3citoToktleHbt kt3
KeKoiopo;l расстоянии от основных с одной или с обеих сторон от них и подкгпочсны . ерсз конденсаторы к основным.
Однако Ilpti использовании известного устройства невозможно при определенной скорости потока увели пить частоту повторения импульсов rbtlne некоторого предела. Этот предел обусловлен двумя причинами.
Первая — это нагрев газа ударным. Волнами. В момент импульсного разряда в разрядной области возникают ударные волны, распространяющиеся вверх и вниз по по îк|, нагревая, в частности, ту порцию газа, которая выносится 1ютоком в межэлсктродную область к моменту с,-ед; ютцего разряда. Про1;сходящсс накОпленi;e тспл 2 От импу льса K имп ;Iь5 су 1-;риводит к Н31рсву газа в разрядной област:1 до температур, при которых генерация лазера либо неэффективна, либо прекращается. Нагрев газа приводит также к образоваииlо дуги ВслсдстВие теплоВой пе1 сгойчивости
10 низкотемпсратурпой плазмы.
Вторая при пина — наличие градис11та тсмперат p i I 323, kt3 rip 3B. IeHICorо 110 IIOTOKX I 333 перед разрядом. Неоднородность температур15 oro распределения по сечению разряда приВодиг K нс, стойчиВОх1у состояп!по разряда с ирсимущестьсш1Ы;I дугообразованием на краях электродов, у которых теме ература газа выше. 1|соб одимо длительное время проду21 В;11 b p33pktTiix io об,i3OTb потоком rаза, IT06bt градиент температуры газа стал настолько мал, что не оказывал бы влияния на однородность пробоя разрядного промежутка. Это ограничивает частоту следования импульсов.
25 Целью предполагаемого изобретения является увеличе гие частоты повторения разряда.
Это достигается тем, что в предлагаемом устройст ве осиовныс электроды выполнены в виде решеток, закрывающих отверстие для
30 хода и выхода газа, причем решетка элск;
