Устройство для ориентации

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ тц 49755!

Сатаа Советских еациалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 26.06.73 (21) 1936988/26-21 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 30.12.75. Бюллетень № 48

Дата опубликования описания 16.02.76 (51) M. Кл. G ОЗЬ 7/12

Н 05k 3/00

Государственный комитет

Сааата Министров СССР (53) УДК 621.396.6-181.5 (088.8) ло делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения

Е, А. Иванов, В. В. Сильченкова, А. А. Сазонов и Н. С. Будкин

Московский институт электронной техники (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОРИЕНТАЦИИ

Изобретение относится к устройствам для ориентации, преимущественно элементов интегральных схем в технологических установках микроэлектроники, а также может найти применение в координатных измерительных устройствах, в оптико-механических инструментах и других устройствах.

Известно устройство для ориентации, преимуществен но элементов интегральных схем, содержащее платформу, координатный стол, биморфные пьезокерамические пластины, связанные с приводами по координатам Х, Y u с приводом поворота координатного стола.

Недостатками устройства являются недостаточная точность ориентации и сложность конструкции.

Целью настоящего изобретения является повышение точности ориентации и упрощение конструкции устройства.

Эта цель достигается тем, что биморфные пьезокерамические пластины, связанные с приводами по координатам Х и У, одним концом жестко закреплены на платформе, а другим через плоские пружины связаны с координатным столом, причем плоскость пружинки перпендикулярна плоскости пьезокерамических пластин, а на пьезокерамической пластине привода поворота координатного стола расположен толкатель, взаимодействующий с винтовым кулачком, связанным с платформой.

На фиг. 1 показан общий вид устройства для ориентации, на фиг. 2 показано устройст5 во для ориентации в разрезе по А — А на фиг. 1.

Устройство для ориентации содержит координатный стол 1, приводы для его перемещения по координатам Х, Y и привод поворота

10 стола в плоскости Х, Y. Привод для перемещения по координате Х содержит две биморфные пьезокерамические пластины 2, 3, жестко закрепленные одними концами в пазах платформы 4. На другие концы этих пьезокерами15 ческих пластин с помощью шарниров 5, 6 установлены плоские пружины 7, 8 перпендикулярно плоскости пластин 2, 3 соответствен но. Противоположные концы плоских пружин жестко заделаны в пазах координатного

20 стола 1. Привод для перемещения по координате У ииммеееет т ааннааллооггииччннуую ю ккооннссттррууккццииюю, содержащую биморфные пьезокерамические пластины 9, 10, шарниры 11, 12 и плоские пружины 13, 14. Привод поворота координат25 ного стола содержит биморфную пьезокерамическую пластину 15, жестко закрепленную в основании 16. В центре пластины укреплен толкатель 17 с двумя подшипниками 18. Толкатель 17 поджат пружиной 19 к двухзаход497551 иг. 1

Изд. № 2105

Тираж 529

Подписное

Заказ 371/10

Типография, пр. Сапунова, 2 ному винтовому кулачку 20, скрепленному с платформой 4. Толкатель 17 и винтовой кулачок 20 представляют собою винтовую пару. К внешним и внутренним электродам пьезокерамических пластин 2, 3, 9, 10 припаяны провода для подачи управляющих напряжений (провода на фиг. 1 не показаны).

Устройство работает следующим образом.

При подаче управляющего напряжения на электроды пьезокерамических пластин 2 и 3 эти пластины согласно обратному пьезоэффекту изгибаются. При этом максимальная величина прогиба будет в месте крепления шарниров 5 и б. Перемещение верхних концов пластин 2 и 3 через шарниры 5, б и плоские пружины 7, 8, воспринимающие усилие ребром и потому не деформируемые, вызывает перемещение координатного стола 1 по координате Х. Плоские пружины 13, 14 свободно изгибаются вдоль оси Х, поскольку усилие, развиваемое пластинами 2, 3, направлено перпендикулярно их плоскости. Величина перемещения координатного стола пропорциональна амплитуде приложенного напряжения, а направление перемещения по координате Х определяется полярностью напряжения.

При подаче управляющего напряжения на электроды пьезокерамических пластин 9, 10 устройство работает аналогично, обеспечивая перемещение координатного стола 1 по координате Y.

При подаче управляющих напряжений одновременно на пары пластин 2, 3 и 9, 10 стол

1 перемещается одновременно по двум координатам в плоскости Х, У.

При подаче управляющего напряжения на электроды биморфной пьезокерамической

5 пластины 15 она прогибается, причем максимальный прогиб в ее центре. Усилие, развиваемое пластиной 15, через толкатель 17 и ви нтовой кулачок 20 вызывает поворот платформы 4, а вместе с ней и координатного сто10 ла 1.

Предмет изобретения

15 Устройство для ориентации, преимущественно элементов интегральных схем, содержащее платформу, координатный стол, биморфные пьезокерамические пластины, связанные с приводами по координатам Х, У и с приво20 дом поворота координатного стола, отлич аю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности ориентации и упрощения конструкции, биморфные пьезокерамические пластины, связанные с приводами по координатам Х и У, 25 одним концом жестко закреплены на платформе, а другим через плоские пружины связаны с координатным столом, причем плос кость пружин перпендикулярна плоскости пьезокерамических пластин, а на пьезокераз0 мической пластине привода поворота координатного стола расположен толкатель, взаимодействующий с винтовым кулачком, связанным с платформой.