Способ изготовления керамических пьезоэлементов

 

О П Е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Социапистимеских

Респубпик (») 501462 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 13,03.74(21) 2005324/26-21 с присоединением заявки №(23) Приоритет— (43) Опубликовано 30.01,76,Бюллетень ¹ 4 (45) Дата опубликования описания 10.10.76 (51) N. Кл. Н 03Н 3/02

Н 04 31/00

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.372,41 (088,8) (72) Авторы изобретения

В. С. Крикоров, A. A. Олейников и Н. С. Ибраимов (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КЕРАМИЧЕСКИХ ПЬЕЗОЭЛЕМЕНТОВ

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при производстве пьезоэлементов, Известен способ изготовления керамических пьезоэлементов, включающий обработку инфракрасным излучением, сортировку по линейному коэффициенту поглощения инфракрасного излучения, металлизацию и поляризацию электрическим полем заготовок пьезоэлементов. 10

Оцнако пьезоэлементы, изготовленные по известному способу, имеют низкую стабильность электрофизических характеристик и большую их дисперсию.

Пель изобретения — повышение стабиль- 15 ности и уменьшение дисперсии электрофизических характеристик пьезоэлементов.

Это цостигается тем, что по предлагаемому способу перед металлизацией заготовки пьезоэлементов, имеющие более низ- 2О кий линейный коэффициент поглощения инфракрасного излучения по сравнению с требуемым, отжигают в окислительной cpe,ge, а заготовки, имеющие более высокий линейный коэффициент поглощения,отжига- 25 ют в восстановительной сре,це и поляризацию производят электрическим полем с максимально возможной для данной керамики напряженностью, величина которой не превышает величины напряженности поля теплового пробоя керамики.

Способ может быть реализован следующим образом.

Заготовки керамических пьезоэлементов облучают инфракрасным излучением и сортируют по коэффициенту линейного поглощения.

Заготовки, имеющие коэффициент поглощения больше оптимального,цля конкретного изделия, отжигают в восстановительной среде при 600-1000 С до получения коэфо фициента поглощения, равного заданному.

Заготовки пьезоэлементов, имеющие низкий коэффициент поглощения, отжигают в окислительной среде при 700-1000 С до получ ения заданного коэффициента поглоще ния.

Затем заготовки пьезоэлементов металлизируют. После металлизации заготовок поляризацию их проводят полем насыщения цля данного керамического материала, т. е.

Способ изготовления керамических ьезоэлементов, включающий обработку

Составитель Т. 1=,огдалова

Техрец И.Карандашова

КорректоР Л.Орлова

Редактор Г.Караулова

Тир о2о I 1одписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений иоткрлтий

Заказ 61g t b P1

1 13035, Москва, Ж-35, Раушская наб, д.4/5

Фнннад ПП(! "Пагент", г. Ужгород, ул. Проектная,4 » а ь " „1

64 полем, напряженность которого ограпиче- инфракрасным излучением, сортировку по на лишь напряженностью поля теплового линейному коэффициенту поглощения инфрапробоя. Пьезоэлементы, изготовленные по красного излучения, металлизацию и поляриданному способу. имеют наилучшие электро- зацию электрическим полем заготовок пьезофизические характеристики и значительно 5 элементов,,отличающийся тем, что меньшую их цисперсию. с целью повышения стабильности и уменьТемпературный коэффициент частоты щения дисперсии электрофизических харакпьезоэлементов уменьшается в 2-3 раза, теристик пьезоэлементов, пере,ц металлизарезко увеличивается стабильность поляри- цией заготовки пьезоэлементов, имеющие зованного состояния, определенное по рас- 10 более низкий линейный коэффициент поглополяризуюшемуся цействию тепловых полей щения инфракрасного излучения по сравнен механических напряжений, уменьшается нию с требуемым, отжигают в окислительдисперсия электрофизических характеристик ной среде, а заготовки, имеющие более выпочти в 2 раза и увеличивается выход год- сокий коэффициент поглощения, отжигают в ных изделий. 1о восстановительной среде и поляризацию производят электрическим полем с максиФормула изобретения мально возможной для данной керамики напряженностью, величина которой не превышает величины напряженности поля теплового пробоя керамики.