Геттерно-ионный насос

 

(ii) 502423

OllMCAHHE

ИЗОБРЕТЕИИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

N АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 20.06.74 (21) 2035669/26-25 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 05.02.76. Бюллетень № 5

Дата опубликования описания 21.04.7б (51) М. Кл.- H 013 41/12

Государственный комитет

Совета Мнннстров СССР (53) УДК 621.528(088.8) по делам изобретений и OTKpblTHN (72) Авторы изобретения

А. С. Назаров, И. Б. Анохин, Л. Б. Толмачев, В. Л. Бибер и А. Д. Касихин (71) Заявитель (54) ГЕТТЕРНО-ИОННЫЙ НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к электрофизическим средствам откачки.

Известный геттерно-ионный насос, содержащий разрядные ячейки и прямонакальные титановые испарители, не обеспечивает регулирования скорости испарения геттерного материала в зависимости от газовой нагрузки, что снижает эффективность откачки и срок службы насоса.

В предложенном насосе этот недостаток устранен благодаря . тому, что испаритель снабжен датчиком термоэлектронной эмиссии, а блок электропитания — устройством сравнения, вход которого соединен с датчиком термоэлектронной эмиссии испарителя и разрядной ячейкой, а выход — с источником питания испарителя.

Изобретение поясняется чертежом.

Геттерно-ионный насос 1 содержит разрядную ячейку 2, испаритель 3, датчик термоэлектронной эмиссии 4 и блок электропитания

5, состоящий из источников питания 6, 7, 8 датчика термоэлектронной эмиссии, испарителя и разрядной ячейки соответственно. В блок электропитания 5 введено устройство сравнения 9, вход которого соединен с датчиком термоэлектронной эмиссии 4 и разрядной ячейкой 2, а выход — с источником питания испарителя 7.

В работающем насосе величина разрядного тока 1р разрядной ячейки 2 характеризует величину газовой нагрузки, а сигнал 1, датчика термоэлектронной эмиссии 4 — скорость испарения геттерного материала. Оба сигнала поступают на устройство сравнения 9, поддерживающее оптимальное соотношение скорости испарения и величины газовой нагрузки, В этом случае сигнал ошибки ЛУ равен нулю.

Io Автоматическое управление скоростью испарения производится на основе линейной зависимости тока эмиссии от скорости испарения и осуществляется с помощью системы автоматического регулирования мощности, под15 водимой к испарителю 3.

При увеличении газовой нагрузки возрастает величина разрядного тока Iр, что приводит к появлению сигнала ошибки (ЛУ ® О).

Устройство сравнения дает команду на увели20 чение мощности накала испарителя 3, при этом возрастает ток эмиссии испарителя.

Мощность возрастает до тех пор, пока не установится равновесие сигналов Iр и 1,. Устройство повышает эффективность откачки и

25 срок службы насоса.

Формула изобретения

Геттерно-ионный насос, содержащий раз30 рядную ячейку, испаритель и блок электропи502423

Составитель В. Мирошкина

Корректор В. Брыксина

Техред М. Семенов

Редактор T. Орловская

Заказ 758/4 Изд. № 232 а Тираж 977 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 тания, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности откачки и повышения срока службы насоса, путем регулирования мощности испарителя в зависимости от газовой нагрузки, испаритель снабжен датчиком термоэлектронной эмиссии, а блок электропитания — устройством сравнения, вход которого соединен с датчиком термоэлектронной эмиссии испарителя и разрядной ячейкой, а

5 выход — с источником питания испарителя.