Устройство для измерения толщины диэлектрических покрытий

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ i» 506753 т"ойе Сюветскик

Социалистических

Реслуечик

1 (( (61) Дополнительное к авт, свид-ву 332313 (22) Заявлено 19.09.73 (21) 1966850/25-28 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 15.03.76. Бюллетень № 10

Дата опубликования описания 07.05.76 (51) М. Кл."- G 01В 7 06

Госудлрственный комитет

Совета Министров СССР по двлам изобретений и открытий (53) УДК 531.715.2:531, .717.53(088.8) (72) Авторы изобретения В. К. Будкин, В. Г. Вяхорев, Л. И. Трахтенберг и В. В. Фоменко (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ

ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ

Изобретение относится к области неразрушающего контроля методом вихревых токов толщины изоляционного покрытия на немагнитной электропроводящей подложке и является усовершенствованием известного устройства, описанного в авт. св. № 332313, кл. G Olb 7j06.

В основном авт. св. ¹ 332313 описано устройство для измерения толщины диэлектрических покрытий, содержащее генератор переменного тока, накладной вихретоковый преобразователь, компенсатор, усилитель, каналы выделения активной н реактивной составляющих и фазы вносимого напряжения, сумматор, регулируемое сопротивление, подключенное к выходу канала выделения фазы и последовательно между сумматором и выходом канала выделения активной составляющей вносимого напряжения, и регистратор.

Недостатком известного устройства является большая погрешность измерения, вызванная различным влиянием на вносимое напряжение преобразователя изменений удельного сопротивления подложки при различных толщинах покрытия.

1Лель изобретения — повышение точности измерения толщины изоляционного покрытия при изменении удельной проводимости подложки.

Это достигается тем, что устройство снабжено дополнительным регулируемым сопротивлением, включенным между выходом кана,7а выделения реактивной составляющен и входом сумматора, а регулирующий вход дополнительного регулируемого сопротивления соединен с выходом сумматора.

Такое отличие повышает точность измерения толщины изоляционных покрытий прн изменении удельной проводимости подложки.

На чертеже изображена блок-схема описываемого устройства, которое содержит генератор 1 переменного тока, накладной вихретоковый преобразователь 2, компенсатор 3, уси15 лнтель 4, каналы 5 — 7 выделения соответственно активной, реактивной составляющих и фазы вносимого напряжения, регулируемое сопротивление 8, сумматор 9, дополнительное регулируемое сопротивление 10 и показываю20 щнй прибор 11.

Устройство работает следующим образом.

О-, генератора 1 переменного тока питается преобразователь 2 и компенсатор 3, компенсирующий напряжение преобразователя, уста25 новленного на немагнитную электропроводящую подложку с наибольшей удельной проводимостью. Вносимое контролируемым изделием напряжение усиливается усилителем 4 и поступает на входы каналов 5, 6, 7. НапряжеЗэ пие с канала 5 выделения активной составля506753

Формула изобретения

Составитель A. Покровский

Текред О. Кудинова

Редактор С. Байкова

Корректоры: Н, Аук и И. Позияковская

Заказ 947/4 Изд. М 1172 Тирагк 864 Подписное

?1НИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035 Москва, )I(-35, I ауп ская иаб., д. 4 5

Типография, Ill) Сапунова, 2 ющей вносимого напряжения через регулируемое сопротивление 8, цепь управления которого соединена с выходом канала 7 выделения фазы вносимого напряжения, поступает на вход сумматора 9. Напряжение канала 6 выделения реактивной составляющей вносимого напряжения через дополнительное регулируемое сопротивление 10 поступает также на вход сумматора 9, а с его выхода — на показывающий прибор 11. Напряжение с выхода сумматора 9 поступает на регулирующий вход сопротивления 10.

Для уменьшения погрешности измерения выходное напряжение канала 6 изменяется относительно выходного напряжения канала 5.

Это достигается благодаря тому, что напряжение с выхода канала 6 поступает на вход сумматора 9 через регулируемое сопротивление 10, величина которого зависит от выходного напряжения сумматора. В результате этого изменяется коэффициент суммирования активной и реактивной составляющих вносимого напряжения преобразователя для различных толщин изоляционных покрытий, Так при уменьшении толщины покрытия напряжение на выходе сумматора уменьшается, а величина регулируемого сопротивления, зависящая от этого напряжения, увеличивается, что приводит к увеличению выходного напряжения канала 6.

Изобретение позволяет повысить точность измерения толщины изоляционных покрытий на немагнитных электропроводящих материа10 лах с различной удельной электрической проводимостью.

15 Устройство для измерения толщины диэлектрических покрытий по авт. св. Ко 332313, отл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности измерения, оно снабжено дополнительным регулируемым сопротивлением, вклю20 ченным между выходом канала выделения реактивной составляющей и входом сумматора, а регулирующий вход дополнительного регулируемого сопротивления соединен с выходом сумматора.

Устройство для измерения толщины диэлектрических покрытий Устройство для измерения толщины диэлектрических покрытий 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерительной технике и может найти широкое применение в системах неразрушающего контроля и измерений толщины пленочных покрытий

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля толщины металлических покрытий в процессе их образования, например, на металлических деталях, в частности, при нанесении покрытий из паровой фазы пиролитическим способом

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения деформирующей способности технологических остаточных напряжений в поверхностном слое изделий из металлов и сплавов с различными электромагнитными свойствами

Изобретение относится к неразрушающим методам контроля качества и геометрических размеров изделий и может быть использовано для измерения толщины проводящих покрытий
Изобретение относится к электронной технике и электротехнике и может быть использовано, в частности, в качестве датчиков магнитного поля или тензодатчиков

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины различных покрытий на цилиндрических металлических основах

Изобретение относится к измерительной технике, а более конкретно к методам и техническим средствам для контроля толщины твердых и полутвердых защитных покрытий, изоляционных слоев, жировых отложений, смазочных и лакокрасочных пленок на электропроводящей, в частности, металлической основе
Наверх