Способ очистки тетрахлорида герма-ния

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ода светских

Социал!! .-;!: !.": ес

Роси",- ...". !!!! 508478 (61) Дополнительное к авт. свид-ву ,(22) Заявлено 07.07.67 (21) 98510Ф23-26 с присоединением заявки № (23) Пр tnр!rтет

Опубликовано 30.03.76. Бюллетень № 12 (51) М. Кл. С 016 17/04

Государствеиив!й кем; —. ет

Совета Мииистлсв СССР по делам иаа!1оетеиий и отклытии (53) УДК 546.289 131.05 (088.8) Дата опубликовани,". описан:!я 15.06.7б (72) . ",вторы .:зобретепия Э. H. Бочкарев, В. М. Розенгауз, С. А. Пожиткова, И. К. Симагина, H. С. Кишкинская и H. А. Макеева (71) Заявитель

Государственный нау«но-исследовательский и проектный институт редкометалл!!веской промышленности (54) СНОСОБ ОЧИСТКИ

ТЕТРАХЛОРИДА ГЕРМАНИЯ

10 Формула изобретения

Изобретение относится к полупроводниковой промышленности.

Известен способ очистки тетрахлорида германия от сопровождающих его примесей, в особенност;! мышьяка, ректификацией исходного прод кта. Однако такой способ имеет певысоку:о степень чистоты конечного продукта по содержанию в нем мышьяка.

С целью устранения указанного недостатка предлагается процесс вести в присутствии добавок жидкого окислителя, например перекиси водорода.

При этом окислитель. брать в количестве, не превышающем его растворимость в исходном продукте.

П р v. м е р 1. Технический тетрахлорид германия, содержащий более б 10 — в% мышьяка, заливают в куб насадочной ректификационной колонны диаметром 15 мм, высотой 1 м.

Туда же дооавляют 30%-ную перекись водорода B количестве, составляющем 1% от объема очищаемого тетрахлорида германия. После проведения ректификации концентрация мышьяка в средней фракции дистиллата составляет 2. 10 — %

Пример 2, При проведении процесса описанным выше способом и с тем же исход5 ным техническим тетрахлоридом германия в качестве окислителя добавляют 2,5 oo. % концентр:!рованной HXOq, Концентрация мышьяка в очищенном продукте составляет 5 10 %.

1. Способ очистки тетрахлорида германия от сопровождающих его примесей, в особенности мышьяка, путем ректификации исход15 ного продукта, отличающий с я тем, что, с целью повышения степени чистоты конечного продукта, процесс ведут в присутствии добавок жидкого окислителя, например перекис« водорода.

20 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что окислитель бер т в количестве, не превышающем его растворимость в исходном продукте.