Интерферометр с высокой степеньюкомпенсации фазовых искажений в све-тоделителе

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К атОРСКОМЬ СВИДЕтЕЛЬСтВЬ

00 508665

Савв Соввтскнн. Социалистических

Республик

-(61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 27.11.73 (21) 1975909/25-28 (51) М. Кл. G 01В 9/02 с присоединением заявки №

Совета Министров СССР ло делам изобретений н открытий

Опубликовано 30.03.76. Бюллетень № 12

Дата опубликования описания 21.05.76 (53) УДК 531.715.1 (088.8) (72) Авторы изобретения

В. С. Букреев, В. А. Вагин и Г. Н. Жижин (71) Заявители

Центральное конструкторское бюро уникального приборостроения

АН СССР и Институт спектроскопии АН СССР (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР С ВЫСОКОЙ СТЕПЕНЪЮ КОМПЕНСАЦИИ

ФАЗОВЫХ ИСКАЖЕНИЙ В СВЕТОДЕЛИТЕЛЕ

Государственный комитет . (23) Приоритет

Изобретение относится к измерительной технике, предназначено для фотоэлектрической регистрации интерферограмм и может использоваться в различных спектральных приборах, в конструкцию которых входит интерферометр

Майкельсона.

Известен интерферометр с высокой степенью компенсации фазовых искажений в светоделителе, содержащий источник света, коллимирующую систему, светоделитель, два отражателя, установленные в плечах интерферометра, компенсатор, расположенный на пути лучей, идущих от одного из отражателей, объектив, фотоприемник и блок обработки сигнала.

В известном интерферометре компенсатор и светоделитель расположены рядом и компенсация фазовых искажений осуществляется в компенсирующей пластине, которая должна быть по обработке идентична пластине светоделителя.

Недостатками известного интерферометра являются сравнительно невысокая компенсация фазовых искажений в светоделителе, дополнительные требования к юстировке интерферометра, высокие требования к идентичности толщин и качества поверхностей компенсирующей пластины и сравнительно низкая точность интерферометрических измерений.

Предлагаемый интерферометр отличается от известного тем, что светоделитель и компенсатор выполнены в виде единой пластины, на половине одной из поверхностей которой нанесено светоделительное покрытие, а интерферометр снабжен установленными по одну сторону от пластины плоскими зеркалами, каждое из которых расположено нормально к падающему на них световому потоку от отражателей.

10 Такое выполнение интерферометра позволяет повысить точность интерферометрических измерений вследствие того, что пучки лучей проходят больший путь, чем в известном интерферометре и упрощается изготовление и

15 юстировка светоделителя и компенсатора, так как они являются в предложенном интерферометре единой пластиной.

На чертеже показана схема пнтерферометра.

20 Он содержит источник 1 света, коллимирующую систему 2, светоделитель 3, два отражателя 4 и 5, установленные в плечах интерферометра на пути лучей, прошедших светоделитель и отраженных от него, компенсатор 6, 25 расположенный на пути лучей, идущих от одного из отражателей, например 5, два плоских зеркала 7 и 8, объектив 9, фотоприемник 10 и блок 11 обработки сигнала с фотоприемника.

Светоделитель 3 и компенсатор 6 выполне30 ны в виде единой пластины, на половине од508665

ЦНИИПИ Заказ 1076/15 Изд. № 1215 Тираж 864

Подписное

Типография, пр. Сапунова, 2

3 ной из поверхностей которой нанесено светоделительное покрытие.

Работает интерферометр следующим образом.

Коллимированное с помощью системы 2 излучение источника 1 попадает на светоделительную часть пластины светоделителя-компенсатора, где оно делится на два пучка. Один из них проходит через пластину, попадает на отражатель 4 и затем на поворотное зеркало 8, возвращающее излучение по тому же пути на светоделитель и обеспечивающее тем самым независимость положения возвращающегося пучка от движения отражателя. На светоделителе этот пучок соединяется и интерферирует с другим пучком излучения, прошедшим через второе плечо 5, 6, 7, 6, 5, интерферометра, где он дважды проходит через компенсирующую часть пластины светоделителякомпенсатора. Оптические пути, проходимые пучками в пластине светоделителя-компенсатора, одинаковы, если пластина плоскопараллельная и оптически однородная, что обеспечивает необходимую компенсацию фазовых искажений.

Формула изобретения

5 Интерферометр с высокой степенью компенсации фазовых искажений в светоделителе, содержащий расположенные последовательно источник света, коллимирующую систему, светоделитель, два отражателя, установленные на

10 пути лучей, прошедших светоделитель и отраженных от него, компенсатор, расположенный на пути лучей, идущих от одного из отражателей, объектив, фотоприемник и блок обработки сигнала с фотоприемника, о т л и ч а ю15 шийся тем, что, с целью повышения точности интерферометрических измерений, светоделитель и компенсатор выполнены в виде единой пластины, на половине одной из поверхностей которой нанесено светоделительное по20 крытие, а интерферометр снабжен установленными по одну сторону от пластины плоскими зеркалами, каждое из которых расположено нормально к падающему на них световому потоку от отражателей.