Сплав для омических контактов сило-вых полупроводниковых приборов

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Сотое Советскик

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 08.07.74 (21) 2041643/26-25 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 30.03.?6. Бюллетень № 12

Дата опубликования описания 25.05.76 (51) М Кч 2 Н 011. 29/14

Государственный комитет

Совета йкииистрав СССР (53) УДК 621.382(088.8) по делам ивобретений и открытий (72) Авторы изобретения

В. А, Журавлев, И. Г. Учайкин, Л. Н. Крылов, А. И. Голов, Д. П. Ловцов, Л. П. Селезнев, Е. В. Кук, Э. К. Белебашев, В. Д. Ревтов и А. И. Зенцов

Ордена Трудового Красного Знамени завод «Электровыпрямитель» (71) Заявитель (54) СПЛАВ ДЛЯ ОМИЧЕСКИХ КОНТАКТОВ

СИЛОВЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ

Изобретение относится к изготовлению полупроводниковых приборов на основе кремния.

Известен сплав для омических контактов силовых полупроводниковых приборов на основе алюминия или силуминов с добавками бора.

Недостатками известного сплава являются ухудшенные электрические характеристики контактов, низкая механическая прочность соединения кристалла с термокомпенсатором.

Целью изобретения является снижение электросопротивления в контакте р — р+ и уменьшение инжекции при одновременном улучшении качества контакта.

Поставленная цель достигается тем, что в известный сплав дополнительно вводится металлическая добавка, например, вольфрам или молибден.

По предлагаемому способу для одновременного улучшения электрических характеристик омических контактов к кремнию р-типа проводимости и улучшения соединения с вольфрамовым (или молибденовым) термокомпенсатором алюминий или силумин легируют комплексной присадкой, содержащей бор и вольфрам (молибден) примерно в равных долях.

Благодаря более высокой растворимости . бора в кремнии (6.10" ат/см ) по .сравнению с алюминием (1,5.10 е ат/см ) повышается сте2

I пень легирования рекристаллизованного (эпитаксиального) слоя кремния, возникающего при сплавлении. Это ведет к снижению электросопротивления в контакте р — р+ и умень5 шению инжекции, Добавки W (Мо) улучшают качество соединения с термокомпенсатором. Установлено, что минимальная концентрация В и W (No), при которой заметно их облагораживающее влияние на сплав, состав10 ляет 0,05% по массе. При концентрациях В и

W (Мо) выше 15% по массе сплав сильно насыщен интерметаллидами, которые резко снижают пластичность сплава и из него практически невозможно изготовить фольгу тре15 буемого качества для получения сплавных контактов. Оптимальное содержание В и W (Мо) в алюминии или силумине — 0,1 — 5% по массе.

20 Формула изобретения

1. Сплав для омических контактов силовых полупроводниковых приборов на основе алюминия или силуминов с добавками бора, от25 л и ч а ю шийся тем, что, с целью снижения электросопротивления в контакте р — р+ и уменьшения инжекции при одновременном улучшении качества контакта, в него дополнительно введена металлическая добавка, ни30 пример, вольфрама или молибдена.

508826

Составитель А. Мазур

Техред Т. Лященко

Редактор Н. Коляда

Корректор М. Лейзермаи

Заказ 1424/9 Изд. № 1233 Тираж 963 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений н открытий

113035; Москва, Ж 35, Раушская наб, д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

2. Сплав по п. 1, отличающийся. тем, что компоненты взяты в следующем соотношении (в мас. р/р):

Si 1,0045

 0,05 — 15

W (Мо) 0,05 — 15

Al Остальное (не меньше 56), 4

3. Сплав по п. 1, о т л и ч а ю щ.и й:с я тем, что компаценты: взяты в следующем соотношении (в мас. /р);

 0,05 — 15

% (Мо) 0,05 — 15

Al Остальное (не менее 70).