Способ создания вакуума
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советским
Сооиапистическик
Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 29.12.72 (21) 1865748/06 с присоединением заявки № (23) Приоритет
Опубликовано 15.05.76. Бюллетень № 18
Дата опубликования описания 12.10.76
Государственный комитет
Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения
Л. М. Блех, М. В. Соболевский, Л. В. Соболевская, М. А. Клейновская, Г. А. Поташова, Ю. К. Молоканов, М, Л. Алашкевич и В. Г. Сидорова (71) Заявитель (54) СПОСОБ СОЗДАНИЯ ВАКУУМА с,н,сн, снз н,с-в, Изобретение относится к области вакуумной техники.
Известны способы создания вакуума с помощью диффузионных паромасляных насосов путем истечения из сопл паров рабочей кремнеорганической жидкости.
Цель изобретения — уменьшение предельного остаточного давления, достигаемого насосами. Для этого в качестве рабочей жидкости используют кремнеорганический олигомер, соответствующий химической формуле 1, 3, 5, 7-тетраметил-1, 1, 3, 5, 7, 7-гексафенилтетрасилоксан:
Использование в качестве рабочей жидкости предлагаемого олигомера позволяет получить на насосе с водоохлаждаемой ловушкой предельное остаточное давление порядка 10—
5 11 мы. рт. ст.
Формула изобретения
Способ создания вакуума с помощью диффузионного паромасляного насоса путем истечения из сопл паров рабочей кремнеорганической жидкости, отличающийся тем, что, с
15 целью уменьшения предельного остаточного давления, в качестве рабочей жидкости используют 1, 3, 5, 7-тетраметил-1, 1, 3, 5, 7, 7гексафенилтетрасилоксан.
