Микротермостат для интегральных схем

Авторы патента:

G05D23/30 - автоматические регуляторы с вспомогательными термостатами, действующими на термочувствительные элементы, например для предупреждения изменений температуры (автоматические регуляторы вообще и регуляторы, не ограниченные только контролем температуры G05B)

=Щ - - ."ЫЖ

О П И С А Н Й Ё 1ii1 5I4278

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 05.05.74 (21) 2023786/24 (51) Ч. Кл. G 050 23/30 присоединением заявки №

Государственный комитет

Совета Министров СССР ао делам изобретений и открытий (23) Приоритет

Опубликовано 15.05.76. Бюллетень № 18

Дата опубликования описания 25.06.76 (53) УДК 536.582.08:621..382.82 (088.8) (72) Авторы изобретения Н. Д. Гаджиев, М. А. Гарибов, Н, Л. Гусейнов и Д. Ш. Мамедов (71) Заявитель (54) МИКРОТЕРМОСТАТ ДЛЯ ИНТЕГРАЛЪНЪ1Х СХЕМ.

Формула изобретения

Изооретение относится к радиоэлектронной аппаратуре и может быть использовано для стабилизации температуры полупроводниковых структур.

Известны микротермостаты для интегральных схем, содержащие корпус с расположенными в нем датчиком температуры, регулятором и нагревателем. Известны также способы стабилизации температуры полупроводниковых структур с использованием технологии интегральных схем: например с использованием теплопроводящей пластины для размещения кристаллов нагревателя, датчика и статируемого объекта, а также с созданием статируемого объекта в едином блоке монокристалличсского полупроводника с устройством термостата.

Цель изобретения вЂ” повышение точности регулирования температуры. В описываемом микротермостате это достигается тем, что в его корпусе установлен кольцевой транзисторный нагреватель, в отверстии которого размещены датчик температуры и регулятор.

На чертеже показан описываемый микротер моста т.

Он имеет корпус 1, кольцевой транзисторEEbEH нагреватель 2, отверстие а и отверстие б.

В микротсрмостате, корпус которого выполнен из кристалла кремния, методом планарной технологии создан кольцевой транзисторный нагреватель 2, а в отверстии а помещены датчик температуры и регулятор (на чертеже не показаны). В отверстии б помещается термостатируемая схема. Размеры отверстия о определяются габаритами кристалла термо5 статируемой схемы и вытравливаются в кристалле микротермостата симметрично отверстию а. После размещения термостатируемой схемы в отверстие, его и нагреватель заливают элсктроизоляционной и теплопроводной пастой, например, на основе ВеО. В результате расположения датчика температуры, регулятора и термостатируемой интегральной схемы в одном объеме внутри нагревателя исключается уход температуры статирования

15 из-за отсутствия разности температурных режимов датчика и cTàòèðóåì0ão объекта и теплового потока между разнонагретыми элементами, т. е. градиент температуры в статируемой интегральной схеме сводится к мини20 м му.

Микротермостат для интегральных схем, со25 держащий корпус с расположенными в нем да чиком температуры, регулятором и нагревателемм, отличающийся тем, что, с целью повышения точности регулирования, в нем в корпусе установлен кольцевой транзисторный

30 нагреватель, в отверстии которого размещены датчик температуры и регулятор.

514275

Составитель О. Искендеров

Текред 3. Тараненко

Корректор E. Жаворонкова

Редактор Л. Тюрина

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 1352i15 Изд. ¹ 1360 Тираня 1029 Подписное

11НИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, 7Ê-35, Раушская наб., д. 4,5

Похожие патенты:

Термостат // 504186

Система для термостатирования радиоэлектронной аппаратуры // 498881

Термостат // 497562

Терморегулятор // 495651

Термостат // 492867

Термостат для анализатора // 490104

Устройство для регулирования температуры // 486306

Термостат // 485428

Термокамера // 472337

Термостат // 470798

Термостат трубчатый электрожидкостный // 2107321

Изобретение относится к автоматическому регулированию и используется в системах термостатирования при исследовании пластовых флюидов, а также прочих объектов, размещающихся в цилиндрических рабочих камерах различной длины с нормальным или избыточным давлением

Система термостатирования газового потока // 2155364

Изобретение относится к устройствам газоснабжения и может быть использовано для выдачи газового потока низкого и среднего давления (~до 30105 Па) с регулируемой температурой, номинал которой может изменяться в диапазоне от значения несколько ниже температуры окружающей среды до значения, значительно превышающего температуру окружающей среды

Система для регулирования расхода тепла на отопление // 2170944

Изобретение относится к средствам автоматического регулирования, применяемым в системах теплоснабжения

Устройство для отвода тепла и термостабилизации электронных плат // 2174292

Изобретение относится к электронике и может быть использовано для обеспечения требуемых тепловых режимов элементов радиоэлектронной аппаратуры, в частности электронных плат

Устройство для охлаждения электронных плат // 2198419

Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано для обеспечения требуемых тепловых режимов радиоэлектронной аппаратуры, в частности электронных плат

Устройство для термостабилизации нескольких объектов на разных температурных уровнях // 2199777

Изобретение относится к области термоэлектрического приборостроения и может использоваться для одновременной стабилизации температуры нескольких объектов, имеющих разные оптимальные рабочие температуры

Устройство термостатирования фотоприемника // 2210099

Изобретение относится к автоматике, в частности к устройствам стабилизации температуры фотодиодных приемников лучистой энергии оптико-электронных приборов, и может быть использовано в фотометрических устройствах

Устройство для термостатирования фоточувствительного элемента // 2235351

Изобретение относится к устройствам стабилизации температуры фотоэлемента приемника лучистой энергии и может быть использовано для теромостатирования фоточувствительных элементов в оптико-электронных приборах, например фотометрических устройствах, пирометрах и оптических датчиках

Устройство для термостабилизации нескольких объектов на разных температурных уровнях // 2236034

Устройство термостабилизации радиоэлектронной аппаратуры // 2240606