Глазурь

 

О П И С А Н И Е ()б1вввв

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву(22) Заявлено 11.03 74 (21) 2003552/33 с присоединением заявки № (23) Приоритет(43) Опубликовано05.06.76.Бюллетень № 21 (45) Дата опубликования описания17.05.77 (51) М. Кл.

С 03 С 5/00

Гасударственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) V@K 666.2g5 (088. 8) Н. Д. Урсуляк, Н. Е. Деркач, A. В. Белицкий и М. А. Овчинников (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) ГЛАЗУРЬ

Изобретение относится к составам глазурей для покрытия изделий из иттрий-железистого граната, в частности для покрытия подложек микросхем.

Известны глазури для покрытия деталей из керамики, содержащие S i 0„, Sa 0, Ü О эо(0 ., Еп 0 . Однако, эни не обеспечивают высокое качество поверхности покрытий и увеличение механической прочности деталей из иттрий-железистого граната, например подложек микросхем.

Целью изобретения является получение покрытий на иттрий-железистом гранате и повышение механической прочности последнего.

Она достигается тем, что глазурь дополнительно содержит Ч 0 при следующем соотношении компонентов, вес.%:

Si0 35 40,5 ВаО 40-45 В О 8-12

СаО 3-5 Е и О 4-6. V 05 1-3.

Подложки микросхем из иттрий-железистого граната покрытые описываемой глазурью толщиной в 30-80 мкм сохраняют высокое качество поверхности и имеют механическую прочность (1з =2400— иаг

2 — 2600 кг/см ) более, чем на 50% выше по сравнению с неглазурованным изделием из иттрий-железистого граната.

Барку глазури производят в газопламен5 ной печи в тиглях из двуокиси циркония при температуре 1550 « 20 С. о

Изобретение поясняется кэнкретным составом глазури, содержащим (в вес.%):

8i0< -38,6> ВаО- 41,4: В О. -9,6

10 СаО -3,8) Еп0-5,11V О -1,5.

Глазурь наносят на поверхность деталей, например, шлифованных подложек из иттрийжелезистого граната в виде водной суспензии порошка известными способами (окунаlо нием, пульверизацией, намазкой и др.) и оплавляют в окислительнэй среде при темо пературе 1000 + 10 С. Скорость подъема температуры равномерная, нэ не менее о * * э

50 С/час при температурах выше 800 С. О Выдержка при максимальной температуре не более 10 мин. Охлаждение идет со скоо ростью 50-100 С/час. Для обеспечения

13-14-го классов чистоты поверхности и высокой плоскопараллельности детали (подложки) полируют. Температура размягчения

516656

Составитель С Белобокова

Редактор И. Квачадзе Техред М. Ликович Корректор . Власенко

Заказ 737/139 Тираж 576 Подписное цНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 з о глазури 750 С, микротвердость 800 кг/мм

КТР при комнатной температуре 7 10град механическая прочность подложек не менее

2500 кг/см .

Формула из обретения

Глазурь, включающая % О,Ва О, о Оз СаО

Ел О,отличающаяся тем, что, с целью получения покрытий на иттрий-железистом гранате и повышения механической прочности последнего она дополнительно содержит V>0> при следуюшем соотношении компонентов, вес. и @ g -35-40, 5.

Ва0 40-45 В 0 8-12„СаО 3-5

Еп04 6; Ч О 1-3.