Дозирующее устройство

 

(11) 52 1467

ОП ИСАНИНА

ИЗОЬРЕтЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социо-ккстических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 01.03.74 (21) 2000919/1 0 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 15.07.76,рюллетень ¹26 (45) Дата опубликования описания 13.10.76 (51> М. Кл.н

G 01 F 11/38

Государственный квинтет

Сената Мннлс-,„ев СССР пн делам изобретений и атнрытнй (53) УДК 66.028 (088. 8) (72) Авторы изобретения Л, С. Валеев, Г. В. Евдокимов, Г. В. Емельянов и В. И. Сладков (71) Заявитель (54) ДОЗИРУЮШЕЕ УСТРОЙСТВО

Изобретение относится к области дозирующей техники и может быть использовано в различных отраслях народного хозяйства в качестве дозатора быстрозатвердеваюших материалов, например, в установках нанесения фоторезистора при проведении процессов фотолитографии.

Известны дозирующие устройства, содержащие расходный резервуар, соединенный с дозируюшим узлом (1 бт. В этих устрой- О ствах дозирование осуществляется посредством сжатого воздуха, а дозирующий узел снабжен запорным элементом типа клапана либо золотника.

Известны также устройства. снабженные д поршнем для выдачи дозы (4, 6).

Известен также пневматический до-:àòop, содержащий расходный резервуар с отверстием в днище, соединенный каналом с дозируюшей камерой, выполненной в виде поршнево- О го ц.. линдра с нневмоприводом и выпускным каналом (1), Однако в известном дозаторе после выди и порции фоторезиста на стенках сливного ка1:ала остается быстрозастывающая плен" Q5 ка фоторезиста, что в конечном счете сказывается на точности и надежности работы устройства.

Для повышения надежности и точности в условиях эксплуатации с быстрозастывающими материалами в предлагаемом устройстве прошневой цилиндр снабжен штуцером для подачи растворителя и сжатого воздуха, а камера цилиндра выполнена с дополнительной полостью, образованной стенками цилиндра и кольцевой выточки на боковой ïîверхности поршня, посредством которой выпускной канал периодически соединен со штуцером подачи растворителя и сжатого воздуха.

На чертеже схематически изображено описываемое устройство, включающее в себя рас одный резервуар 1 фоторезиста, дозирующую камеру 2 со сливным отверстием и каналом для ввода фоторезиста, поршень3, пневмопривод 4, штуцеры 5 подвода сжатого воздуха и штуцер 6 подвода чистого сжатого воздуха в расходный резервуар.

Сжатый воздух поступает через штуцер7 в пиевмопривод 4 и перемешает поршень 3

521467 вправо до упора, затем подача воздуха через штуцер 7 в пневмопривод 4 прекращается, и одновременно подается чистый сжатый воздух через штуцер 6 в расходный резервуар 1 фотореэиста, Фоторезист под дав лением воздуха проходит отверстие входа фотореэиста, полость А и через спивное от- верстие подается строго дозированной порцией на подложку, причем порция зависит только or времени подачи сжатого воздуха р в расходный резервуар 1 фотореэиста, Через несколько секунд прекращается подача сжатого воздуха через штуцер 6 в расходный резервуар 1 фоторезиста и подается сжатый воздух через штуцер 8 в пневмо- р привод 4, поршень 3 перемещается влево до упора, отсекая полость А or сливного отверстия и соединяя это отверстие с полостью Б и штуцером 5.

Отсчитав заданное количество выданных порций фоторезиста, автоматически через штуцер 5 подается под давлением растворитель, который прбходит полость Б и с большой скоростью вытекает из сливного отверстия, промывая его. Зб

Через несколько минут подача раствори;теля прекращается, и через штуцер 5 подается чистый сжатый воздух для продувки сливного отверстия от оставшихся капель растворителя, после чего подача воздуха ЗО через штуцер 5 прекращается. соединенным каналом с доэнрующей каб ерой, выполненной в виде поршневого цилиндра с пневмоприводом и выпускным каналом, о л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности и точности в услови ях эксплуатации с быстрозатвердевающими материалами, поршневой цилиндр снабжен штуцером для подачи растворителя и сжатого воздуха, а камера цилиндра в»".полнена с дополнительной полостью, обра кованной стенками цилиндра и кольцевой выточки на боковой поверхности поршня, посредством которой выпускной канал периодически соединен со штуцером подачи растворителя и сжатого воздуха.

Источники информации, принятые во в имание при экспертизе, 1. Авт,св. -329401, кл. G 01 Р 17/04, 1972.

2. ЦНИИ Электроника», серия "Микроэлектроника", информационный листок ,М 002209, Опентанов Ю. В. и др. Дозатор для подачи раствора фотореэиста на центрифугу .

3. Авт.св. % 8744.5 кл. G 01 F 11/04, 1950, 4. Щербаков, "Пневматика в машицостро ении, стр. 153-154.

5. Ав r.ñâ. М 231 139, кл. G01 F 15/02, 1965.

Формула изобретения

Дозирующее устройсгво, содержащее рао- 6. Патент США М 177950

6, кл. 222ходный резервуар с отверстием в днище. 108, 1962.

52 1467

Составитель Б. Херсонский

Редактор С. Хейфиц Техред,4. Богдан Корректор Т. Кравченко

Заказ 4074/534 Тираж 864 Подписное

Е(НИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4