Устройство для осаждения резистивного слоя на керамические заготовки резисторов

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ i i! 524231

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 18.12.74 (21) 2085771/21 (51) М. Кл

Н 01с 17/00

С 23с 13/00 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.316.849.

002 5(088 8) (43) Опубликовано 05.09.76 Бюллетень № 29 (45) Дата опубликования описания 11.09.78 (72) Авторы изобретения Н. В. Лень, В. М. Каланчекаев, В. П. Якутин, Д. Я. Чопоров и Л. П. Боголюбова (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ РЕЗИСТИВНОГО

СЛОЯ НА КЕРАМИЧЕСКИЕ ЗАГОТОВКИ РЕЗИСТОРОВ

Изобретение относится к области производства пленочных резисторов.

Известно устройство для осаждения резистивного слоя на керамические заготовки резисторов, содержащее вибрационные загрузчики, подающий механизм, питатели, соединенные с вибрационными загрузчиками, многоканальную печь с жаровыми трубами и реакционными трубками со шпинделями, приводы вращения реакционных тру- 10 бок, систему подачи газа в трубки и блок управления (1).

Недостатком известной установки является низкая производительность и низкие эксплуатационные качества. 15

Цель изобретения — повышение производительности работы устройства — достигается тем, что оно снабжено блоком стабилизации температуры исходного реагента, а подающие механизмы и приводы вра- 20 щения реакционных трубок размещены симметрично относительно жаровых труб, причем подающий механизм снабжен приводом возвратно-поступательного перемещения в виде штока, один конец которого 25 через двуплечий рычаг соединен с толкателем, служащим для подачи керамических заготовок, а другой конец — с отсекателем для тех же заготовок.

На фиг. 1 — общий вид устройства, на З0 фиг. 2 — подающий механизм в разрезе по гребенчатому толкателю в момент загрузки керамическими стержнями, на фиг. 3 отсекатель при извлечении его из корпуса подающего механизма по фиг. 2, на фиг.

4 — привод вращения реакционных трубок, на фиг. 5 — питатель в рабочем положении при транспортировке керамических стержней из вибрационного загрузчика в подающий механизм, на фиг. б — место

I на фиг. 5, на фиг. 7 — место II на фиг.

5, на фиг. 8 — пружина с осевым усом по фиг. б и 7, на фиг. 9 — место 1 в момент расцепления питателя с вибрационным загрузчиком, на фиг. 10 — место II в момент расцепления питателя с подающим механизмом.

Установка (фиг. 1) линейного типа содержит два многозаходных вибрационных загрузчика 1, питатели 2, подающие механизмы 3, приводы 4 вращения, реакционные трубки 5, многоканальную печь б с блоками 7 прецизионного регулирования температуры, блок 8 стабилизации температуры реагента с испарителями, газовую систему, блоки 9 управления и сборники 10 резистивных элементов.

Установка имеет восемь реакционных трубок 5 размещенных в четырех жаровых трубах 11 печи б. В одной трубе 11 разЫ4231

3 мещены две реакционные трубки 5, связанные с отдельным подающим механизмом 3 и приводом 4 вращения. Каждая жаровая труба печи 6 снабжена автономным блоком прецизионного регулирования темпе- 5 ратуры. Блок 8 стабилизации температуры испаряемого реагента содержит термостатированную панель, в боковых гнездах которой размещены испарители. Каждая реакционная трубка 5 связана с отдельным 10 испарителем, Подающие механизмы 3 и приводы 4 вращения установлены выходными каналами симметрично жаровым трубам 11 печи 6 в двух вертикальных плоскостях и связаны между собой посредством 15 полых втулок 12, по которым транспортируются керамические стержни. Реакционные трубки 5 закреплены в шпинделях приводов вращения 4.

На фиг. 1 показаны загрузчик1, питатели 20

2, подающие механизмы 3, приводы 4, жаровые трубы 11 и реакционные трубки 5, совмещенные в одной вертикальной плоскости. Аналогичные узлы и реакционные трубки, совмещенные во второй вертикаль- 25 ной плоскости, размещены с обратной стороны и на чертеже не показаны.

Установка имеет исполнение на восемь реакционных трубок 5, однако установка может иметь исполнение на двенадцать и ЗО более реакционных трубок.

Установка работает следующим образом.

Керамические стержни (заготовки) из многозаходных вибрационных загрузчиков по питателям 2 поступают в подающие меха- 35 низмы 3 и поштучно продвигаются к реакционным трубкам 5 по восьми параллельным каналам 12.

Одновременно со стержнями в реакционные трубки 5 поступает газ-носитель, на- 40 пример аргон, транспортирующий пары реагента. Предварительно газ-носитель в испарителях блока 8 барботирует через слой жидкого реагента. В реакционных трубках

5 при высокой температуре пары реагента 45 разлагаются, образуя на поверхности керамических стержней резистивную пленку.

Для равномерного осаждения резистивной пленки реакционные трубки 5 вращаются, при этом керамическим стержням в 50 трубках 5 сообщается вращательно-поступательное движение. Из реакционных трубок 5 резистивные элементы поступают в сборники 10.

Подающий механизм (фиг. 2) имеет при- 55 вод 13 возвратно-поступательного действия, например электромагнит, подпружиненный шток 14 которого поочередно взаимодействует через горизонтальный рычаг 15 с гребенчатым толкателем 16, а с другой сторо- 60 ны через вертикальный разноплечий рычаг

17 с многоярусным отсекателем 18. Движение вверх отсекатель 18 получает от привода 13, а движение вниз — под действием пружины 19. Толкатель 16 движе- 65

4 ние вперед получает от привода 13, à движение назад — под действием пружины 20, Отсекатель 18 размещен в направляющих корпуса 21 и удерживается от выпадания съемной прозрачной планкой 22 (фиг. 3).

При этом штифт 23 рычага 17 входит в отверстие 24 отсекателя 18, а ось 25 входит в паз скобы 26 ограничения хода отсекателя 18. В отсекателе 18 выполнены приемные пазы 27 для керамических стержней, которые поступают по каналам 28 корпуса 21. Ось отверстия 24 перпендикулярна пазам 27. Подающий механизм устанавливается выходными каналами 29 в вертикальной плоскости приемными пазами 27 и прозрачной планкой 22 к оператору.

Работает подающий механизм следующим образом. При срабатывании привода

13 шток 14 через рычаг 15 воздействует на гребенчатый толкатель 16, Одновременно шток 14 прекращает воздействие на рычаг

17. Толкатель 16 получает движение вперед, а отсекатель 18 — движение вниз под действием пружины 19. В верхнем положении отсекателя 18 в его пазы 27, в которые выходят иглы 30, из каналов 28 поступают керамические стержни 31. В нижнем положении отсекателя 18 иглы 30 толкателя 16 воздействуют на керамические стержни и досылают их в каналы 29 корпуса 21.

При отключении привода 13 шток 14 и толкатель 16 под действием пружины 20 движутся в обратном направлении. Отсекатель 18 остается неподвижным, пока иглы 30 не выйдут из пазов 27. Только после этого шток 14 воздействует на рычаг 17 и поднимает отсекатель 18. При этом пазы

27 отсекателя 18 совмещаются с каналами

28 корпуса 21 и заполняются керамическими стержнями, Настройка хода отсекателя

18 для совмещения пазов 27 с каналами 28 и 29 в крайних положениях осуществляется регулировочными гайками. Гайка 32 ограничивает движение отсекателя вверх, гайка 33 ограничивает движение отсекателя вниз (фиг. 3).

Привод вращения (фиг. 4) содержит корпус, внутри которого размещен вертикальный червяк 34, взаимодействующий с червячными шестернями 35, закрепленными на двух, совмещенных в вертикальной плоскости, шпинделях 36. Червяк 34 связан с закрепленным на корпусе электродвигателем 37.

Работает привод вращения следующим образом.

При включении электродвигателя 37 червяк 34 передает движение шестерням 35 и шпинделям 36 с закрепленными в них реакционными трубками. Шпиндели враща ются непр ер ыв но.

Питатель (фиг. 5) содержит эластичную, например полиэтиленовую трубку 38, на концах которой закреплены втулка 39 и штеккер 40 (фиг. 6, 7). Выходные каналы

524231

Фиг. 1

5 вибрационного загрузчика снабжены втулками 41, аналогичными втулке 39 (фиг. 7, 9). В гнездах втулок 39 и 41 размещено пружинное кольцо 42 с усом 43 (фиг. 8).

Входные каналы подающего механизма снабжены штеккерами 44, аналогичными штеккерам 40.

Штеккеры 40 и 44 имеют проточку 45 под пружину 42 (фиг. 9, 10).

Разъем питателя с вибрационным загрузчиком образован втулкой 41 с пружиной

42 и штеккером 41.

Разъем питателя с подающим механизмом образован втулкой 39 с пружиной 42 и штеккером 44.

В рабочем положении питателя штеккер

40 вставлен в гнездо втулки 41 (фиг. 6), а втулка 39 надета на штеккер 44 (фиг. 7).

При этом пружина 42 западает в проточки

45 штеккеров и фиксирует питатель в ра- 2О бочем положении. В этом положении ус 43 пружины 42 отжат.

Работает питатель следующим образом.

В рабочем положении питателя керамические стержни беспрепятственно движутся из 25 вибрационного загрузчика в подающий механизм. При расцеплении питателя с подающим механизмом (фиг. 10) ус 43 пружины 42 во втулке 39 освобождается и перекрывает выходное отверстие питателя, 30 препятствуя движению керамических стержней 46.

При расцеплении питателя с вибрационным загрузчиком (фиг. 9) во втулке 41 освобождается ус 43 пружины 42 и перекры- 35 вает выходные отверстия загрузчика, препятствуя движению керамических стержней 46, Для прекращения подачи керамических стержней достаточно расцепить питатель с подающим механизмом. При этом стержни, накопившиеся в питателе, удерживаются усом 43.

При работающем вибрационном загрузчике питатель можно снять. При этом стержни в загрузчике удерживаются усом

43 пружины 42.

Формула изобретения

Устройство для осаждения резистивного слоя на керамические заготовки резисторов, содержащее вибрационные загрузчики, подающий механизм, питатели, соединенные с вибрационными загрузчиками, многоканальную печь с жаровыми трубами и реакционными трубками со шпинделями, приводы вращения реакционных трубок, систему подачи газа в трубки и блок управления, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности оно снабжено блоком стабилизации температуры исходного реагента, а подающие механизмы и приводы вращения реакционных трубок размещены симметрично относительно жаровых труб, причем подающий механизм снабжен приводом возвратно-поступательного перемещения в виде штока, один конец которого через двуплечий рычаг соединен с толкателем, служащим для подачи керамических заготовок, а другой конец — с отсекателем для тех же заготовок.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент США № 3705056 по кл. 118-48 от 1972 r. (прототип).

52423I ение

Фиг 5 миг Р

Фиг р

Фиг (0

Корректор Л. Тарасова

Техред В, Рыбакова

Редактор Б. Федоров

Заказ 1683/11 Изд. № 329 Тираж 921 Подписное

НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 Мф.