Двухмерный компаратор

 

Со Советских циалисти4еских

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

" }530170 (61} Дополнительное к авт. свил-ву(22) Заявлено 13.08.74 (21) 2052418128 с присоединением заявки № (51) М. Кл.

G 0l В 9/08

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам иэаоретений и открытий (23) Приоритет— о (43) Опубликовано30.09,76,Бюллетень № 3 (53) УДК 531..715..27(088,H) (45) Дата опубликования описания 05,11,76 (72) Авторы изобретения

А. П. Грамматин и A. А, Багдасаров

% юе (,.1

) (71} Заявитель (54) ДВУХМЕРНЫЙ КОМПЛРАТОР

Изобретение относится к оптико-механическим устройствам, предназначено для .сравнительных линейных измерений и мо.жет быть использовано при сравнении рисунков двух фотошаблонов, применяемых в производстве микроэлектронных схем.

Известны двухмерные компараторы с перемещающимися микроскопами и непод вижным предметным столом или с неподЪиж . |ми микроскопами и перемещающимся

: предметным столом

Наиболее близким по технической сушности к предложенному изобретению являе "ся двухмерный компаратор, содержащий двухкоординатный стол, визуаЛьную оптичес кую систему, осветительное устройство и проекционную оптическую систему, состоящую из двух объективов микроскопа, двух оборачиваюших ахроматических линз, прямоугольной призмы с крышей, призменной, оборачивающей системы,, деформированной призмы, двух прямоугольных призм.

Недостатком таких коМпараторов является невозможность соблюдения принципа компарировапия Аббе при сравнении линейных о

2 размеров рисунков-двухмерных обьектов для одного из направлений (перемещения, Это снижает точность измерения.

С целью повышения точности измерения

:предлагаемый компаратор снабжен жестко

I:âÿçàíHûì с двухкоординатным столом плоским зеркалом, расположенным между цефорt ированной призмой и призменной оборачиваюа

1цей системой, плоскость которого параллельна плоскости двухкоординатного стола и наклонена к оптической оси проекционной системы под углом не,менее 75 а ви4уаль;ная оптическая система выполнена из двух симметричных проекционных оптических систем.

На чертеже изображена оптическая схема предлагаемого двухмерного компаратора, В компараторе сравниваемые объекты 1 и 2 „ расйоложены один над другим на двухи координатном столе 3 так, что идентичные точки объектов находятся на одной прямой, перпендикулярной плоскости стола, Проек, ционая оптическая система переносит изоб1 ражение одного из объектов в однократном масштабе на поверхность другого. Она сос530170 тоит из двух объективов 4 и 5 микроскопа с длиной тубуса, равной бесконечности, установленных над объектами 1 и 2. Между объективом 4 микроскопа и оборачивающей ахроматической линзой 6 установлена прямо- 5 угольная призма 7 с крышей, которая введена в схему для обеспечения расположения объективов 4 и 5 строго один под другим на одной оси, перпендикулярнойплоскооти стола, т. е. для компенсации "увода оптической оси призменной оборачивающей системой Я Малафеева-Порфо Ц рода, установленной за объективом 5 микроскопа.

Между призменной системой 8 и второй оборачивающей ахроматической линзой 9 проекционной системы расположена деформированная призма 10, обеспечивающая наклон оптической оси системы по отношению к плоскому зеркалу 11, жестко связанному со столом 3. Прямоугольные призмы 12 и З1

13 служат для излома хода лучей в проекционной оптической системе.

Освещение ведется в проходящем свете через световод 14, выходной торец которогс совмещен с передней фокальной плоскостью @ линзы 15, склеенной с прямоугольной призмой 16, что обеспечивает телецентрический ход луча в пространстве предметов и изображений проекционной системы.

Для одновременного наблюдения двух щ различных участков объекта служат две одинаковые симметричные проекционные оптические системы, объединенные в визуальный канал. Он состоит из призмы-куба 1 7, прямоугольных призм 12 и 13, двух зеркал 18 и 19, прямоугольной призмы 20 и окуляр-микрометра 21, в поле зрения которого проектируются изображения, созда-. ваемые объективами, причем в одну половину поля зрения окуляр-микрометра попадают изображения от первой пары объективов, а в другую — от второй.

Изобретение позволяет увеличить допустимые развороты координатного стола вокруг осей, лежащих в его плоскости, и ускорить процесс взаимной ориентации рисунков объектов.

Формула изобретения

Двухмерный компаратор, содержащий визуальную оптическую систему, двухкоординатный стол, осветительное устройство и проекционную оптическую систему, состоящую из двух объективов микроскопа, двух оборачивающих ахроматических линз, прямоугольной призмы с крышей, призменной оборачивающей системы, деформированной призмы, двух прямоугольных призм, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения точности измерений, он снабжен плоским зеркалом, жестко связанным с двухкоординачным столом и расположенным между деформированной призмой и призменной оборачивающей системой, плоскость зеркала параллельна плоскости двухкоордннатного стола и наклонена к оптической оси проекционной о системы под углом не менее 75, а визуальная оптическая система выполнена из двух симметричных проекционных оптических систем.

Редактор Н. Хубларова

Составитель 9. Клы;повз

Техред Л . Левицкая .орректор H. Бугакова

:Ъказ 5215/670 Тираж BGC Подписное

ЦНИИПИ Госудапствевного мъхтета ов;та Мкистров СССР це диаЛ ааа Иа @рЕар уИ И О-р»;, Ь: п) ц

1 1 3035„Москва, Ж-,-а5, Раутпскаи и" б.и д, 4/5

Филиал ППП Гатеии . е. Улэрел. ул. Праеятлаи, 1