Компенсационный окуляр микропроектора

 

ГСЕСЫзидт)

ПАТЕПТГР

,-1

О П И А™йй И Е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Социалистииеских

Республик (») 538323

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт, свид-ву (22) Заявлено18.06.75 (21) 2146418/10 с присоединением заявки № (23) Приоритет— (51) М Кл 02 В 25/ОС

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изооретений и открытий (43) ОпУбликовано05.12 76Бюллетень ¹45 (53) УДК 535.824.1 (О88,8 ) (45) Дата опубликования описания17.03,77 (72) Авторы изобретения

А. П. Грамматин и Л. П. Фелькина (71) Заявитель (54) КОМПЕНСАЦИОННЫЙ ОКУЛЯР МИКРОПРОЕКТОРА

Изобретение относится к технической физике, а именно к оптике, в частности к микроскопам и микропроекторам для исследования готовых микросхем выполненных на отдельных кристаллах путем визуального обнаружения дефектов на поверхности этих микросхем.. Минимальный размер дефектов достигает единиц микрон.

Известны компенсационные окуляры, состоящие из полевой и глазной линз и размещенной между ними полевой дифрагмы.

Окуляр имеет сложную конструкцию.

Позади полевой диафрагмы расположен отрицательный компонент, перед глазной линзой, состоящей из положительной и отрицательной линз, расположен положительный компонент, одна из поверхностей которого выполнена параболической (1 J.

Известны также окуляры, имеющие аналогичную конструкцию и неисправную кривизну изображения и хроматизм увеличения, меняющийся по полю (2) и (3).

Из известных окуляров указанного типа наиболее близок к предлагаемому изобретению компенсационный окуляр, состоящий из двух компонентов, каждый из которых склеен из положительной и отрицательной линз и размещенной между ними полевой диафрагмы E4), Окуляр имеет неисправленные кривизну изображения и дисперсию, что недопустимо при использова10 нии в микропроекторах высокой точности.

Целью изобретения является устранение дисперсии и улучшение качества изображения по полю.

15 Достигается это тем, что в известном окуляре, содержащем склеенные из положительной и отрицательной полевую и глазную линзы, между которыми размещена полевая диафрагма, позади полевой диафрагмы установлен апланатический менисковый компонент, склеенный из двояковогнутой и двояковыпуклой линз, выполненных из материалов с разностью показателей прелом,ления порядка 0 — 0,05 и разностью коэф25 фициентов дисперсии порядка 15-25.

538323

Составитель В. Ванторин

Редактор A. Гончарова Техред А.Демьянова Корректор B. Зорина

Заказ 5717/27 Тираж637 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113О35, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

На чертеже дана схема оптики окуляра.

Окуляр состоит из шести линз 1-6, образующих четыре компонента.

Линзы 1, 2 объединены в один компонент, представляющий собой полевую линзу окуляра, линзы 5, 6 объединены в компонент, представляющий глазную линзу окуляра, линзы 3, 4 объединены в компонент, представляющий собой менисковый апланатический компенсатор.

Описываемый окуляр как в центре поля, так и на краях его при 3 = 150 мм дает изображение высокого качества. Наличие хроматизма увеличения до 0,7 % позволяет использовать его для совместной работы с ахроматическим объективом микропроектора.

Формула изобретения

Компенсационный окуляр микропроектора, содержащий склеенные из положительной и отрицательной полевую и глазную линзы, между которыми размещена полевая диафрагма, о т л и ч а ю ш и и с я тем, что, с целью устранения дисторсии и улучшения качества изображения по полю, позади по— левой диафрагмы установлен апланатический менисковый компонент, склеенный из двояковогнутой и двояковыпуклой линз, выполненных из материалов с разностью по10 казателей преломления порядка 0-0,05 и разностью коэффициентов дисперсии порядка 15-25.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1 „Авторское свидетельство СССР № 207790, покл. G.02 В 25/00, от1968г.

2. К. Михель. Основы теории микроскопа, Гос. изд-во технико-теоретической литерат пы, 1955 г. стр. 178.

3. Скворцов Г. Е, и др. Микроскопы, "Машиностроение 1962 r., стр. 237, 4,Breckheus АВС der OpMk VEB

7.А В1 ОСКЪаиэ Ver(ay, ЬeiPzig.