Интерферометрическое сканирующее устройство
545876
Се!оз Советскик
Социалистических
Ресгуйлик (61):loiio."i JITHTJHJIoå " авт. спид-!и, ——
{22) Заявлено 18.08.75 (21) 2170521!!25, М.1х, ° О 011 306 с присоединением заязки—
Государственный комитет
Совета Министров СССР ло делам изобретений и открытии (23) Приоритет ——
{43) Опубликовано 05,02.77. I!Joллстс!!ь ¹ 5
{ 5 ) > Д 1; 535.854 (088.8) ,45) Дата оп б IIIIJH!JJHIIII51 описан. !я 10.03. 7 (72) Авторы изобретения
В. В. Архипов и H. К. Балаценко (7l) Заяь;!те»ь (54) ИНТЕРФЕРОМЕТРИЧ ЕСКОЕ СКАНИРУЮЩЕЕ
УСТРОЙСТВО
Изобретение относится к технической физике, в частности к интерференциоштым приборам, предназначенным для сканирования спектра при спектральном анализе оптического излучения.
Известно интерферометрическое сканирующее устройство, используемое в Фурье-спектромстре типа ИТ-69, содержащее светоделитель, неподвижное и подвижное зеркало, привод подвижного зеркала, винтовую пару, состоящую из винта и гайки, подвижное зеркаIo установлено па гайке, привод соединен с винтом (1).
Сканирующее устройство в ИТ-69, обеспечивая большие величины изменеш!я разности ход», имеет невысокую скорость скапироватгпя, обусловливая низкую производительность Фурье-спектрометра.
Ближайшим к предлагаемому устройству !!о технической сущности является иптерферометрическос сканирующее устройство, использованное в Фурье-спсктрометре модели FTS14 фирмы «Di< il lb». Опо содержит зеркало иитерферометра со средством для его перемещения вдоль направления светового луча, в iiio!»JOIIHI J I в ви..те поплавка, соединенного с приводом и размещенного внутри пеподвижной детали — статора, и источник сжатого газа (2).
Такое сканирующее устройство обеспсчивает большие велич!шы изменения разности хода при высоких скоростях сканирования.
Недостатками этого сканирующего устрой5 ства является то, что сжатый газ подводится к попзавкт через Гиокпй шланг, который прикладывает дополнительное переменное усилие к поплавку и затру.зпяет его перемещение, создавая наклоны зеркала и ухудшая статО бпльпость скорости сканирования, сложная конструкция поплавка и трудности при полу-! сипи трсоусмой ToilIIocTJI его изготовления и обеспечения чистоты рабо ипх поверекпостей кn Jic rpp кции. Кроме того, при иерем сщешти
l5 поплавка гибкий шланг непрерывно деформируется и может выйти из строя, приводя
Фурье-спсктрометр к потере работоспособности..: ти !1Сдостеттки приводят K понижению
To !ности скетнпровапия, надежности раооты
2о и умеJJHLHOHIIJo контрастности !интерференционной картililbl, а cледоватсльпо, к понижеJIiiIo спектрального разрешения Фурье-спектромстра, надежности его работы и точности измеряемого спектра.
25 Цель изобретения — повышение точности ска!тировапия I! надежности устройства в та-! оо гс.
Для этого в предлагаемом устройстве статор иыполпсп Hî Jiiì, io гпутрсппяя стенка
Э
Ооращепиая к поплавку, снабжена Отвсрстия545876 ми наддува, а полость статора соединена с источником сжатого газа.
На чертеже изображена функциональная схема пнтерфсрометрического сканирующего устройства.
Устройство содержит светодслитель 1, неподвижное 2 II подвиж!юе зеркала, подвижную деталь — поплавок 4, привод 5 подвижного зеркала, например, электродинамического типа, неподвижную деталь — статор 6, цилиндрическую полость 7 в корпусе статора, источник 8 сжатого газа, шланг 9, отверстия наддува 10.
Интсрфсрометрическое cE При включении прибора сжатый газ от источника 8 через шланг 9 подается в цилиндрическую полость 7 статора б. Из полости через отверстия наддува 10 сжатый газ поступает в зазор между статором и поплавком и создаст в зазоре рабочее давле!шс,около 2 ат.!!), под действием которого поплавок 4 оказывается во взвешенном состоянии и способным без трения перемещаться вдоль статора под действием привода 5, обеспечивая равномерное перемещение подви7кного зеркала 3, что сопровождается сканированием оптического пзг!у. !ения, которое прп поступлении на свстоделитель 1 разделяется пм на два потока, направляемых на неподвижное 2 и подвижное 8 зеркало. Перемещением подвижного зеркала обеспечивается изменение разности хода между спектральными составляющими обоих потоков. Отраженные от зеркал потоки рекомбинируют светоделитслем и создают в месте наблюдения псременну:о интерферепционную картину — результат группировапия спектральнь!х составляющих потока по разности ходя, что является целью ряботы интерферометрического сканирующего устройства. Данное интерферометрическое сканирующее устройство по сравнению с известными 5 устройствами обладает более высоким быстродействием и большей величиной изменения разности хода, что позволяет обеспечить высокую производительность и спектральное разрешение Фурье-спектрометров, Зффектив10 ность устройства обеспечивается также меньшим весом подвижной части — поплавка, что приводит к меньшему расходованию энергии привода подвижного зеркала, вследствие иск;»0«cEIEIEE дополните !I I!0!0 усилия, создавае-! 5 мого гибким шлангом при движении. Формула изобретения Интерферометрическое сканирующее уст20 ройство, содержащее зеркало интерферометра со средством для его перемещения вдоль направления свстового луча, выполненным в виде поплавка, соедппенно;о с приводом и размещенного внутри пеподвиж дстал и— статора, и источник сжатого газа, о т л и ч а ющ е се я тем, что, с це.!ью повышения точности сканирования и надежности pl0 в работе, статор выполнен полым, е!о и!утренняя стенка, ОоpEIEEIе!!E!ая к поила!!ку, сIIE!бы0!Iя О! всIE— 30 стиями наддува, а полость статора соединена с источником сжатого. газа. Источники !и!формации. принятые 30 внимание при экспсртпзс изобретения: 1. КНсс.!åâ С. А., Пуписип Ю. J,. Фурьеспсктрометр, ОЛИМП, 1966, М 8, с. 83 — 87. 2. Описание Фурье-спсктрометра модели FTS-14 фирм!.! «1)!»!!аЬ», 1970 — прототип.
