Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы

 

ОП ИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДВТИЛЬСТВУ пп 558065

Союз Советемих

Соцмалмсммесник

Ркдубттик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 18.02.75 (21) 2110736/02 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 15.05.77. Бюллетень № 18

Дата опубликования описания 22.07.77 (51) М. Кл С 23С 11/02

С 23С 13/10 йсиврственный квмнтет

Савета Мнннстрав СССР ва делам нэобретеннй и аткрытнй (53) УДК 621.793.06 (088.8) (72) Авторы изобретения И. П. Дашкевич, К. С. Игнатьев, А. А. Холмушина, Б. Д. Воронин и А. М. Цирлин (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ

ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ

Изобретение относится к области получения покрытий из газовой фазы, в частности к устройствам, которые могут быть использованы для получения высокопрочных нитевидных материалов методом осаждения из газовой фазы на нагретую электропроводящую подложку.

Известно устройство для нанесения покрытий, в котором нагрев подложки осуществлен бесконтактно от источника питания тока высокой частоты посредством индуктора (1).

Данное устройство предназначено для обработки изделий с сечением не менее 2 мм, в связи с чем использование его при обработке нитевидных материалов диаметром 10—

20 микрон, пагреваемых до 1200 С, является не эффективным.

Известно также устройство для нанесения покрытий из газовой фазы, содержащее рабочую камеру с секциями отжига-очистки, нанесения покрытия, охлаждения и приема обработанного изделия, разделенными между собой шлюзовыми приспособлениями, перемоточный механизм, направляющие ролики и источник питания током высокой частоты (21.

Это устройство является наиболее близким техническим решением к предлагаемому изобретению. В устройстве подвод тока к нитевидному токопроводящему материалу осуществлен посредством направляющих роликов, по которым перемещается материал, и при помощи контактов из ртути, выполняющих при этом роль газовых затворов между секциями.

Однако при подводе тока непосредственно к направляющим роликам эксплуатация устройства осложнена тем, что для обеспечения надежного контакта нагреваемого материала, например проволоки диаметром 0,010—

0,012 мм с направляющим роликом, трудно

1О осуществить необходимое усилие прижима материала, посколы.у оно ограничено прочностью нагреваемого материала, а использование ртутных газовых затворов в качестве контактов ограничено тем, что наличие ртут15 ных контактов затрудпяет эксплуатацию устройств из-за то личности ртути, загрязняет рабочую среду и получаемый материал ухудшает его качество. Резкое охлаждение осажденного материала в местах контакта с

20 ртутью приводит к образованию нежелательной структуры.

Целью изобретения является улучшение качества наносимых покрытий и расширение ассортимента обрабатываемых изделий.

25 Поставленная цель достигается тем, что направляющие ролики секции отжпга-очистки и направляющий ролик секции охлаждения снабжены неподвижными металлическими пластинами, установленными в изоляторах па30 раллельпо роликам, а секция нанесения по558065

12 крытия снабжена подвижной металлической пластиной с регулирующим механизмом угла наклона и расстояния до оси обрабатываемого изделия, при этом металлические пластины подключены к источнику питания.

На фиг. 1 схематично изображено устройство, общий вид; на фиг. 2 — нояеречный разрез по А — А на фиг. 1; на фиг. 3 — принципиальная электрическая схема включения двух зон нагрева обрабатываемого изделия.

Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы содержит рабочую камеру с секциями отжига-очистки 1, нанесения покрытия

2, охлаждения 3 и приема обработанного изделия 4. Все секции рабочей камеры отделены друг от друга шлюзовыми приспособлениями 5.

В секции 1 отжига-очистки расположены подающая кассета 6 и направляющие ролики

7 и 8, которые образуют между собой зону 9 нагрева. В секции 3 охлаждения расположен направляющий ролик 10, между которым и направляющим роликом 8 образована зопа 11 нагрева. Секция 4 приема обработанного изделия снабжена перемоточным механизмом

12. Параллельно направляющим роликам 7, 8 и 10 в изоляторах 13 установлены неподвижные металлические пластины 14, которые совместно с указанными роликами образуют емкости 15, 16 и 17 (см. фиг. 3), подключенные к источнику 18 тока высокой частоты.

Снаружи вдоль секции 2 нанесения покрытия, выполненной в виде стеклянного цилиндра, расположена подвижная металлическая пластина 19, снабженная регулирующим механизмом угла наклона и расстояния до оси обрабатываемого изделия (на фигурах не показаны). Подвижная металлическая пластина

19 с обрабатываемым изделием в процессе работы образуют переменную емкость 20 для регулировки температуры в зоне 11 нагрева.

Устройство работает следующим образом.

Обрабатываемое изделие, например токопроводящую проволоку, с подающей кассеты

6 подают, огибая направляющие ролики 7, 8 и

10, через шлюзовые приспособления 5 на перемоточный механизм 12. Включают источник тока высокой частоты (от 0,5 Мгц до 20 Мгц) и систему газоснабжения (на фигурах не показана) . Температура нагрева обрабатываемого изделия определяется технологическим режимом осаждения и зависит от величины электрического тока, проходящего по нагреваемому материалу.

Равномерный нагрев обрабатываемого изделия с осаждением материала в зоне 11 нагрева достигается регулированием угла наклона и расстояния металлической пластины

19 до оси обрабатываемого изделия.

Устройство позволяет получать изделия высокого качества и значичельно расширяет ассортимент обрабатываемых изделий, позволяя обрабатывать длинномерные профили толщипой до 0,01 мм, Формула изобретения

Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы, содержащее рабочую камеру с секциями отжига-очистки, нанесения покрытия, охлаждения и приема обработанного из25 делия, разделенными между собой шлюзовыми приспособлениями, пер емоточный механизм, направляющие ролики и источник питания током высокой частоты, отличающеесяя тем, что, с целью улучшения качества наЗО носимых покрытий и расширение ассортимента обрабатываемых изделий, направляющие ролики секции отжига-очистки и направляющий ролик секции охлаждения снабжены неподвижными металлическими пластинами, ус35 тановленными в изоляторах параллельно роликам, а секция нанесения покрытия снабжена подвижной металлической пластиной с регулирующим механизмом угла наклона и расстояния до оси обрабатываемого изделия, при

40 этом металлические пластины подключены к источнику питания.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Авторское свидетельство СССР № 95013, 45 кл. Н 05b 5/08, 1952.

2. Патент США № 3452711, кл. 118 — 49,5;

1967.