Датчик влажности газов

 

„, 1 558203

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Соиз Советских

Социалистически»

Республик (0l) Дополнительное к авт. свид-; (22) Заявлено 29.12.75 (21) 2305220/25 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет

Опубликовано 15.05.77. Бюллетень № 18

Дата опубликования описания 20.0б.77 (51) М. Кл. G 01N 25/64

Государственный комитет

Совета Министров СССР (53) УДК 533.275(088.8) Ао аелам изобретений

H открытий (72) Авторы изобретения

В. Е. Савченко, Л. К. Грибова и Л. В. Вечерова

Ивановский научно-исследовательский экспериментальноконструкторский машиностроительный институт (71) Заявитель (54) ДАТЧИК ВЛАЖНОСТИ ГАЗОВ

Изобретение относится к физико-химическому методу анализа, а точнее к влагометрии.

Известен пьезосорбционный датчик влажности газов, содержащий пьезокварцевую пластину, покрытую металлизированным покрытием, выполняющим роль электродов, частично или полностью покрытым влагочувствительной пленкой.

Недостатком известных датчиков является их низкая чувствительность.

Наиболее близким техническим решением к предлагаемому изобретению является датчик, содержащий кварцевые пластины с электродами, покрытыми влагочувствительной пленкой, например, из раствора капрона в концентрированной муравьиной кислоте.

Недостатком указанного технического решения является невысокая влагочувствительность, что затрудняет определение влажности с достаточной точностью. Увеличение концентрации капрона позволяет несколько увеличить чувствительность датчика. Однако увеличение концентрации капрона затрудняет изготовление покрытия и уменьшает его прочность изза плохой адгезии, что ухудшает стабильность датчика.

Целью изобретения является повышение чувствительности датчика.

Это достигается в предлагаемом датчике путем нанесения между электродами и влагочувствительной пленкой слоя из твердых частиц материала, например талька.

Устройство состоит из пьезокварцевой пластины, металлизированных электродов и вла5 гочувствптсльного покрытия, частично или полностью покрывающего электроды, а между электродами и покрытиями содержится слой из частиц твердого материала, например талька.

10 При подведении к электродам высокочастотного напряжения резонансной частоты пьезокварцевая пластинка возбуждается и совершает механические колебания, которыепередаются через твердые части влагочувстви15 тельной пленки. Водяные пары сорбируются пленкой, изменяя экьивалентное сопротивление датч"êà,,по которому судят о влажности окружающей среды.

Твердые частицы увеличивают деформирую20 щие свойства пленки за счет увеличения коэффициента внутреннего трения, благодаря чему увеличивается влагочувствительность датчика при меньшей концентрации сорбирующего вещества в пленке. Уменьшение концент25 рации сорбирующего вещества в пленке уменьшает инерционность датчика и повышает его стабильность.

Таким образом, данное устройство позволяет повысить точность и стабильность измереЗЭ ний.

558203

Формула изобретения

Составитель А. Платова

Техред М. Семенов

Редактор И. Шубина

Корректор А. Степанова

Заказ 1160/4 Изд. № 430 Тираж 1106 Подписное

ЦНИИПИ Государствсш|ого комитета Совета Мпьнстров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4)5

Типография, пр. Сапунова, 2

Датчик влажности газов, включающий чувствительный элемент, выполненный в виде кварцевой пластины с электродами, покрытыми влагочувствительной пленкой, о т л и ч ающи и ся тем, что, с целью повышения чувствительности, между электродами и влагочувствительной пленкой содержится слой из

5 тверды;; частиц материала, например талька.