Способ измерения общей площади однородных по оптической плотности фигур

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВМДН ЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистииеских

Республик

559109 (61) Дополнительное к авт. свил-ву (51) P(. Кл

501 В 11/28 (22) Заявлено 22.05,75 (21) 2137143/28 с присоединением заявки № (23) Приоритет— (43) Опубликовано25.05.77.Бюллетень № 19 (45) .Дата опубликования описания 25.07.77

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений н открытий (53) УДК 531.715.2 (088.8) (72) Автор. изобретения

A. P. Шапошников (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ОБ1ЦЕЙ ПЛОЩАДИ ОДНОРОДНЫХ

ПО ОПТИЧЕСКОЙ ПЛОТНОСТИ ФИГУР

Изобретение относится к контрольноизмерительной технике, в частности к устройствам и способам измерения общей площади объектов различной величины и конфигурации, оптическая плотность которых отлична от оптической плотности фона.

Известны способы измерения общей площади фигур, заключающиеся в приближенном подсчете площадей отдельных фигур с последующим их арифметическим суммирова.— нием, в более точном определении пло..цадей тех же фигур с помощью, например, палеток, планиметра, интегрированием по контуру или интегрировапием IID части плошади, занятой фигурой, с последующим ариф- и метическим суммированием измеренных отдельных геометрических фигур t 1).

Однако эти способы отличаются длительностью определения общей площади фигур2п и существенными погрешностями, зависящими как от самой методики определения (в случае приближенных методов расчета площадей отдельных фигур), так и от ошибок оператора при измерении. 25

Кроме того, эти способы сложны, дорогостоящи и не позволяют получать общую площадь отдельных фигур на определенном фоне.

Известен способ измерения общей плошади однородных по оптической плотности фигур, расположенных на однородном и от личном по оптической плотности фоне, заключающийся в том, что производят сканирование кадра со всего объекта, т,е. с фигур и с фона, и преобразование световых сигналов в электрические сигналы, которые затем преобразуют в код и производят его интегрирование, из которого определяют величину, чину, пропорциональную площади объекта (21.

Однако известный способ требует применения сложного и дорогостоящего оборудования (сканирующий микроскоп с микрс зондом, устройство для преобразования световых сигналов в электрические сигналы, устройство для преобразования электрических сигналов в код "1" — 0, интегрирующее устройство), что приводит к усложнению процесса измерения.

559109

Составитель Л. Лобзова

Редактор М. Рогова Техред А. Демьянова Корректор П. Макаревич

Заказ 1483/93 Тираж 907 П одписцое !!!!ИИ!!И Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ув-35, Рвускак паб., а. 4У5

Филиал ППП "Г!атент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Кроме того, точность известного способа связана с плотностью сканирования кадра и потому является недостаточной.

11елью изобретения является упрощение измерения и повышение точности. 5

Это достигается тем, что измеряют в проходящем свете освещенность E поля, имеющего оптическую плотность, одинаковую с плотностью фона, освешенность Е поля, I имеющего оптическую плотность, одинако- 10 вую с плотностью фигур, а также освещенlf ность Е поля, образованного фигурами и фоном, площади освещаемых полей одинаковы, освещение их постоянно, и общую площадь 9 х фигур находят по формуле 15

Е-Е" где 5 — площадь поля, образованного фигурами и фоном.

Измерения по предлагаемому способу

>осуществляют с применением любого стабилизированного источника света и люксметра.

Для нахождения общей площади металлизации интегральных микросхем и соответ» 25 ствующего расхода золота, применяемого в качестве контактного металла и повышающего допустимую плотность тока, определяют площадь полупрозрачных участков так называемого "цветного" фотошаблона с рисунком, соответствующим металлизации на микросхеме.

Определение площади производят с помощью часового проектора ЧП-2, имеющего предметный столик со стеклом, устройст-З5 во перемещения предметного столика, источник света и экран, а также с помощью люксметра 10-16. "цветной" фотошаблон представляет собой стеклянную пластину из особочистого стекла с высокой степенью обработки поверхности и рисунком, выполненным приемами фотолитографии на планке окиси железа. Размеры рабочего поля фотошаблона, представляющего собой чередование различных по оптической плотности

2 участков, составляют примерно 1600 мм.

При измерениях фотошаблон кладут на светочувствительный элемент люксметра рабочей стороной вниз, Положение предметного столика и светочувствительного элемента фиксируют. Для определения общей площади участков, покрытых пленкой окиси железа, измеряют на часовом проекторе ЧП-2 освещенности Е, !

Е, Е предметного столика при прохождении света через пластину без всякого покрытия толщиной, равной толщине пластины фотошаблона, зону фотошаблона, полностью покрытую пленкой окиси железа, и рабочую область фотошабл она.

Площадь всех участков элемента фотошаблона, покрытых пленкой окиси железа, находят по указанной выше формуле.

Измеренное значение площади полупрозрачных участков фотошаблона используют для определения режима гальваники при изготовлении металлизации интегральных схем на основе золота.

Формула изобретения

Способ измерения общей площади однородных по оптической плотности фигур, расположенных на однородном и отличном по оптической плотности фоне, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью упрощения измерения и повышения точности, измеряют в проходящем свете освещенность Е поля, имеющего оптическую плотность, одинаковую с плотностью фона, освещенность Е поля, имеющего оптическую плотность, одинаковую с плотностью фигур, а также освещенtl ность Е поля, образованного фигурами и фоном, пло.цади освещаемых полей одинаковы, освещение их постоянно, и общую плс щадь х фигур находят по формуле

Sx -8

Е б где 9 -площадь поля, образованного фигурами и фоном.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1, Крылов А. H. "Лекции о приближенных вычислениях", М-Л, 5 изд„т, 4, 1950, 2. Авторское свидетельство СССР

М 336509, M. Кл. Q 01 В 11/28, 1970 (прототип) .