Способ соединения металла со стеклом

 

ОП ИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

fl f, 563372

Союз Советских

Социалистимеских

Республик " (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 02,07.74 (21) 2039723 33 (51) М. Кл. - С 03С 27 04 с присоединением заявки № (23) Прйоритет

Гасурарстееиеый каметет

Совета Мниестрав СССР ао делам ваааретенее и аткРмтиЙ

Опубликовано 30.06.77. Бюллетень М 24

Дата опубликования описания 29.08.77 (53) УДК 666.1.037.5 (088.8) (72) Авторы изобретения

Л . Ф. Бондарев, А. А. Киселев, В. В. Турунцов, H. С. Скщщы. и Ю. E. Пафомов

0 7 г ф. ю (71) Заявптель (54) СПОСОБ СОЕДИКЕНИЯ 1ЧЕТАЛЛА Со СТЕ!<ЛОМ

Изобретение относиеся к области электрорадиоэлементов, прим няемых в микроэлектронной аппаратуре, и может быть использовано при создании металлостеклянных вакуумноплотных разъемов,и корпусов для герме- 5 тизации микросхем и полупроводниковых приборов.

Из вестен способ соединения металла со стеклом с соответствующей подготовкой деталей, спаиванием и с последующим покры- 10 тием металлостеклянных у.злов, где сталь применяют в сочетании сталь — стекло — ковар, а молибден — в сочетании титан — нержавеющая сталь — стекло — молибден 11).

Известен также наиболее близкий к изобре- 15 тению способ соединения металла со стеклом путем спаивания их с предварительным нанесением на металл промежуточного слоя с последующим обезгаживанием в вакууме j2j, Недостатком известных способов является ,их неприменимость для спая деталей из стекла со сталью и молибденом.

Цель изобретения — обеспечение сная деталей из стекла со сталью и молибденом.

3То достигается тем, что в качестве промежу.тО lноl о слОя используют золото или никель, а обезгаживание осуществляют при температуре на 10 — 20 С выше температуры спаивания в течение 5 — 15 мин при вакууме

10 — — 10 — мм рт. ст. Толщина промежуточно- 3.1 го слоя 12 — 18 мк.

Спосоо осуществляк;. следующим образом.

Корпуса металлостеклянных узлов, например разъемов, выполняют из малоуглеродистой cTB;Ill, а 1 .Онтакты — II3 молибдена, причем корпуса перед спаиванием со стеклом покрывают гальваническим н11келем, а контакты — золотом толщиной 15 мк и обезгаживают в вакууме 10 —" мм рт. ст. при температуре 970" С,в течение 10 мин.

Стеклотаблетки изготавливают резкой капилляров из монолитного стекла или прессованием из пресс-порошка. Далее проводят сборку металлических деталей со стеклотаблетками в графитовой оснастке. Спаивание осуществляют в токе аргона при 940 — 960 С

15 — 30 мин. Охлаждение с печью до 150—

200 С. ,Чолибден применяют только в виде проволоки. Контакты сложной формы делают составными. состоящими из покрытого молиб. ценового штыря, запрессованного в никелевую трубку пли головку. В процессе обезга. живания происходит диффузионное соединение составных частей контакта.

11реимущество предлагаемого способа заключается в использовании спая сталь — стекло — молибден.

Способ выгодно улучшает следующие характеристики спая металла со стеклом с точки зрения применения для электрических разъемов: снижает контактное сопротивление

563372

Формула изобретения

Составитель С. Белобокова

Техред 3. Тараненко

Корректор Л. Брахнина

Редактор Т. Кузьмина

Заказ 1688/21 Изд, Хз 571 Тираж 585 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

1I3035, Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 до 0,003 Ом; повышает влагоустойчивость до

30 и более суток; повышает сопротивление изоляции до 10 МОм; снижает натекание спaÿ до 10 — л.мкм рт. ст./сек; обеспечивает пайку молибденовых контактов мягкими припоями и улучшает сцепление покрытия с основным металлом, Способ соединения металла со стеклом путем спаивания их с предварительным нанесением на металл промежуточного слоя с последующим обезгаживанием в вакууме, о т4 л ич а в щи йся тем, что, с целью обеопечения спая деталей из стекла со сталью и молибденом, в качестве промежуточного слоя используют золото или никель, а обезгажи5 вание осуществляют при температуре на 10—

20 С выше температуры спаивания в течение

5 — 15 мин при вакууме 10 — 4 — 20— - з мм рт. ст.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

10 1. Типовые технологические процессы. Соединения металло-стеклянные вакуумплотные, ОСТ 4.20.054, 004, 2. Авт. св, Хо 243797, кл. С 03 с 27/02, 1968.