Интерферометр для контроля погрешностей формы вогнутых сферических поверхностей

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕ е ЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (") 56452О (6!) Дополнительное к авт. саид-ву (22) Заявлено 17.02.75 (21) 2107043/28

2 (51) М. Кл.

501 В 9/02 с присоединением заявки №вЂ”

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет (43) Опубликовано 05.07.77.Бюллетень № 25 (45) Дата опубликования описания 19.08.77 (53) У Д К 53 1. 7 1 5, 1 (088,8) В. А. Зверев, П, В, Орлов, С. Л, Родионов, М. Н. Сокольский и В, К. Кирилловский (72) Авторы изобретения (71) Заявитель

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть исполь зовано для оценки погрешностей формы вогнутых сферических поверхностей, Известно устройство для контроля по- в грешностей формы вогнутых сферических поверхностей, например, неравноплечий ин- терферометр, построенное по двухпучевой схеме и содержащее эталонную и рабочую ветви. !О

Недостатком данного устройства является его невысокая стабильность и чувствительность к вибрациям и изменению температуры окружающей среды.

Известен также интерферометр дпя 15 контроля погрешностей формы вогутых сферических поверхностей, содержащий осветитель, последовательно установленные по ходу луча объектив, рассеивающую пластинку, устанавливаемую в центре кривизны и симметрично оптической оси контролируемой поверхности, и наблюдательную оптическую систему, плоскость изображения которой оптически сопрягается с контролируемойй повер хи остью. 2с

Недостатком данного устройства являет ся наличие на интерферограмме фоновой засветки, возникающей из-за использования пропускающей рассеивающей пластинки, Это затрудняет расшифровку интерферограмм и снижает точность измерений.

1Лелью предлагаемого изобретения является повышение точности измерений.

Поставленная цель достит ается тем, что интерферометр снабжен. сферическим зеркалом, центр которого совпадает с точечным изображением осветителя,а рассеивающая пластинка выполнена отражаюшей.

На чертеже изображена схема предлагаемого интеоферометра, Интерферометр содержит осветитель 1, о&ьектив 2, отражающую рассеивающую пластинку 3, устанавливаемую в центре кривизны зеркала 4, сферическое зеркало

5 с отверстием, расположенное так, что

его центр совмещен с тсчечным источником О, В оптическую схему интерферометра входит наблюдательная оптическая система 6, состоящая из плоского зеркала и двояковыпуклой линзы, которая переносит (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПОГРЕШНОСТЕЙ

ФОРМЫ ВОГНУТЫХ СФЕРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ

5645 20 изображение интерференционной картины в плоскость наблюдения 2, где интерференционная картина анализируется.

Работает устройство следующим образом. Свет иэ осветителя 3; проектируется в точку 0 и далее, проходя объектив 2, нв, рассеиваюшую пластинку 3, B каждой точке пластинки ." происходит разделение светового .луча на две составляюшие: нерассеянную I строяшую изображение источника 0 в точ-, ке О, и рассеянную П, освешаюшую

f контролируемую поверхность зеркала 4 в любой точке, в том числе и в точке К, Точка 0 находитя в вершине контролируемой псверхности зеркала 4, а центр рассеиваюшей пластинки 3 находится на оптической оси контролируемой поверхности и совмещен с центром ее кривизны. (Отражение без рассеяния обозначено на чертеже белой стрелкой, а отражение с рассеянием - черной). После .отражения от зеркала 4 основной и рассеянные лучи

I и IE, исходящие из одной точки, например из точки В рассеивающей пластинки 3, возврашаются на рассеиваюшую пластинку 3 в точку В,симметричную точке

В относительно. центра симметрии А пластинки 3. далее луч, пришедший из точки К, разделяется йа нерассеянную составляющую П, которая направляется объективом 2 в тач-.

I ку К на поверхности зеркала 5, сопряженную с точкой К, и рассеянную составляюшую ЕЕ, обладаюшую величиной второго порядка малости и создающую вторичный фон. Луч, пришедший от точки 0 в точку

В, разделяется на нерассеянную составляюшую!, которая строит изображение точки 0 в отверстии зеркала 5, и рассеянную. составляюшую 1, один из лучей которой совпадает по направлению с лучом

IE, т.е. попадает в точку К . Таким обраI зом, в точке К интерферируют лучи I и!!.

Аналогичным образом в других точках на поверхности зеркала 5 происходит интерференция лучей, отраженных от других точек контролируемого поверхности зеркала

4 с лучами, отраженными от точки 0 .

Интерференционная картина, созданная на поверхности зеркала 4 с помощью наблюдательной оптической системы 6, переносится в плоскость наблюдения 7, rpe она анализируется. По виду интерференцион. ной картины определяются ошибки формы контролируемой поверхности.

29

Формула изобретении

Интерферометр для контроля погрешностей формы вогнутых сферических поверх25 ностей, содержаший осветитель, последовательно установленные по ходу луча объектив, рассеиваюшую пластинку, устанавливаемую в центре кривизны и симмет» рично оптической оси контролируемой поЗО верхности, и наблюдательную оптическую систему, плоско уь изображения которой оптически сопрягается с контролируемой поверхностью, о т л и ч а ю ш и и с я тем, что, с целью повышения точности из»

З5 мерений, он снабжен сферическим зеркалом, центр которого совпадает с .точечным изображением осветителя, а рассеивающая пластинка выполнена отражающей.

5645 20

Составитель. А. демьянова

Редактор О. Иванова Техред О. Дуговая Корректор. С Патрушева

Заказ 2135/206 Тираж . 907 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета. Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„д. 4/5

Филиал ППП "Патент, r. Ужгород ул. Проектная, 4