Состав для химического травления алюминия

 

О П И С А Н И Е (ц1 666ÎÁÇ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Сев Севетекнх

Сеананнетнчееннн реепублнк

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 26.11.73 (21) 1078469, 21 (51) М. Кл. С 09К l3/00

С 23F l/00 (23) Приоритет — (32) 28.11.72 (31) % РС 23fj167104 (33) ГДР .(4 )) Опубликовано 15.07.77. Бюллетень ¹ 26 153) УДК 621.7(088.8) (45) Дата опубликования описания 20.10.77

Гецааретвенный комнтет

Сенета Мнкнстров СССР

%I аеаэм нзебретеннй н аткрытнй (72) Авторы изобретения

Иностранцы

Рольф Унгер, Ханс Дарч, Шарлотте Рабе, Вольфганг Баумбах и Лотар Кунерт (ГДР) Иностранное предприятие

<ФЭБ Фотохемнше Верке Берлин» (ГДР) (71) Заявитель (54) СОСТАВ ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ

АЛЮМИНИЯ

Изобретение относится к технологии изготовления металлических структур из алюминия, в частности, с помощью изготовленных фотолитографическим способом масок.

Известен состав для химического травления, преимущественно селектпвного, содержащий соединение с щелочной реакцией, цианокомплексную соль трехвалентного железа и растворитель.

Однако данный состав имеет недостаточно стабильную химическую активность, С целью стабилизации химической активности за счет его саморегенсрации предлагаемый состав для химического травления алюмн.-:ня дополнительно содержит тносульфат па р fH и смачнвающее средство, в. качестве цианокомплексной соли трехвалентного железа использованы железосинеродпстый калий пли ннтропруссид натрия, в качестве соединения с щелочной реакцией использованы концентрированный водный раствор d Yмиаьа нли амин, содержащий 1 6 атомов упи рода, общей формулы где Ri — алкильный, гидроксильный или циклоалкильный остаток, R2 и R3 — водород, алкильные или циклоалкильные остатки, атомы кислорода и углерода или атомы углерода, необходимые для образования насыщенной или ненасыщенной циклической системы, а в качестве растворителя берут воду при следующем содержании исходных компонентов, вес. %;

Концентрированный водный раствор аммиака 1 — 25 илп

Амин 2 — 70

Цианокомцлексная соль трехвалентного железа 0,001 †

Тиосульфат натрия 0,001 — 25

Смачивающее средство 0,0005 — 0,005

Растворптель Остальное

20 Состав для химического травления алюминия выбирают следующим образом.

Для травления алюминия растворами соединений с щелочной реакцией в большей или меньшей степени пригодны все комплексные

25 соли трехвалентного железа. Однако технически приемл мыс скорости реакции обеспечивают железоснпсродистый калий илн ннтропрусснд натрия.

25

Составитель А. Степанов

Техред М. Семенов

Корректор Л. Брахннна

Редактор Т. Янова

Подписное

Заказ 272479 Изд. № 637 Тираж 850

НПО Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобр.теиий и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская най.. л. 4/5

Типография, ир. Сапуиона, 2

На скорость и чистоту травления в таких растворах благоприятно влияет наличие слабой восстановительной среды, особенно тиосульфата натрия.

Для создания и поддержания необходимого для процесса травления значения рН вышеуказанных растворов хорошо пригодны, помимо соединений с щелочной реакцией, аммиак или амин, содержащий 1 — 6 атомов углерода. Последние хорошо защищают полученные фотолитографическим путем маски, не ухудшая при этом процесса травления.

Составленные таким образом травильные растворы легко регенерируются 2 — 3 раза без опорожнения травлений ванны путем измерения известным способом окислнтельно-восстановительного потенциала н рН и доведения содержания израсходованных компонентов до нужного уровня, при этом обеспечивается быстрое, равномерное и чистое травление без сильного затрагивания боковых поверхностей травимых деталей.

Формула изобретс í

Состав для химического травления алюминия, преимущественно селективного, содержащий соединение с щелочной реакцией, цианокомплексную соль трехвалентного железа и растворитель, отличающийся тем, что, с целью стабилизации химической активност за счет его саморегснерацни, он дополнительно содержит тиосульфат натрия и смачивающее средство, в качестве цианокомплексной соли трехвалентного железа нгпользованы железосннсродистый калий или нитропруссид натрия, в качестве соединения с щелочной реакцией использованы концентрированный водный раствор аммиака или амин, содержащий 1- -6 атомов углерода, общей формулы где R> — алкильный, гидроксильный или циклоалкнлвный остаток, R2 и R3 — водород, алкильные или цикло15 алкпльные остатки. атомы кислорода и углерода нли атомы углерода, необходимые для образования насыщенной или ненасыщенной циклической системы, а в качестве .растворителя берут воду при следующем содержании

20 исходных компонентов, вес. о а ..

Концентрированный водный раствор аммиака 1 — 25 или

Амин 2 — 70

Цианокомплексная соль трехвалентного железа 0,001 †

Тиосульфат натрия 0,001 — 25

Смачивающее средство 0,0005 — О;005

30 Растворитель Остальное

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Патент ГДР ¹ 75001, кл. 48 сГ 1/00, 1971.