Устройство для присоединения кристаллов к ножкам полупроводниковых приборов

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К детОРСКОМЮ СВИДитИЛЬСТВ

Союз Советскнх

Соцналнстнческнх

Респубянк (11) 6276 (61) Дополнительное к авт. свил-ву(22) Заявлено 26.08.75(21) 2166321/25 с присоединением заявки №вЂ” (23} Приоритет (43) Опубликовано 25. 07. 77.Бюллетень № 27 (51) М. Кя

Н 01 Ь 21/607

Геоудеротееаые конетет

Севов Менестрое СССР оо дохам нзооретехее и открепий (53) УДК621. 382 (088.8) (4б) Дата опубликования описания 27.1077.

Н.И.Никулин (72) Автор . изобретения (71) Заявитель (54) УСГРОИСТВО ДЛЯ ПРИСОЕДИНЕНИЯ КРИСТАЛЛОВ

К НОЖКАМ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ

Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов, в частности, к оборудованию для присоединения кристаллов к ножкам полупроводниковых приборов.

Известны устройства для присоединения кристаллов к ножкам полупроводниковых приборов, но они не обеспечивают точного, а главное, идентичного расположения присоединейных кристаллов относительно, траверс .ножек приборов, что. затрудняет автоматическое присоединение выводов на последующей .операции(1 ..: Это..объясняется кем, .что,траверсы ножек нриборов при сохранении строГого определенного и постоянного состояния между собой имеют разброс .расположения относительно. центров в стеклоиэоляции ножек. Вследствие Этого криСтал лы, присоединенные к.одним и тем же участкам ножек, оказываются неидентично расположенными по отношению к траверсам на всей партии.

Известна установка для присоединения кристаллов к контактным рамкам, закрепленным на ленте, содержащая ультразвуковую головку со сварочным инструментом, закрепленную на каретке вертикальных перемещений, увел подачи кристаллов, узел базирования контактных площадок в виде планки с фиксирующими элементами и отверстием для инструмента121 Известная установка также не обеспечивает точного и идентичного расположения кристаллов относительно перфорационных отверстий ленты, которая в данном случае выполняет роль ножки прибора, так как планка с фиксирующими элементами уЗла базирования контактных йлощадок установлена на отдельной ка-. ретке и не имеет жесткоФ связи с инструментом и с вакуумной присоской узла подачи кристаллов. Базирование кристалла осуществляется вручную опе ратором при: помощи манипулятора н экрана проектора-, что не обеспечивает высокого качества и точности присоединения кристаллов. Кроме того,. сам узел базирования контактных площадок имеет сложную конструкцию.

Цель изобретения - повьеаение качества присоединения кристаллов к ножкам .полупроводниковых приборов и упрощение конструкции устройства.Это достигается тем, что Ъланка с фиксирующими элементами эакреплеиа сов5662 76 местно с инструментом на каретке вертикальных перемещений, установленной на направляющих с воэможностью двухкоординатйого перемещения в горизои» тальной ПЛОскости а фиксирующие эле» менты в планке выполнены в виде отверстий, контактирующих с траверсами приборов.

На чертеже схематически изображено предлагаемое устройство для присоединения кристаллов. Устройство содержит каретку 1 горизонтального перемещения с электромагнитом 2,:на которой установлен Г-образный кронштейн 3 с каРеткой 4 вертикального пе ремещения. На каретке 4 вертикального перемещения ультразвуковая голов" ка 5 с инструментом 6 и планка 7 с отверстием 8 (для инструмента) и дву мя воронкообразными отверстиями 9 для траверс 10 ножки -11, которая жестко установлена в кассете 12. В планке 7 имеется отверстие 13, которое в про-. цессе работы взаимодействует с коническим штифтом 14 направляющей )„5.В направляющей 15 расположены кристал: — 25 лы 16.Толкатель 17 служит для подачи кристаллов 16 на позицию загрузки.

В исходном положении электромагнит 2 фиксирует Г-образный кронштейн3 относительно каретки 1 горизонтально- 30 го перемещения.

Под действием привода (на чертеже не показан) ультразвуковая головка 5 вместе с кареткой 4 вертикального перемещения и планкой 7 перемещается 35 вверх, а затем — на позицию забора кристалла 16 и занимает такое положение, чтобы отверстие 13 в планке 7 было расположено над коническим штифтом 14. При движении ультразвуковой 40 головки 5 вниз конусная часть штифта 14 попадает в отверстие 13 планки 7. B этот момент электромагнит 2 отключается, и при дальнейшем движении головки вниз инструмент б самс 45 устанавливается относительно кристал. ла 16. Точное положение кристалла 16 относительно рабочей части инструмен. та 6 обеспечивается точной подачей кристалла 16 толкателем 17 в строго определенное место относительно штиф. та 14. После того, как инструмент б коснется кристалла 16,, включается вакуум, при помощи которого кристалл удерживается на инструменте, включается также электромагнит 2. При этом

Г-образный кронштейн фиксируется относительно каретки 1. Под действием привода ультразвуковая головка 5 поднимается вверх и возвращается в исходное положение, т.е. на позицию присоединения кристалла.При опускании каретки 4 вниз траверсы 10 входят в воронкообразные отверстия 9 планки 7.

В этот момент электромагнит 2 отключается, и Г-образный кронштейн З,свободно перемещаясь в горизонтальной плоскости в двух взаимно перпендику- лярных направляющих, не препятствует ориентации кристалла относительно траверс ножки прибора. После того,как траверсы войдут в цилиндрические части воронкообразных отверстий 9,происходит включение электромагнита 2, а, .следовательно, фиксация Г-образного кронштейна 3 относительно каретки 1. В этом положении осуществляется присоединение кристалла к ножке прибора. Цнкл повторяется.

В предложенном устройстве положительный эффект - повышение качества присоединения кристаллов — обеспечивается за счет того, что планка с фиксирующими отверстиями закреплена совместно с инструментом на каретке вертикальных перемещений, установлен. нсй на направляющих с возможностью двухкоординатного перемещения в горизонтальной плоскости. Установка планки совместно с.инструментом на каретке вертикальных перемещений позволяет создать им единую базу и повысить этим точность присоединения кристаллов.

Формула изобретения

1. УстРойство для присоединения к ножкам полупроводниковых приборов, содержащее ультразвуковую головку со сварочным инструментом, закрепленную на каретке, вертикальных перемещений, узел подачи кристаллов, узел базирования контактных площадок в виде планки с фиксирующими элементами и отверстием для инструмента, о т л и ч а ющ е е с я тем, .что, с целью повышения качества присоединения кристалла, планка с фиксирующими элементами закреплена совместно с инструментом на каретке вертикальных перемещений, установленной на направляющих с возможностью двухкоординатного перемещения в горизонтальной плоскости.

2. Устройство по п.l,о т л ич а ю щ е е с я тем, что,с целью упрощения устройства, фиксирующие элементы выполнены в виде отверстий, контактирующих с траверсами прибора.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Авторское свидетельство9303678, кл.Н 01 L 21/00,1969.

2. Авторское свидетельство 9410493, кл.Н 01 L 21/00, 1971.

566276

Составитель Ю.Цветков

Техред Н.Андращук Корректор С.Ямалова

Редактор Н.Разумова

Филиал ППП Патент . г.ужгород, Ул.Проектная, 4

Заказ 2439/35 Тираж 976 Подписное цНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Ра1лвская наб., д. 4/5