Способ определения разнотолщинности пьезокварцевых пластин

 

Союз Советских

Социалистимеских

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН Ия

К АВТОРСКОМУ СВИДИТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. санд-ву—

3, (5i) М. Кл

01 N -9;04 (22) Заявлеио29.01.76 (21) 2322008/28 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликована05.08.77 Бюллетень ¹29 (45) Дата опубликования описания 21.09,77

Государственный комитет

Совета Министров СССР оо делам изобретений и отнрытнй (53) УДЫ620.179. .16(088,8) (72) Автор! изобретения

В, К. Павлов (71) Заявитель (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ РАЗНОТОЛЩ И4ЕФОС П 4

ПЬЕЗОКВАРЦЕВЫХ ПЛАСТИН

Изобретение касается неразрушаюшего контроля и может использоваться при измерении разно толщинных плоских пьеэокварцевых пластин.

Известен способ определения толщины пьезопластин, по которому измеряют спектр дебаевских шумов и по ним судят о толщине пластины.

Однако известный способ определения толщины пьезопластнны имеет низкую точ- ц ность измерения, связанную с трудностью измерения небольших амплитуд и дебаевских шумов (1),, Известен также способ определения раэнотолшинных плоских пьезокварцевых пластин, IIo которому контролируемую пьезокварцевую пластину помешают между двумя возбуждаю1цими электродами, которые подключены к генератору, и измеряют частоту пос- gp ледавательного резонанса пластины (2)

Недостаток известного способа определения разнотолшинности пьезокварцевых пластин заключается в том, что при контроле невозможно сохранение воздушного зазора между электродами, и поэтому получанут оч:тнь низкую точность измерения.

Кроме того, недостатками известного способа явпяютсй высокая трудо.п;ость и недостаточная производи i æüíàñòü.

С целью повышения точности контроля и упрощения процесса измерения, определяют величину девиации частоты колF:áGIíIé генератора lipH перемещении возбуждающих эл ектродов по гармоническому закону "r оси до края пьезокварпевой пластины и вращении их вокруг оси пластищя.

Способ осушествляется " следующим образом.

Контролируемую пьезокварцевую пластину помещают между двумя возбуждаю|цимн электродами, которые подключен« K генератору, перемешают их от оси до края пластины по гармоническому закону.

Так как частота последовательного резонанса пьезокварцевой пластины зависит от толщины активной зоны пластины, заклк ченной между электролами, при перемещении возбуждающих электродов изменяется частота колебаний кварцевого генератора, 5680 l

3 которые оказываются промодулированы по частоте. При этом частота модуляции равна частоте перемеп.ения возбуждающих электродов,а,девиация частоты определяется разностью толщины активной эоны пласти5 иы s области перемещения электродов, что позволяет путем измерения девиации частоты генератора определить величину раэнотолщинности пьезокварцевой пластины. Причем измеритель глубины девиации может ,6 быть проградуирован непосредственно в значениях разнотолщинности пластины.

Способ определения разнотолшинности пьеэокварцевых пласвин, заключающийся в том, что контролируемую пьезокварцевую пластину помещают между двумя возбуждающими электродамй, которые подключены к генератору и измеряют частоту последовательного резонанса пластины, о т л и ч а ющ ы и с я тем, что, с целью повышения точности контроля и упрощения процесса иэмере; 9 ния, определяют величину девиации частоты колебаний генератора при перемещении возбуждакицих электродов по гармоническому закону от оси до края пьезокварцевой пластины и вращении вокруг оси пластины.

Источники информации, принятые во-ънимание при экспертизе:

1. Заявка No. 2097131 по которой принято решение о выдаче авторского свидетельства.

ЗО 2. Авторское свидетельство N 456351, кл. Н 03 Н 9/00, 1972 r.

При оценке раэнотолщинности пьеэокварцеврй пластины необходимо определять зоны максимальной раэнотолщинности, т.е. определять направление клиновидности пластины, что позволит провести ее исправпеНМе, Указанные зоны могут быть определены по максимальному значению девиации частоты колебаний генератора при вращении плоскости перемещения электродов вокруг оси пластины.

Предложенный способ измерения раэнотолщинности плоских пьезокварцевых пластин более эффективен, в том случаеji когдат площадь возбуждающих электродов . зйачительно меньше площади пластижя. По этому способу измерения приращение частоты последовательного резонанса оценивается за каждый период модулирукицей чаотаты, поэтому почти полностью исключается погрешность эа счет факторов, оказывающих дестабилизирующее влияние на параметры и характеристики пьезокварцевой пластины. формула изобретения

Составитель Г., Федоров

Редактор B. (1ругоеа texpxa к. фанта КорректоРН. Коеедееа

Заказ 2793/33 Тираж 1101 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

1 13035, Москва, Ж-Э5, Раушская наб., д. 4/5

Филиал 1!ПП "Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4