Способ изготовления фокусирующих кристаллов монохроматоров

Авторы патента:

G21K1/06 - с использованием дифракции, отражения или преломления, например монохроматоры (G21K 1/10,G21K 7/00 имеют преимущество)

Союз Советских

Социалистических

Республик

О П И С А Н И Е пц 57оз.11

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное н авт. свид-ву (22) Заявлено 13.04.76(21) 2347846/25 (51) М. Кл.

У с присоединением заявки №

Ej 2l К 1/06

Государственный нокнтет

Совета Министров СССР оо делам. изобретений

II открытий (23) Приоритет (43) Опубликовано 25,08.7 "43юллетень №31 (53) УЙК 543,51:621, .3 86 (088. 8) (45) Дата опубликования описания 30.08.77 (72) Автор изобретения

А, Б, Гильварг

Ордена Трудового Красного Знамени институт кристаллографии им. А. В, Шубникова (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ .ФОКУСИРУЮШИХ

КРИСТАЛЛОВ-МОНОХРОМАТОРОВ

Известен также способ изготовления сфер о рнческих фокусируюших кристаллов=монохроматоров путем соединения .изогнутой по сфере кристаллической пластины с шаблоном соответствтюшей формы с помошью промежду точного слоя ч высокотемпературной обработки (2j .

Изобретение относится к диспергируюшма элементам для рентгеноспектрального и рентгеноструктурного анализа.

Известен способ изготовления сферически вогнутых кристаллов-монохроматоров пу- а тем деформкрования кристаллической пластины на цилиндрической втулке, в которую за ливают полимеризируюшуюся жидкость, причем сцепление с пластиной осушествляют эа счет затвердевания этой жидкости flj . 19

Недостатком кристалла»монохроматора, полученного известным способом, является отклонение формы кристалла от необходимой из-за деформации затвердеваюшей полимеризуюшейся жидкости, что. приводит к 15 ухудшению разрешаюшей способности кристалла-монохроматора, Однако наличие промежуточного соеди нительного слоя не позволяет.однозначно получить точную требуемую форму Кристалла независимо от того, с какой точностью

:,обработаны соединяемые поверхности крис таллической пластины и соответствующей поверхности подложки. Это также ухудшает разрешаюшую способность кристалла-моно!

CPoMBTOP &.

Бель изобретения - повысить разрешаю.шую способность кристалла-монохроматора.

ДляатЪго поверхность кристаллической ! пластины и поверхность шаблона обрабаты- . вают с точностью не менее О,i длины вол» ны (650 А) и соединяют за счет сил моо пекулярного сцеплен:,я, Процесс соединения ведут в обеспыленной атмосфере.

Кристалл-монохроматор изготовляют следуюшим образом. Кристалическую пластину накладывают на .сферически .вогнутою поверхность шаблона, резиновым контратипом с диаметром равным примерно 2/3 диаметра пластины прижимают центральную часть пластины к подложке с нажимом, достаточным для молекулярного сцепления { зпСоставитель К. Кононов

Редактор Т. Фадеева Техред Н. Бабурка Корректор С. Патрушева

Заказ 3065/45 Тираж 558 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

l 13035, Москва, Ж-35, Раушская наб... д. 4/5 филиал ППП "Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

3 тического к" лтакта), а затем таким же образом соединяют периферийные участки кристалле. Лля исключения влияния пыли на молекулярное сцепление процесс соединения предпочтительно проводить в обеспы- 5 ленной атмосфере. Кроме того, процесс молекулярного сцеплении осуществляется наиболее благоприятным образом только при. точности обработки соединяемых поверхностей Не хуже 0,1 длины волны (650 А ) 10

При менее точной обработке молекулярное соединение не осуществляется по всей плоскости контакта во всех случаях или не имеет места вообше, Указанным способом можно ; изготовить фокусируюший кристалл- l5 монохроматор, имеюший не только сфери ческую поверхность, но и тороидальную, параболическую или любую дру :ую второго

1 порядка.

Полученные кристаллы-монохроматоры 20 дают разрешение не хуже А/ах = 3,10 1

Кроме того, дополнительным удобс ббм является возможность простого отделения кристаллической пластины от подло: кн с помощью обработки в жидкости, что позво- 25 ляет многократно использовать одни и те же кристаллы и подложки в различных сочетаниях в соответствии с необходимостью

Формула изобретения

1. Способ изготовления фокусирующих кристаллов-монохроматоров путем соединения изогнутой по поверхности второго поряд« ка, например по сфере, кристаллической пластины с шаблоном соответствующей формы, о т л и ч а ю ш и и с я тем, что, с целью повышения разрешаюшей способности, поверхность кристаллической пластины и поверхность шаблона обрабатывают с точностью не менее 0,1 длины волны (650 А) и соединяют за счет can молекулярного сцепления.

2. Способ по п. 1„o т л и ч а ю ш и йс я тем, что процесс соединения ведут в обеспыленной атмосфере.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Авторское свидетельств СССР

Р ф6 141, кл. Я 05 Q 1/02, 19" З.

2. Патент Великобритании % 128939& кл. Н 8 R, 1972,

Способ изготовления фокусирующих кристаллов монохроматоров

Устройство для управления потоком рентгеновского излучения и способ его получения // 2109358

Изобретение относится к рентгеновской оптике, в частности, к устройствам для отражения, поворота, деления, фокусировки и монохроматизации потока рентгеновского излучения и может быть использовано для проведения процессов рентгеновкой литографии, рентгеновской микроскопии, рентгеновской спектроскопии, а также в астрономии, физике, биологии, медицине и других областях технике, где используется рентгеновское излучение

Способ формирования пучка нейтральных атомов и устройство для его осуществления // 2133063

Изобретение относится к технике и технологии обработки микроструктур и может быть применено в производстве изделий микроэлектроники

Линза для управления излучением в виде потока нейтральных или заряженных частиц, способ изготовления таких линз и содержащее такие линзы аналитическое устройство, устройство для лучевой терапии и устройства для контактной и проекционной литографии // 2164361

Изобретение относится к средствам для дефектоскопии и диагностики в технике и медицине, использующим излучение в виде потока нейтральных или заряженных частиц, в частности рентгеновское излучение, а также к средствам, в которых указанное излучение используется в лечебных целях или для контактной либо проекционной литографии в микроэлектронике

Регулирование мозаичного рассеяния материала из высокоориентированного пиролитического графита // 2186888

Изобретение относится к способу сдвига мозаичного рассеяния высокоориентированного пиролитического графита (ВОПГ) в заданный узкий интервал

Устройство для фокусировки рентгеновского излучения и гамма- излучения со стоксовой линией спектра на выходе // 2201631

Изобретение относится к приборам для визуально-теневой гамма-рентгеновской интроскопии и может быть использовано в промышленности и в медицине

Рентгеновский измерительно-испытательный комплекс // 2208227

Изобретение относится к измерительной технике

Устройство для получения рентгеновского излучения повышенной яркости // 2210126

Изобретение относится к средствам для получения рентгеновского излучения, в частности к средствам, предназначенным для использования при исследовании веществ, материалов или приборов

Рентгеновский микроскоп // 2239822

Изобретение относится к проекционной микроскопии с использованием радиационных методов, более конкретно к средствам для получения увеличенной теневой проекции объекта, включая его внутреннюю структуру, с использованием рентгеновского излучения

Устройство для формирования рентгеновского пучка и устройство для изгиба кристалла // 2260218

Изобретение относится к области рентгенодифракционных и рентгенотопографических методов исследования при неразрушающем исследовании структуры и контроле качества материалов и предназначено для формирования рентгеновского пучка, в частности, пучка синхротронного излучения (СИ), с помощью кристаллов-монохроматоров

Способ управления потоком рентгеновского излучения и система для его осуществления // 2278432

Изобретение относится к рентгеновской оптике, в частности к устройствам для отражения, фокусировки и монохроматизации потока рентгеновского излучения